RU2004123919A

RU2004123919A - Тензометрический первичный преобразователь давления с компенсацией дрейфа нуля

Info

Publication number: RU2004123919A
Application number: RU2004123919/28A
Authority: RU
Inventors: Дмитрий Леонидович Воробьев (RU); Дмитрий Леонидович Воробьев
Original assignee: Дмитрий Леонидович Воробьев (RU); Дмитрий Леонидович Воробьев
Priority date: 2004-08-04
Filing date: 2004-08-04
Publication date: 2006-01-20
Also published as: RU2286555C2

Claims

1. Тензометрический первичный преобразователь давления, включающий в себя мембрану, имеющую планарную поверхность и противоположную ей профилированную поверхность, к которой прикладывается усилие, создаваемое измеряемым давлением, под действием которого мембрана деформируется, схему тензорезисторов, сформированную на планарной поверхности мембраны и предназначенную для регистрации прикладываемого усилия на основе изменения сопротивления тензорезисторов при деформации мембраны, при этом мембрана целиком изготовлена из сапфира и имеет монокристаллическую структуру.

2. Тензометрический первичный преобразователь давления по п.1, в котором схема тензорезисторов ориентирована по наиболее тензочувствительным кристаллографическим направлениям кристаллической структуры мембраны.

3. Тензометрический первичный преобразователь давления по п.1, в котором мембрана является осесимметричной.

4. Тензометрический первичный преобразователь давления по п.1, в котором рабочий профиль профилированной поверхности мембраны определяется механическими свойствами мембраны, требующимися для обеспечения заранее заданных метрологических характеристик.

5. Тензометрический первичный преобразователь давления по п.4, в котором рабочий профиль профилированной поверхности мембраны является осесимметричным и определяется диапазоном измеряемых давлений и потребными метрологическими характеристиками.

6. Тензометрический первичный преобразователь давления по п.1, в котором схема тензорезисторов сформирована в эпитаксиальной пленке кремния на планарной поверхности мембраны.

7. Тензометрический первичный преобразователь давления по п.1, в котором схема тензорезисторов представляет собой мостовую схему.

8. Тензометрический первичный преобразователь давления по п.1, в котором тензометрический первичный преобразователь давления имеет рычажную конструкцию.

9. Тензометрический первичный преобразователь давления по п.1, в котором мембрана прикреплена к металлическому основанию, обеспечивающему механическую прочность конструкции тензометрического первичного преобразователя давления.

10. Тензометрический первичный преобразователь давления по п.9, в котором крепление мембраны к металлическому основанию выполнено посредством пайки.

11. Тензометрический первичный преобразователь давления по п.9, в котором металлическое основание изготовлено из металла, обеспечивающего необходимые механические свойства.

12. Тензометрический первичный преобразователь давления по п.11, в котором металлом, обеспечивающим необходимые механические свойства, является титан.

13. Мембрана тензометрического первичного преобразователя давления, которая имеет планарную поверхность, предназначенную для формирования на ней схемы тензорезисторов, и противоположную ей профилированную поверхность, к которой прикладывается усилие, создаваемое измеряемым давлением, под действием которого мембрана деформируется, при этом мембрана целиком изготовлена из сапфира и имеет монокристаллическую структуру.

14. Мембрана по п.13, в которой рабочий профиль профилированной поверхности является осесимметричным.

15. Мембрана по п.13, в которой рабочий профиль профилированной поверхности определяется механическими свойствами мембраны, требующимися для обеспечения заранее заданных метрологических характеристик.

16. Мембрана по п.15, в которой рабочий профиль профилированной поверхности является осесимметричным и определяется диапазоном измеряемых давлений и потребными метрологическими характеристиками.