RU2004118177A - Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности - Google Patents

Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности Download PDF

Info

Publication number
RU2004118177A
RU2004118177A RU2004118177/28A RU2004118177A RU2004118177A RU 2004118177 A RU2004118177 A RU 2004118177A RU 2004118177/28 A RU2004118177/28 A RU 2004118177/28A RU 2004118177 A RU2004118177 A RU 2004118177A RU 2004118177 A RU2004118177 A RU 2004118177A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
curvature
radius
measuring
interferometer
optical surface
Prior art date
Application number
RU2004118177/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2267744C1 (ru
Inventor
Игорь Георгиевич Половцев (RU)
Игорь Георгиевич Половцев
Галина Владимировна Симонова (RU)
Галина Владимировна Симонова
Original Assignee
Институт мониторинга климатических и экологичексих систем (RU)
Институт мониторинга климатических и экологичексих систем
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт мониторинга климатических и экологичексих систем (RU), Институт мониторинга климатических и экологичексих систем filed Critical Институт мониторинга климатических и экологичексих систем (RU)
Priority to RU2004118177/28A priority Critical patent/RU2267744C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2267744C1 publication Critical patent/RU2267744C1/ru
Publication of RU2004118177A publication Critical patent/RU2004118177A/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Claims (1)

  1. Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности, заключающийся в том, что устанавливают контролируемую деталь в интерферометр в конфокальное положение, регистрируют путем обработки интерферограмм минимальное искривление полос интреференционной картины, принимая за нулевой отсчет данное положение контролируемой детали, а затем перемещают ее вдоль оптической оси интерферометра, отличающийся тем, что контролируемую деталь перемещают дважды, каждый раз выбирая для этого произвольно величину перемещения, после каждого перемещения регистрируют изменение полос в интерференционной картине, определяют их количество и величину на которую переместили контролируемую деталь, а затем рассчитывают радиус кривизны контролируемой поверхности по формуле
    Figure 00000001
    где
    Figure 00000002
    λ - рабочая длина волны интерферометра;
    N1, N2 - искривления полос в интерференционных картинах, соответствующих первому и второму положению детали;
    L1, L2 - соответствующие измеренные перемещения.
RU2004118177/28A 2004-06-15 2004-06-15 Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности RU2267744C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004118177/28A RU2267744C1 (ru) 2004-06-15 2004-06-15 Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004118177/28A RU2267744C1 (ru) 2004-06-15 2004-06-15 Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2267744C1 RU2267744C1 (ru) 2006-01-10
RU2004118177A true RU2004118177A (ru) 2006-01-10

Family

ID=35871497

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004118177/28A RU2267744C1 (ru) 2004-06-15 2004-06-15 Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2267744C1 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105571481A (zh) * 2015-12-21 2016-05-11 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种高精度曲率半径测试装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
RU2267744C1 (ru) 2006-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2267405A3 (en) Phase-resolved measurement for frequency-shifting interferometry
CN201050978Y (zh) 白光干涉测量样品表面形状精细分布的装置
CN103994731B (zh) 柱面干涉拼接测量装置及其调整方法
US10746537B2 (en) Radius-of-curvature measurement by spectrally-controlled interferometry
CN1952594B (zh) 形貌测量方法及其测量装置
CN106248623A (zh) 折射率测量方法、测量装置和光学元件制造方法
CN103630086A (zh) 一种基于单色ccd的双波长同时相移干涉测量方法
CN101881600A (zh) 干涉振动位移决定方法、振动频率决定方法和干涉装置
CN108801148A (zh) 用于计算物体表面的高度图的方法和系统
CN105571517A (zh) 一种适用于光纤端面检测的改进型相干峰解调方法
CN106247980A (zh) 基于白光干涉彩色条纹处理的多波长相移干涉测量方法
RU2004118177A (ru) Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности
EP2314984B1 (en) Form measuring device and method of aligning form data
CN106247950A (zh) 基于广义相移数字全息的微小位移测量方法
RU2002133910A (ru) Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности
JP2009162591A5 (ru)
CN105606338B (zh) 一种基于白光干涉测试系统的中心波长误差补偿方法
US20100085575A1 (en) Method for determining vibration displacement and vibrating frequency and apparatus using the same
CN104792269B (zh) 一种对线性相移误差不敏感的光纤端面高度值的解算方法
RU2013148901A (ru) Способ удаленного контроля формы поверхности и толщины покрытий, получаемых в процессе магнетронного вакуумного напыления, и устройство для его осуществления
JP2007071685A5 (ru)
CN108469643B (zh) 一种平面全息光栅扫描曝光装置的调试方法
TW200710371A (en) A surface profile measuring method and an apparatus thereof
Su et al. Phase unwrapping in the dynamic 3D measurement
SU560133A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20090616