RU2002121274A - Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с оптическим микроскопом - Google Patents

Claims (2)

1. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с оптическим микроскопом, содержащий основание, зонд, пьезосканер, держатель объекта с объектом, блок сближения зонда с объектом, блок анализа, выполненный с возможностью съема, с первым зеркалом, оптически сопряженным с объектом, а также оптическую систему наблюдения в виде оптического микроскопа с оптической осью, перпендикулярной поверхности объекта, и второго наклонного зеркала, оптически сопряженного с первым зеркалом и оптической осью микроскопа, отличающийся тем, что блок анализа с первым зеркалом и второе наклонное зеркало установлены на основании, основание выполнено с возможностью установки сменных блоков анализа различных типов, блок сближения зонда с объектом выполнен с возможностью установки как сменных держателей объекта, так и сменных пьезосканеров с держателями объекта, второе наклонное зеркало имеет, по крайней мере, два фиксированных положения совмещения оптической оси микроскопа с объектом, а оптический микроскоп установлен на поворотной вертикальной штанге и имеет, по крайней мере, три фиксированных положения: одно - по оси зонда и два - на оптической оси совмещения второго наклонного зеркала.

2. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, отличающийся тем, что поворотная вертикальная штанга оптического микроскопа выполнена телескопической, выдвигаемая часть поворотной вертикальной штанги снабжена системой из трех кольцевых канавок с фиксированными расстояниями между ними, соответствующими фиксированным положениям по вертикали второго наклонного зеркала, каждая из кольцевых канавок снабжена упором, угловое положение которого в канавке соответствует угловому положению поворотной вертикальной штанги оптического микроскопа в каждом из трех фиксированных положений, а неподвижная часть поворотной вертикальной штанги снабжена роликовым упором с возможностью качения ролика по канавкам.