RU2003106320A -
METHOD OF REGULATING THE MELT LEVEL IN THE TIGEL IN THE PROCESS OF GROWING CRYSTALS BY THE CHOCHRAL METHOD
- Google Patents
METHOD OF REGULATING THE MELT LEVEL IN THE TIGEL IN THE PROCESS OF GROWING CRYSTALS BY THE CHOCHRAL METHOD
Info
Publication number
RU2003106320A
RU2003106320ARU2003106320/15ARU2003106320ARU2003106320ARU 2003106320 ARU2003106320 ARU 2003106320ARU 2003106320/15 ARU2003106320/15 ARU 2003106320/15ARU 2003106320 ARU2003106320 ARU 2003106320ARU 2003106320 ARU2003106320 ARU 2003106320A
1. Способ регулирования уровня расплава в процессе выращивания кристаллов методом Чохральского путем контроля положения уровня расплава с помощью видеокамеры и подъема тигеля до достижения заданного положения уровня расплава, отличающийся тем, что видеокамеру устанавливают с наклоном к вертикали, а контроль положения уровня расплава осуществляют путем определения с помощью видеоизображения поверхности расплава и выращиваемого кристалла угла между вертикалью и лучом, проходящим через фокус оптической системы видеокамеры и центр окружности, образованной выращиваемым кристаллом на границе с расплавом.1. The method of regulating the melt level in the process of growing crystals by the Czochralski method by controlling the position of the melt level using a video camera and raising the crucible to reach a predetermined position of the melt level, characterized in that the video camera is installed with an inclination to the vertical, and the position of the melt level is controlled by determining with using a video image of the surface of the melt and the grown crystal, the angle between the vertical and the beam passing through the focus of the optical system of the video camera and the center of the of life formed by the grown crystal at the boundary with the melt.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что указанный угол γ определяют путем выделения из общего видеосигнала пикселей, принадлежащих границе кристалл-расплав, и рассчитывают угол γ по уравнению2. The method according to claim 1, characterized in that said angle γ is determined by extracting from the common video signal pixels belonging to the crystal-melt boundary, and the angle γ is calculated by the equationγ=α+β×VO/Vy,γ = α + β × V O / V y ,где α - угол между нижней стороной угла охвата видеокамеры в плоскости угла γ и вертикалью;where α is the angle between the lower side of the angle of the camera in the plane of the angle γ and the vertical;β - угол охвата видеокамеры в плоскости угла γ;β is the angle of the video camera in the plane of the angle γ;Vy - число пикселей по вертикали, соответствующее углу β;V y is the number of vertical pixels corresponding to the angle β;VO - количество пикселей по вертикали, соответствующее углу β’ между лучом, проходящим через центр мениска и фокус видеокамеры и нижней стороной угла β.V O is the number of vertical pixels corresponding to the angle β 'between the beam passing through the center of the meniscus and the focus of the camera and the lower side of the angle β.
RU2003106320/15A2003-03-062003-03-06Method of control of level of melt in crucible in the course of crystal growth
RU2227819C1
(en)