RU188989U1 - Полупроводниковый газовый сенсор для обнаружения монооксида углерода - Google Patents
Полупроводниковый газовый сенсор для обнаружения монооксида углерода Download PDFInfo
- Publication number
- RU188989U1 RU188989U1 RU2019104313U RU2019104313U RU188989U1 RU 188989 U1 RU188989 U1 RU 188989U1 RU 2019104313 U RU2019104313 U RU 2019104313U RU 2019104313 U RU2019104313 U RU 2019104313U RU 188989 U1 RU188989 U1 RU 188989U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gas
- sensor
- layer
- spiral
- carbon monoxide
- Prior art date
Links
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 16
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 18
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 16
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 8
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 abstract description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 43
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 17
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 229910003158 γ-Al2O3 Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 CH 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000007900 aqueous suspension Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007385 chemical modification Methods 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000002772 conduction electron Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000003487 electrochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001953 sensory effect Effects 0.000 description 1
- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- CVNKFOIOZXAFBO-UHFFFAOYSA-J tin(4+);tetrahydroxide Chemical group [OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[Sn+4] CVNKFOIOZXAFBO-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
Использование: для обнаружения монооксида углерода. Сущность полезной модели заключается в том, что сенсор содержит термоизолирующую реакционную камеру, в которой установлены нагревательный элемент в форме спирали и измерительный электрод, расположенный по оси спирали, выполненные из платиновой проволоки диаметром 0,03 мм, на нагревательный элемент и спираль нанесено керамическое покрытие эллипсовидной формы, внутренний слой которого состоит из диоксида олова, наружный слой - из гамма оксида алюминия, наружный и внутренний слои содержат легирующую добавку, содержащую Pt. Технический результат: обеспечение возможности снижения потребляемой мощности и повышения чувствительности сенсора. 3 илл.
Description
Полезная модель относится к области разработки газочувствительных элементов, применяемых в составе датчиков, газосигнализаторов, газоанализаторов, а также других приборов и систем газового анализа. Полезная модель может быть применена на различных объектах - промышленных, транспортных и др., для обнаружения опасных концентраций монооксида углерода (СО).
Известно устройство "Полупроводниковый газовый сенсор" по патенту на изобретение №2557435, предназначенное для обнаружения водорода и оксида углерода, содержащее корпус реакционной камеры, выполненный из коррозионно-стойкой стали, с торца закрытый сеткой, в котором на контактных проводниках по центру реакционной камеры установлен шарообразный полупроводниковый двухкомпонентный, двухслойный газочувствительный элемент, во внутреннем слое которого размещен нагреватель в виде цилиндрический пружины, внутри которой по ее оси и по диаметру шарообразного полупроводникового элемента расположен прямой измерительный проводник. Цилиндрическая пружина нагревателя заполнена внутренним слоем полупроводникового газочувствительного элемента, выполненного из SnO2, сетка выполнена из проволоки нержавеющей стали диаметром (0,03-0,05) мм шагом (0,05-0,07) мм, нагреватель и измерительный проводник газочувствительного элемента выполнены из платиновой проволоки диаметром (0,015-0,03) мм, нагреватель имеет (2-8) витка проволоки. Снаружи цилиндрическая пружина нагревателя покрыта шарообразным слоем оксида индия In2О3, внешний диаметр которого составляет (0,8-0,9) мм.
Недостатками данного сенсора является низкая долговременная стабильность, недостаточная чувствительность и отсутствие селективности к газам, которые могут одновременно находиться в смеси с определяемым веществом.
Известно устройство "Полупроводниковый газовый сенсор", предназначенное для обнаружения водорода и оксида углерода, по патенту на изобретение №2583166, имеющее нагревательный элемент и измерительный электрод, аналогичные по конструкции устройству по патенту №2557435. Сетка выполнена из проволоки нержавеющей стали диаметром (0,02-0,05) мм шагом (0,05-0,07) мм. Нагреватель и измерительный проводник газочувствительного элемента выполнены из платиновой проволоки диаметром (0,01-0,025) мм, нагреватель имеет (3-15) витка проволоки. Снаружи цилиндрическая пружина нагревателя покрыта шарообразным слоем пористого гамма-Аl2O3, внешний диаметр которого составляет (0,4-0,8) мм; внутренний объем SnO2 и внешний объем пористого гамма-Аl2O3 составляет (40-60) масс. % от объема шарообразного газочувствительного элемента, при этом нагреватель выполнен с возможностью питания постоянным напряжением в (0,2-1,5) В. Недостатками данного сенсора являются низкие чувствительность и селективность.
Наиболее близким по своей технической сущности к заявляемой полезной модели является "Полупроводниковый сенсорный модуль с легированным газочувствительным слоем" по патенту на полезную модель №143647, принятый за прототип.
Принцип действия полупроводникового газочувствительного элемента прототипа и предлагаемого сенсора основан на хемосорбционном взаимодействии тестируемых газов с поверхностью и объемом полупроводникового слоя, приводящем к изменению концентрации электронов в его зоне проводимости. Молекулы детектируемых газов, диффузионно поступающие в реакционную камеру, попадают на поверхность газочувствительного слоя и реагируют с хемосорбированным кислородом.
При адсорбции газов-окислителей (О2, О3, F2, Сl2, NO2 и др.) происходит обеднение электронами зоны проводимости, что приводит к росту энергетического барьера в области контакта частиц (зерен) полупроводникового слоя, уменьшению проводимости и увеличению сопротивления:
При адсорбции газов-восстановителей (Н2, СО, СxНy и др.) количество электронов на поверхности в области контакта растет, соответственно снижается энергетический барьер в зоне контакта частиц, увеличивается проводимость и снижается сопротивление газочувствительного слоя:
Температура нагревательного элемента полупроводникового газового сенсора находится в диапазоне (150-350)°С в зависимости от химического состава определяемого газа. Повышенная температура понижает энергию связи молекул адсорбированного кислорода с электронами, что способствует намного более легкому освобождению электронов от молекул кислорода и выходу их в зону проводимости [1,2, 3, 5, 6].
Прототип заявляемой полезной модели, предназначенный для обнаружения токсичных и горючих газов (Н2, СО, СН4, NH3), содержит корпус с установленным в нем газочувствительным элементом, который помещен в съемную реакционную камеру, имеющую объем (1-8) см3, изготовленную из химически инертного материала (нержавеющая сталь) и содержащую газопроницаемый элемент.
Газочувствительный элемент содержит нагреватель, имеющий форму спирали из платиновой проволоки (4 витка, внутренний диаметр витка спирали 0,4 мм), и измерительный электрод, расположенный вдоль оси спирали нагревателя. Нагревательный элемент и измерительный электрод изготовлены из платиновой проволоки, имеющей диаметр 0,02 мм. На спираль нагревательного элемента нанесено керамическое покрытие, содержащее внутренний слой из диоксида олова и наружный слой из гамма - оксида алюминия. Наружный и внутренний слои содержат легирующую добавку Au, Pd, Cu. На нагревательный элемент сенсорного модуля подается постоянное напряжение питания в диапазоне (0,8-1,0) В, при этом потребляемая мощность составляет (0,130-0,140) Вт.
Недостатками прототипа являются высокая потребляемая мощность, низкая чувствительность, повышенная зависимость от температуры окружающей среды.
Целью заявляемой полезной модели является создание низко энергопотребляющего полупроводникового газового сенсора для определения концентрации монооксида углерода с высоким уровнем чувствительности, устойчивого к колебаниям температуры окружающей среды.
Сущность заявляемой полезной модели состоит в следующем. Полупроводниковый сенсор, применяемый для обнаружения монооксида углерода, содержит термоизолирующую реакционную камеру, в которой установлены нагревательный элемент в форме спирали и измерительный электрод, расположенный по оси спирали, выполненные из платиновой проволоки диаметром 0,03 мм. На нагревательный элемент и спираль нанесено керамическое покрытие эллипсовидной формы, внутренний слой которого состоит из диоксида олова и наружный слой из гамма оксида алюминия. Наружный и внутренний слои содержат легирующую добавку, содержащую Pt.
Сущность заявляемой полезной модели поясняется фиг. 1, фиг. 2 и фиг. 3, а также таблицей, в которой приведены результаты определения характеристик сенсора в сравнении с прототипом.
На фиг. 1 показана схема полупроводникового сенсора, содержащего корпус 1.1 с установленным в нем газочувствительным элементом 1.2, который вклеен в реакционную камеру 1.3, имеющую объем (1-10) см3, изготовленную из полиамида и содержащую газопроницаемый элемент 1.4.
На фиг. 2 показана схема газочувствительного элемента, который состоит из нагревательного элемента 2.1, имеющего форму спирали из 11 витков платиновой проволоки с внутренним диаметром витка спирали 0,4 мм, и измерительного электрода 2.2, расположенного вдоль оси спирали нагревателя. Нагревательный элемент и измерительный электрод изготовлены из платиновой проволоки, имеющей диаметр 0,03 мм. На спираль нагревательного элемента нанесено керамическое покрытие, содержащее внутренний слой 2.3 из диоксида олова и наружный слой 2.4 из гамма - оксида алюминия. Наружный и внутренний слои содержат легирующую добавку (Pt) 2.5.
На фиг. 3 схематически представлен процесс измерения концентрации СО, где 3.1 - электрод нагревателя, 3.2 - измерительный электрод, 3.3 - зерно SnO2, 3.4 - межзеренный контакт (зона проводимости), 3.5 - устройство для измерения и обработки сигнала.
Полупроводниковый сенсор работает следующим образом.
Определяемый газ путем диффузии через газопроницаемый элемент 1.4 поступает в реакционную камеру 1.3 и проникает через наружный пористый, химически инертный слой 2.4 гамма - Al2O3 к поверхности 2.3 нагретого внутреннего слоя SnO2. При контакте с газом в слое SnO2 протекает электрохимическая реакция, и изменяются электрические параметры слоя (сопротивление, проводимость, ток, напряжение), измеряемые между одним из контактов нагревателя и измерительным электродом. Отношение значения сопротивления слоя SnO2 на воздухе к его значению в среде анализируемого газа представляет собой сигнал сенсора (Rвозд/Rгаз), при этом величина сигнала пропорциональна концентрации газа. Продукты реакции удаляются через газопроницаемый элемент в атмосферу.
Процесс измерения концентрации СО включает следующие основные стадии:
- химические реакции между реагентами (О2 и СО) в газовой фазе;
- адсорбцию реагентов на поверхности SnO2;
- химические реакции на поверхности SnO2;
- взаимную диффузию реагентов в объеме слоя SnO2 и десорбцию продуктов реакции.
В реакции участвуют отрицательно заряженные ионы, 
адсорбированные на поверхности SnO2.
В общем виде схема реакции на поверхности SnO2 может быть представлена следующими уравнениями:
где: R - молекула СО - газа восстановителя (донора электронов); RO - соответствующая окисленная форма; m - коэффициент, зависящий от формы хемосорбированного кислорода; К1, К2 - константы скорости реакций [2, 3].
Для обеспечения оптимального температурного режима химических реакций на нагревательный элемент сенсора 2.1 подается импульсное напряжение питания:
- импульс нагрева (0,9 В) длительностью 5 с;
- импульс охлаждения (0,2 В) длительностью 15 с.
Полезный сигнал сенсора измеряется за (10-20) мс до начала импульса нагрева и обрабатывается электронной схемой (датчика, газоанализатора и др.).
Экспериментально установлено, что зависимость сигнала полупроводникового сенсора от содержания измеряемого газа нелинейная, ее аппроксимируют полиномами или степенной функцией [2, 3].
Керамическое покрытие сенсора формируется следующим образом. Слой диоксида олова наносится на платиновую спираль методом термического разложения гидроксида олова и представляет собой порошкообразное вещество, имеющее аморфную структуру, с низкой адгезией к поверхности платиновой спирали и недостаточной механической прочностью. Для закрепления слоя SnO2 на платиновой спирали служит внешний пористый слой керамики гамма - Аl2О3, имеющий высокую механическую прочность и термическую устойчивость. Данный слой наносится на поверхность SnO2 из водной суспензии, содержащей гамма- Al2O3, с последующей термообработкой. Перед нанесением суспензия гамма- Al2O3 проходит ультразвуковую обработку [7, 8].
Увеличение чувствительности сенсора достигается при увеличения площади зоны проводимости за счет увеличения числа витков спирали-нагревателя, при этом керамический чувствительный элемент Al2O3-SnO2 имеет не сферическую, а эллипсовидную форму, что увеличивает его объем и массу. Реализация данной геометрии спирали и керамического чувствительного элемента с применением платиновой проволоки диаметра 0,02 мм (прототип) невозможна, т.к. чувствительный элемент Al2O3-SnO2 вывешен на токоподводах, длинной (2-2,5) мм, приваренных к контактным площадкам корпуса. При увеличении массы керамики Al2O3-SnO2 нагрузка на токоподводы возрастает и снижается устойчивость конструкции к механическим воздействиям.
В качестве нагревателя и измерительного электрода предлагаемого сенсора использована платиновая проволока диаметром 0,03 мм, что позволило создать механически прочную конструкцию на подвесе за счет оптимального соотношения геометрии нагревателя (каркаса сенсора) и керамической структуры Аl2О3 - SnO2.
В качестве катализатора использована мелкодисперсная платина (размер частиц до 100 нм). Катализатор вводится методом пропитки керамической структуры Al2O3 - SnO2 водным раствором платинохлористоводородной кислоты и последующего отжига при температуре (400-500)°С. Применение данного катализатора повышает чувствительность сенсора по монооксиду углерода и позволяет получить устойчивый и стабильный полезный сигнал при уменьшении потребляемой мощности относительно прототипа примерно в три раза вследствие снижения температуры реакции.
Влияние температуры окружающей среды на чувствительный элемент снижено за счет применения реакционной камеры объема (1-10) см3, изготовленной из химически инертного материала-полиамида, имеющего низкую теплопроводность.
В таблице приведены основные характеристики заявляемой полезной модели в сравнении с прототипом, полученные с применением модуля микропроцессорной обработки сигнала. Сигнал сенсора S представлен в виде напряжения на измерительном резисторе, номинал которого подбирается в соответствии с сопротивлением газочувствительного слоя, рассчитывается по формуле:
S=Uпнг - Uпгс,
где U пнг, мВ - напряжение при воздействии поверочного нулевого газа: О2 -21% об., N2-79% об., U пгс, мВ - напряжение при воздействии поверочной газовой смеси: СО - 0,01% об., воздух 99,99% об.
Дрейф нуля оценивался как изменение напряжения на измерительном резисторе при выдержке сенсора в нормальных климатических условиях (НКУ) в течение одного месяца при непрерывной подаче питания.
*Температурная зависимость оценивалась без применения схемы термокомпенсации
Испытания сенсора проводились на лабораторном стенде с использованием поверенных средств измерений и поверочных газовых смесей, имеющих сертификаты соответствия. Для газовой магистрали использовались материалы, исключающие проникновение в газовую смесь посторонних примесей.
Результаты испытаний показали, что предлагаемый сенсор имеет характеристики, сопоставимые с прототипом при существенном снижении потребляемой мощности, что является важным преимуществом данного сенсора при использовании его в системах газового мониторинга с большим количеством чувствительных элементов, а также в переносных портативных приборах на аккумуляторах.
Таким образом, техническим результатом заявляемой полезной модели является улучшение параметров полупроводникового сенсора, а именно снижение потребляемой мощности и повышение чувствительности.
Литература.
1 Баника Ф.Г. Химические и биологические сенсоры: основы и применения. Изд. Москва.: Техносфера, 2014.
2 Бубнов Ю.З., Голиков А.В., Казак А.В. Полупроводниковые газовые сенсоры и газоаналитические приборы на их основе. Ж. Электроника НТБ. Спецвыпуск. Октябрь 2008.
3 Каталог Тазовые сенсоры серии СЕНСИС-2000 и СЕНСИС-2010" [Электронный ресурс]. - http://deltagaz.ru/sensor.html. Режим доступа: свободный.
4 Дрейзин В.Э., Брежнева Е.О. Сравнительный анализ характеристик промышленных газочувствительных датчиков. Ж. Датчики и системы. №3. 2011.
5 Васильев А., Олихов И., Соколов А. Газовые сенсоры для пожарных извещателей. Ж. Электроника НТБ. №2. 2005.
6 Виглеб Г. Датчики. Устройство и применение. Изд. Москва. Мир. 1989
7 Химическое модифицирование и сенсорные свойства нанокристаллического диоксида олова: автореф. дисс. д-ра наук. Румянцева М.Н. М.: 2009.
8 Максимов А.И., Мошников В.А., Таиров Ю.М., Шилова О.А. Основы золь-гель-технологии нанокомпозитов: Монография. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2007.
Claims (1)
- Полупроводниковый сенсор для определения монооксида углерода, содержащий термоизолирующую реакционную камеру с установленными в ней, выполненными из платиновой проволоки диаметром 0,03 мм, нагревательным элементом в форме спирали и измерительным электродом, расположенным по оси спирали, на которые нанесено двухслойное керамическое покрытие, внутренний слой которого состоит из диоксида олова, наружный слой - из гамма-оксида алюминия, отличающийся тем, что покрытие имеет эллипсовидную форму, а наружный и внутренний слои содержат легирующую добавку Pt.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019104313U RU188989U1 (ru) | 2019-02-15 | 2019-02-15 | Полупроводниковый газовый сенсор для обнаружения монооксида углерода |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019104313U RU188989U1 (ru) | 2019-02-15 | 2019-02-15 | Полупроводниковый газовый сенсор для обнаружения монооксида углерода |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU188989U1 true RU188989U1 (ru) | 2019-05-06 |
Family
ID=66430842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2019104313U RU188989U1 (ru) | 2019-02-15 | 2019-02-15 | Полупроводниковый газовый сенсор для обнаружения монооксида углерода |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU188989U1 (ru) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20010003916A1 (en) * | 1999-12-16 | 2001-06-21 | Figaro Engineering, Inc. | Gas sensor |
| RU2509303C1 (ru) * | 2012-10-29 | 2014-03-10 | Открытое акционерное общество "Авангард" | Полупроводниковый газовый сенсор |
| CN105806899A (zh) * | 2016-05-25 | 2016-07-27 | 吉林大学 | Pt-SnO2氧化物半导体一氧化碳传感器制备与应用 |
| RU173647U1 (ru) * | 2017-03-16 | 2017-09-04 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точной механики" | Полупроводниковый сенсорный модуль с легированным газочувствительным слоем |
-
2019
- 2019-02-15 RU RU2019104313U patent/RU188989U1/ru active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20010003916A1 (en) * | 1999-12-16 | 2001-06-21 | Figaro Engineering, Inc. | Gas sensor |
| RU2509303C1 (ru) * | 2012-10-29 | 2014-03-10 | Открытое акционерное общество "Авангард" | Полупроводниковый газовый сенсор |
| CN105806899A (zh) * | 2016-05-25 | 2016-07-27 | 吉林大学 | Pt-SnO2氧化物半导体一氧化碳传感器制备与应用 |
| RU173647U1 (ru) * | 2017-03-16 | 2017-09-04 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точной механики" | Полупроводниковый сенсорный модуль с легированным газочувствительным слоем |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Szabo et al. | Strategies for total NOx measurement with minimal CO interference utilizing a microporous zeolitic catalytic filter | |
| RU2509303C1 (ru) | Полупроводниковый газовый сенсор | |
| Aroutiounian et al. | Thin-film SnO 2 and ZnO detectors of hydrogen peroxide vapors | |
| Martin et al. | Effect of Cr2O3 electrode morphology on the nitric oxide response of a stabilized zirconia sensor | |
| RU2464554C1 (ru) | Газовый сенсор для индикации оксидов углерода и азота | |
| Carter et al. | Printed amperometric gas sensors | |
| GB2029578A (en) | Solid electrolyte cells for gas analysis | |
| US5683570A (en) | Gas detection method | |
| US6423209B1 (en) | Acid gas measuring sensors and method of using same | |
| Fedorenko et al. | Oxide nanomaterials based on SnO2 for semiconductor hydrogen sensors | |
| US4134818A (en) | Solid electrolyte sensor for monitoring combustibles in an oxygen containing environment | |
| Aroutiounian et al. | Study of hydrogen peroxide vapors sensor made of nanostructured co-doped SnO2 film | |
| RU188989U1 (ru) | Полупроводниковый газовый сенсор для обнаружения монооксида углерода | |
| JPH03282247A (ja) | 引火性ガスの検出 | |
| RU173647U1 (ru) | Полупроводниковый сенсорный модуль с легированным газочувствительным слоем | |
| RU2132551C1 (ru) | Способ эксплуатации газового датчика | |
| RU2583166C1 (ru) | Полупроводниковый газовый сенсор | |
| RU196424U1 (ru) | Термокаталитический газовый сенсор для селективного обнаружения водорода | |
| Torvela et al. | Dual response of tin dioxide gas sensors characteristic of gaseous carbon tetrachloride | |
| Baier et al. | Non-Nernstian zirconia sensors for combustion control | |
| RU63534U1 (ru) | Устройство для измерения концентрации кислорода | |
| Majewski | Cross-sensitivity of hydrogen sensors to relative humidity | |
| RU2557435C1 (ru) | Полупроводниковый газовый сенсор | |
| Kim et al. | Isothermal capacitance transient spectroscopy study on trap levels in polycrystalline SnO2 ceramics | |
| Yamazoe et al. | Hydrogen sensitive gas detector using silver added tin (IV) oxide |