RU2001119988A - Устройство коллектора горелки для использования в процессе химического осаждения из паровой фазы - Google Patents

Claims (56)

1. Устройство коллектора горелки для доставки реагентов к месту горения в процессе химического осаждения из паровой фазы, содержащее входы для флюида, выходы для флюида, и множество проходов для флюида, проходящих между входами для флюида и выходами для флюида, проходы для флюида сходятся по направлению друг к другу от входов для флюида к выходам для флюида.

2. Устройство коллектора горелки по п. 1, где проходы для флюида имеют поперечное сечение на выходах, меньшее, чем на входах.

3. Устройство коллектора горелки по п. 1, где проходы для флюида являются изолированными друг от друга, так что выбранные проходы для флюида транспортируют материалы реагентов-продуктов предыдущих стадий, а другие выбранные проходы для флюида транспортируют горючие материалы.

4. Устройство коллектора горелки по п. 1, где проходы для флюида у выходов для флюида имеют форму щелей.

5. Устройство коллектора горелки по п. 1, дополнительно включающее, по меньшей мере, одно ограничивающее устройство для повышения давления для прохождения флюида через него в виде узких продолговатых потоков, при этом, по меньшей мере, одно ограничивающее устройство для повышения давления расположено между входами для флюида и выходами для флюида.

6. Устройство коллектора горелки по п. 5, где, по меньшей мере, одно ограничивающее устройство для повышения давления включает пластину, имеющую ряд щелей или отверстий, расположенных в виде линейных рядов в ней, для испускания флюида из нее в виде, в целом, линейных потоков.

7. Устройство коллектора горелки по п. 1, где устройство коллектора горелки включает основание коллектора, имеющее, верх, низ, переднюю стенку, заднюю стенку и две боковые стенки, проходы для флюида, включая горизонтальные проходы для флюида, которые проходят между боковыми стенками, и вертикальные проходы для флюида, проходящие от некоторого положения внутри коллектора до верха основания коллектора, и входы для флюида, включающие узлы для входа флюида, каждый из которых располагается, по меньшей мере, на одной стенке из передней стенки и задней стенки основания коллектора, и каждый из них сообщается по текучей среде (флюиде), по меньшей мере, с одним из горизонтальных и вертикальных проходов для флюида; пластину, установленную поверх основания коллектора, пластина определяет множество отверстий в ней, при этом, по меньшей мере, одно отверстие позиционируется в положении над выходом каждого из вертикальных проходов для флюида основания коллектора для того, чтобы сделать возможным прохождение флюида из вертикальных проходов для флюида через пластину; и крепление многопламенной горелки, установленное на пластине, проходы для флюида дополнительно включают проходы для флюида крепления многопламенной горелки, которые проходят от низа крепления многопламенной горелки до верха крепления многопламенной горелки и заканчиваются в виде выходов для флюида, проходы для флюида крепления многопламенной горелки располагаются таким образом, что расстояние между соседними проходами для флюида крепления многопламенной горелки является внизу крепления многопламенной горелки большим, чем вверху крепления многопламенной горелки, проходы для флюида крепления многопламенной горелки располагаются симметрично относительно центрального положения на верху крепления многопламенной горелки.

8. Устройство коллектора горелки по п. 7, где вертикальные проходы для флюида являются симметричными относительно первой оси, пересекающей верх основания коллектора.

9. Устройство коллектора горелки по п. 7, где вертикальные проходы для флюида являются асимметричными относительно первой оси пересекающей верх основания коллектора.

10. Устройство коллектора горелки по п. 3, где вертикальные проходы для флюида включают центральный вертикальный проход и пары вертикальных проходов, при этом каждая пара определяется двумя вертикальными проходами, расположенными на равном расстоянии от первой оси, и каждая пара пересекает конкретный горизонтальный проход для флюида с целью образования ряда внутри основания коллектора для распределения флюида симметрично относительно первой оси.

11. Устройство коллектора горелки по п. 10, где каждая пара вертикальных проходов и конкретный горизонтальный проход для флюида являются независимыми, с точки зрения протекания флюида, от каждой другой пары вертикальных проходов и конкретного горизонтального прохода для флюида.

12. Устройство коллектора горелки по п. 7, где каждый из горизонтальных проходов для флюида связан с единственным окном для входа флюида.

13. Устройство коллектора горелки по п. 7, где проходы для флюида крепления многопламенной горелки являются линейными.

14. Устройство коллектора горелки по п. 7, где верх основания коллектора включает канавки на нем, при этом каждая канавка расположена на выходе одного из вертикальных проходов для флюида.

15. Устройство коллектора горелки по п. 14, где выходы вертикальных проходов для флюида в основании коллектора и соответствующие канавки на верху основания коллектора совмещаются с линейными входами в проходы для флюида крепления многопламенной горелки.

16. Устройство коллектора горелки по п. 7, где пластина имеет линейный ряд отверстий, и линии линейного ряда совмещаются с выходами вертикальных проходов для флюида в основании коллектора и с линейными входами проходов для флюида крепления многопламенной горелки.

17. Устройство коллектора горелки по п. 16, где отверстия в пластине являются меньшими по размеру, чем выходы вертикальных проходов для флюида, так что пластина работает в качестве пластины для повышения давления, предназначенной для равномерного симметричного распределения флюида через основание коллектора.

18. Устройство коллектора горелки по п. 7, дополнительно содержащее элементы крепления, установленные на верху крепления многопламенной горелки для фиксации на ней горелки.

19. Устройство коллектора горелки по п. 18, где элементы крепления включают пару зажимов, разъемно соединенных с одной из сторон верха крепления многопламенной горелки для фиксации горелки над проходами для флюида крепления многопламенной горелки.

20. Устройство коллектора горелки по п. 19, где зажимы, каждый, имеет наружную грань и внутреннюю грань, при этом внутренняя грань имеет выступ, который зацепляется с горелкой, которая должна быть установлена на креплении многопламенной горелки.

21. Устройство коллектора горелки по п. 20, где внутренняя грань каждого зажима имеет коническую поверхность, которая сужается с удалением от верха крепления многопламенной горелки.

22. Устройство коллектора горелки по п. 19, дополнительно содержащее пружину, установленную между каждым зажимом и креплением многопламенной горелки.

23. Устройство коллектора горелки по п. 7, где основание коллектора, пластина, и крепление многопламенной горелки являются в целом прямоугольными.

24. Устройство коллектора горелки по п. 23, где устройство коллектора горелки включает множество креплений горелки, множество пластин и единственный коллектор, при этом единственный коллектор имеет габаритный размер по толщине между передней стенкой и задней стенкой, и толщина единственного коллектора является большей, чем габаритный размер по толщине креплений горелки и пластин, так что на коллекторе могут быть установлено множество сочетаний крепление горелки/пластина.

25. Устройство коллектора горелки по п. 7, где окна для входа флюида расположены на передней стенке коллектора.

26. Устройство коллектора горелки по п. 7, где окна для входа флюида расположены на задней стенке коллектора.

27. Устройство коллектора горелки по п. 7, где первый набор окон для входа флюида расположен на передней стенке коллектора, а второй набор окон для входа флюида расположен на задней стенке коллектора.

28. Устройство коллектора горелки по п. 1, дополнительно содержащее множество элементов коллектора, расположенных в виде пакетной сборки, так что проходы для флюида проходят через элементы коллектора и заканчиваются на выходах для флюида, элементы сообщаются по текучей среде (флюиду) друг с другом через проходы для флюида, при этом каждый из элементов коллектора имеет количество проходов для флюида большее, чем элемент коллектора, находящийся ниже в пакете, так что самый верхний элемент коллектора имеет самое большое количество проходов для флюида в нем, и так что проходы для флюида сходятся на выходах для флюида.

29. Устройство коллектора горелки по п. 28, где каждый из элементов коллектора включает, по меньшей мере, одно окно для входа флюида.

30. Устройство коллектора горелки по п. 29, где самый нижний элемент коллектора имеет единственное окно для входа флюида, а оставшиеся элементы коллектора имеют по два окна для входа флюида.

31. Устройство коллектора горелки по п. 30, где, в оставшихся элементах коллектора, флюид распределяется равномерно между двумя окнами для входа флюида.

32. Устройство коллектора горелки по п. 29, где проходы для флюида являются линейными и проходят вертикально через элементы коллектора.

33. Устройство коллектора горелки по п. 32, где наиболее удаленные от центра проходы для флюида каждого из элементов коллектора сообщаются с соответствующими им окнами для входа флюида, и внутренние проходы для флюида являются изолированными от наиболее удаленных от центра проходов для флюида.

34. Устройство коллектора горелки по п. 33, где проходы для флюида соседних элементов коллектора совмещаются друг с другом по вертикали.

35. Устройство коллектора горелки по п. 33, где внутренние проходы для флюида являются вертикальными, прямоугольными щелями.

36. Устройство коллектора горелки по п. 29, где проходы для флюида являются симметричными относительно центрального прохода для флюида.

37. Устройство коллектора горелки по п. 1, дополнительно содержащее коническую секцию, имеющую первый конец, определяющий выходы для флюида, и второй конец, определяющий входы для флюида, первый конец имеет площадь поверхности, меньшую, чем второй конец.

38. Устройство коллектора горелки по п. 37, где выбранные проходы для флюида блокируются для предотвращения прохождения через них флюида.

39. Устройство коллектора горелки по п. 1, дополнительно содержащее коническую секцию, имеющую первый конец, определяющий входы для флюида и второй конец, при этом первый конец имеет площадь поверхности большую, чем второй конец; и верхнюю секцию, имеющую первый конец, сообщающийся по текучей среде (флюиду) со вторым концом конической секции, и второй конец, определяющий выходы для флюида, где проходы для флюида проходят через коническую секцию и верхнюю секцию с целью переноса флюида от первого конца конической секции ко второму концу верхней секции.

40. Устройство коллектора горелки по п. 39, где верхняя секция является продолжением конической секции.

41. Устройство коллектора горелки по п. 39, где коллектор горелки формируется с помощью процесса экструзии.

42. Устройство коллектора горелки по п. 39, где коллектор горелки формируется путем вытяжки в горячем состоянии.

43. Устройство коллектора горелки по п. 39, где выбранные проходы для флюида являются перекрытыми.

44. Устройство коллектора горелки по п. 43, где выбранные проходы для флюида заполнены твердым материалом.

45. Устройство коллектора горелки по п. 43, где твердый материал представляет собой, по меньшей мере, один материал из эпоксида и кремния.

46. Устройство коллектора горелки по п. 39, где устройство коллектора горелки содержит стеклянный материал.

47. Устройство коллектора горелки по п. 39, где устройство коллектора горелки содержит керамический материал.

48. Устройство коллектора горелки по п. 39, где устройство коллектора горелки содержит материал окиси кремния.

49. Устройство коллектора горелки по п. 39, где верхняя секция является цилиндрической.

50. Способ изготовления коллектора горелки для использования в процессе химического осаждения из паровой фазы, включающий экструдирование пластического композита сотовой матрицы, по меньшей мере, частично, через головку экструдера, имеющую коническую секцию, так что первый конец коллектора имеет площадь поверхности, меньшую, чем второй конец коллектора.

51. Способ изготовления коллектора горелки по п. 50, дополнительно включающий перед стадией экструдирования, заполнение сотовой матрицы материалом-заполнителем.

52. Способ изготовления коллектора горелки по п. 50, дополнительно содержащий после стадии экструзии, удаление материала-заполнителя из сотовой матрицы; спекание сотовой матрицы; и перекрывание выбранных каналов сотовой матрицы с помощью другого материала-заполнителя.

53. Способ изготовления коллектора горелки по п. 52, дополнительно включающий после стадии перекрывания, герметичное соединение горелки с первым концом коллектора.

54. Устройство узлов коллекторов горелок для использования в процессе химического осаждения из паровой фазы, включающее коллектор, имеющий внутри проходы для флюида, и множество окон для входа флюида; множество креплений горелок, установленных на коллекторе, и имеющих проходы для флюида, сообщающиеся по текучей среде (флюиду) с проходами для флюида коллектора, крепления горелок, каждое, имеют линейный ряд щелей на их верху, предназначенных для испускания из них флюида, щели креплений горелок линейно совмещаются со щелями соседних креплений для горелок; и множество устройств для ограничения потока, расположенных между коллектором и каждым из креплений горелок.

55. Устройство по п. 54, где множество устройств для ограничения потока включает множество пластин для повышения давления, имеющих сквозные отверстия, отверстия совмещаются с проходами для флюида в коллекторе и с проходами для флюида в креплении горелки, с целью испускания потока флюида из коллектора в крепления горелок.

56. Узел коллектора горелки для доставки реагентов к месту горения в процессе химического осаждения из паровой фазы, содержащий устройство коллектора горелки, имеющее входы для флюида, выходы для флюида, и множество проходов для флюида, проходящих между входами для флюида и выходами для флюида, проходы для флюида сходятся по направлению друг к другу от входов для флюида до выходов для флюида; и горелку, устанавливаемую на устройстве коллектора горелки, горелка имеет линейный ряд, по меньшей мере, из одного компонента из щелей и отверстий, линейный ряд сообщается по текучей среде (флюиду) с проходами для флюида на выходах для флюида.