Claims (37)
1. Электростатическое устройство, имеющее первый гибкий, способный отклоняться электрод и по меньшей мере один второй электрод, установленный на первом электроде с возможностью перемещаться вместе с ним и вызывать отклонение первого электрода в результате воздействия приложенного к электродам электрического заряда, создающего электростатическую силу между первым и вторым электродами.1. An electrostatic device having a first flexible, deflectable electrode and at least one second electrode mounted on the first electrode with the ability to move with it and cause the first electrode to deflect as a result of the action of an electric charge applied to the electrodes, creating an electrostatic force between the first and second electrodes.
2. Электростатическое устройство, выполненное в виде датчика, имеющего первый гибкий, способный отклоняться электрод и по меньшей мере один второй электрод, установленный на первом электроде с возможностью перемещаться вместе с ним при отклонении первого или второго электродов или и первого, и второго электродов и вызывать измеримое изменение емкости между первым и вторым электродами.2. An electrostatic device made in the form of a sensor having a first flexible, deflectable electrode and at least one second electrode mounted on the first electrode with the ability to move with it when the first or second electrodes or both the first and second electrodes are deflected and cause measurable change in capacitance between the first and second electrodes.
3. Электростатическое устройство по п.2, выполненное в виде пускателя, отличающееся тем, что по меньшей мере один второй электрод способен вызывать отклонение первого электрода в результате воздействии на электроды электрического заряда, создающего электростатическую силу между первым и вторым электродами.3. The electrostatic device according to claim 2, made in the form of a starter, characterized in that at least one second electrode is capable of causing a deflection of the first electrode as a result of exposure to the electrodes of an electric charge creating an electrostatic force between the first and second electrodes.
4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что используют в качестве датчика и пускателя в разное время или одновременно.4. The device according to claim 3, characterized in that it is used as a sensor and a starter at different times or at the same time.
5. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что установлено на опоре.5. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that it is mounted on a support.
6. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что на первом электроде установлено множество расположенных вблизи друг друга вторых электродов.6. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that the first electrode has a plurality of second electrodes located adjacent to each other.
7. Устройство по п.6, отличающееся тем, что вторые электроды или по меньшей мере некоторые из вторых электродов образуют прямолинейную структуру.7. The device according to claim 6, characterized in that the second electrodes or at least some of the second electrodes form a rectilinear structure.
8. Устройство по п.6 или 7, отличающееся тем, что вторые электроды или по меньшей мере некоторые из вторых электродов образуют непрямолинейную структуру.8. The device according to claim 6 or 7, characterized in that the second electrodes or at least some of the second electrodes form a non-linear structure.
9. Устройство по п.6, 7 или 8, отличающееся тем, что вторые электроды вызывают отклонения первого электрода вдоль нескольких осей.9. The device according to claim 6, 7 or 8, characterized in that the second electrodes cause the deflection of the first electrode along several axes.
10. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что имеет множество первых электродов, на каждом из которых установлен по меньшей мере один второй электрод.10. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that it has a plurality of first electrodes, each of which has at least one second electrode.
11. Устройство по п.10, отличающееся тем, что первые электроды механически соединены друг с другом таким образом, что при отклонении одного первого электрода изменяется положение, ориентация и/или высота другого или по меньшей мере одного другого первого электрода.11. The device according to claim 10, characterized in that the first electrodes are mechanically connected to each other so that when one of the first electrode is deflected, the position, orientation and / or height of the other or at least one other first electrode changes.
12. Устройство по п.11, отличающееся тем, что первые электроды расположены последовательно, параллельно, в различных плоскостях или под углом друг к другу или в любом сочетании названных положений.12. The device according to claim 11, characterized in that the first electrodes are arranged sequentially, in parallel, in different planes or at an angle to each other or in any combination of these positions.
13. Устройство по любому из предшествующих, отличающееся тем, что устройство способно перемещаться вне и/или в собственной плоскости.13. A device according to any one of the preceding, characterized in that the device is capable of moving outside and / or in its own plane.
14. Устройство по п.13, отличающееся тем, что в результате отклонения устройство сжимается в одном или двух направлениях.14. The device according to item 13, wherein the device is compressed in one or two directions as a result of the deviation.
15. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что имеет множество вторых электродов, расположенных на первом электроде или электродах с возможностью вызывать отклонение первого электрода или электродов в противоположных направлениях.15. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that it has many second electrodes located on the first electrode or electrodes with the ability to cause the deflection of the first electrode or electrodes in opposite directions.
16. Устройство по п.15, отличающееся тем, что один или несколько вторых электродов расположены на первой поверхности первого электрода или электродов и один или несколько вторых электродов расположены на противоположной второй поверхности первого электрода или электродов.16. The device according to clause 15, wherein one or more second electrodes are located on the first surface of the first electrode or electrodes and one or more second electrodes are located on the opposite second surface of the first electrode or electrodes.
17. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что второй электрод или каждый второй электрод обладает большей жесткостью, чем первый электрод, на котором он установлен.17. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that the second electrode or every second electrode has greater rigidity than the first electrode on which it is mounted.
18. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что при наличии множества вторых электродов по меньшей мере два соседних вторых электрода перекрывают друг друга.18. Device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that in the presence of a plurality of second electrodes, at least two adjacent second electrodes overlap each other.
19. Устройство по п.18, отличающееся тем, что названные по меньшей мере два вторых электрода снабжены пальцами, которые проходят преимущественно в их плоскости и образуют встречно-штыревую структуру.19. The device according to p. 18, characterized in that the said at least two second electrodes are provided with fingers that extend mainly in their plane and form an interdigital structure.
20. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что имеет общую шину питания, служащую для подачи питания на первый и второй электроды.20. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that it has a common power rail, which serves to supply power to the first and second electrodes.
21. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что имеет множество шин питания, служащих для подачи питания на первый и/или второй электроды различными способами.21. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that it has a plurality of power rails for supplying power to the first and / or second electrodes in various ways.
22. Устройство по п.20 или 21, отличающееся тем, что имеет устройство управления, способное управлять электрической энергией, поступающей на первый и второй электроды.22. The device according to claim 20 or 21, characterized in that it has a control device capable of controlling the electrical energy supplied to the first and second electrodes.
23. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что второй электрод или электроды установлены на первом электроде таким образом, что они образуют мостиковую и/или консольную конструкцию.23. Device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that the second electrode or electrodes are mounted on the first electrode so that they form a bridge and / or cantilever structure.
24. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что первый и/или второй электроды выполнены в виде многослойных элементов, имеющих по меньшей мере один проводящий слой.24. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that the first and / or second electrodes are made in the form of multilayer elements having at least one conductive layer.
25. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что первый и/или второй электрод или по меньшей мере один из первых и/или вторых электродов имеют отверстия, ослабленные или усиленные участки, служащие для корректировки их способности отклоняться.25. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that the first and / or second electrode or at least one of the first and / or second electrodes have holes, weakened or reinforced sections, which serve to adjust their ability to deviate.
26. Устройство по любому из пп.1-24, отличающееся тем, что первый электрод или каждый первый электрод является непроницаемым.26. The device according to any one of claims 1 to 24, characterized in that the first electrode or each first electrode is impermeable.
27. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что зазор между первым и вторым электродами является вакуумным или заполнен одним или несколькими из следующих веществ: газом, жидкостью, гелем или деформируемым твердым веществом.27. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that the gap between the first and second electrodes is vacuum or filled with one or more of the following substances: gas, liquid, gel or a deformable solid.
28. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что по меньшей мере один второй электрод используют в качестве части пускателя и по меньшей мере один второй электрод используют в качестве части датчика.28. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that at least one second electrode is used as part of the starter and at least one second electrode is used as part of the sensor.
29. Устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что используется как пускатель и датчик в режиме разделения времени.29. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that it is used as a starter and a sensor in the time sharing mode.
30. Электростатическое устройство по любому из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что изготовлено по технологии изготовления интегральных схем, технологии MEMS или технологии микрообработки.30. An electrostatic device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that it is made according to the technology of manufacturing integrated circuits, MEMS technology or microprocessing technology.
31. Зеркало, включающее электростатическое устройство по любому из предшествующих пунктов.31. A mirror comprising an electrostatic device according to any one of the preceding paragraphs.
32. Динамик, головной телефон, микрофон, ультразвуковой индикатор или преобразователь, включающий электростатическое устройство по любому из пп.1-30.32. A speaker, a headphone, a microphone, an ultrasound indicator or a transducer comprising an electrostatic device according to any one of claims 1-30.
33. Роботизированное устройство, включающее электростатическое устройство по любому из пп.1-30.33. A robotic device comprising an electrostatic device according to any one of claims 1 to 30.
34. Оптический сканер, устройство управления лучом или полностью оптический переключатель, включающий электростатическое устройство по любому из пп.1-30.34. An optical scanner, a beam control device, or a fully optical switch, including an electrostatic device according to any one of claims 1-30.
35. Датчик давления, насос или струйно-чернильный картридж, включающий электростатическое устройство по любому из пп.1-30.35. A pressure sensor, pump, or inkjet cartridge, comprising an electrostatic device according to any one of claims 1-30.
36. Акселерометр или датчик, включающий электростатическое устройство по любому из пп.1-30.36. The accelerometer or sensor, comprising an electrostatic device according to any one of claims 1 to 30.
37. Одномерная, двухмерная или трехмерная структура, образованная двумя или более электростатическими устройствами по любому из предшествующих пунктов.37. A one-dimensional, two-dimensional or three-dimensional structure formed by two or more electrostatic devices according to any one of the preceding paragraphs.