RU2004118177A - Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности - Google Patents
Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности Download PDFInfo
- Publication number
- RU2004118177A RU2004118177A RU2004118177/28A RU2004118177A RU2004118177A RU 2004118177 A RU2004118177 A RU 2004118177A RU 2004118177/28 A RU2004118177/28 A RU 2004118177/28A RU 2004118177 A RU2004118177 A RU 2004118177A RU 2004118177 A RU2004118177 A RU 2004118177A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- curvature
- radius
- measuring
- interferometer
- optical surface
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Claims (1)
- Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности, заключающийся в том, что устанавливают контролируемую деталь в интерферометр в конфокальное положение, регистрируют путем обработки интерферограмм минимальное искривление полос интреференционной картины, принимая за нулевой отсчет данное положение контролируемой детали, а затем перемещают ее вдоль оптической оси интерферометра, отличающийся тем, что контролируемую деталь перемещают дважды, каждый раз выбирая для этого произвольно величину перемещения, после каждого перемещения регистрируют изменение полос в интерференционной картине, определяют их количество и величину на которую переместили контролируемую деталь, а затем рассчитывают радиус кривизны контролируемой поверхности по формулеN1, N2 - искривления полос в интерференционных картинах, соответствующих первому и второму положению детали;L1, L2 - соответствующие измеренные перемещения.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2004118177/28A RU2267744C1 (ru) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2004118177/28A RU2267744C1 (ru) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2267744C1 RU2267744C1 (ru) | 2006-01-10 |
RU2004118177A true RU2004118177A (ru) | 2006-01-10 |
Family
ID=35871497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2004118177/28A RU2267744C1 (ru) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2267744C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105571481A (zh) * | 2015-12-21 | 2016-05-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种高精度曲率半径测试装置及方法 |
-
2004
- 2004-06-15 RU RU2004118177/28A patent/RU2267744C1/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2267744C1 (ru) | 2006-01-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2267405A3 (en) | Phase-resolved measurement for frequency-shifting interferometry | |
CN201050978Y (zh) | 白光干涉测量样品表面形状精细分布的装置 | |
CN103994731B (zh) | 柱面干涉拼接测量装置及其调整方法 | |
US10746537B2 (en) | Radius-of-curvature measurement by spectrally-controlled interferometry | |
CN1952594B (zh) | 形貌测量方法及其测量装置 | |
CN106248623A (zh) | 折射率测量方法、测量装置和光学元件制造方法 | |
CN103630086A (zh) | 一种基于单色ccd的双波长同时相移干涉测量方法 | |
CN101881600A (zh) | 干涉振动位移决定方法、振动频率决定方法和干涉装置 | |
CN108801148A (zh) | 用于计算物体表面的高度图的方法和系统 | |
CN105571517A (zh) | 一种适用于光纤端面检测的改进型相干峰解调方法 | |
CN106247980A (zh) | 基于白光干涉彩色条纹处理的多波长相移干涉测量方法 | |
RU2004118177A (ru) | Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности | |
EP2314984B1 (en) | Form measuring device and method of aligning form data | |
CN106247950A (zh) | 基于广义相移数字全息的微小位移测量方法 | |
RU2002133910A (ru) | Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности | |
JP2009162591A5 (ru) | ||
CN105606338B (zh) | 一种基于白光干涉测试系统的中心波长误差补偿方法 | |
US20100085575A1 (en) | Method for determining vibration displacement and vibrating frequency and apparatus using the same | |
CN104792269B (zh) | 一种对线性相移误差不敏感的光纤端面高度值的解算方法 | |
RU2013148901A (ru) | Способ удаленного контроля формы поверхности и толщины покрытий, получаемых в процессе магнетронного вакуумного напыления, и устройство для его осуществления | |
JP2007071685A5 (ru) | ||
CN108469643B (zh) | 一种平面全息光栅扫描曝光装置的调试方法 | |
TW200710371A (en) | A surface profile measuring method and an apparatus thereof | |
Su et al. | Phase unwrapping in the dynamic 3D measurement | |
SU560133A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20090616 |