RU1791380C - Способ выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом и установка дл его осуществлени - Google Patents
Способ выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом и установка дл его осуществлениInfo
- Publication number
- RU1791380C RU1791380C SU914912303A SU4912303A RU1791380C RU 1791380 C RU1791380 C RU 1791380C SU 914912303 A SU914912303 A SU 914912303A SU 4912303 A SU4912303 A SU 4912303A RU 1791380 C RU1791380 C RU 1791380C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- absorber
- chlorosilanes
- condensate
- recirculation
- channel
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/08—Compounds containing halogen
- C01B33/107—Halogenated silanes
- C01B33/10778—Purification
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
Description
Кроме того, недостатком известного способа вл етс его дороговизна. Объ сн етс это высокой материале- и энергоемкостью процесса, обусловленными необходимостью последующего выделени хлорсиланов из абсорбента ректификационным методом.
Установка дл выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом, реализующа этот способ содержит многополостной конденсатор, абсорбер, каплеотде- литель и узел регенерации абсорбента.
Известна установка не позвол ет достичь достаточно высоких степеней извлечени хлорсиланов из газовой смеси. Максимальна степень извлечени хлорсиланов с использованием данной установки составила 92%. Кроме того, недостатком известной установки вл етс ее дороговизна за счет наличи в ней дорогосто щего узла регенерации абсорбента, представл ющего собой ректификационную колонну дл разделени жидкой смеси на абсорбент и хлорсиланы, теплообменник дл охлаждени абсорбента и конденсатор дл конденсировани хлорсиланов , выделенных из абсорбента.
Целью изобретени вл етс повышение степени извлечени хлорсиланов и удешевление процесса.
Поставленна цель достигаетс тем, что в способе выделени хлорсиланов из газовой смеси с водородом, заключающемс в последовательной конденсации и абсорбции хлорсиланов жидким абсорбентом, новым вл етс то, что после абсорбции дополнительно провод т конденсацию при температуре (-20) - (-80)°С и абсорбцию при температуре (-80) - (-100)°С, регенерированный водород подают на конденсацию в качестве хладагенте, а в качестве абсорбента используют охлажденный конденсат хлорсиланов .
Дополнительное проведение двух последовательных операций - конденсации и абсорбции при оптимальных, экспериментально установленных режимах с использованиемв качестее хладагента при конденсаций охлаждённого регенерированного водорода, а в качестве абсорбента - охлажденного конденсата хлорсиланов, позвол ет повысить степень извлечени хлбрсиланбв за счет оптимизации тепло- и массообмена при ауторегулировании.
Температурные режимы дополнительных операций - конденсации и абсорбции установлены экспериментально. Проведение дополнительной абсорбции именно при температуре (-80)-(-100)°С взаимосв зано с оптимальным Температурным режимом дополнительной конденсации (-20)-(-80)°С и
рациональным использованием холода регенерированного водорода за счет возврата его в качестве хладагента на конденсацию. Проведение дополнительной абсорбции
при температуре ниже -100°С приводит к кристаллизации хлорсиланов, отложению кристаллов на стенках аппарата и ухудшению процесса абсорбции. Повышение температуры абсорбции выше -80°С приводит к
0 снижению степени извлечени хлорсиланов , т.к. в этом случае не обеспечиваетс необходимый температурный режим конденсации .
Часть конденсата хлорсиланов, полу5 ченного в результате дополнительной абсорбции, возвращают в качестве абсорбента на дополнительную абсорбцию. Оставшийс конденсат соедин ют с конденсатом хлорсиланов, полученным в результате пер0 вой конденсации и дополнительной конденсации и подают в качестве абсорбента на первую абсорбцию. В результате смешени конденсата хлорсиланов с газовой смесью образуетс газожидкостна эмульси с
5 большой поверхностью контакта между газовой фазой и охлажденной жидкостью, в результате чего интенсифицируетс тепло-и массообмен и, как , повышаетс степень извлечени хлорсиланов из газовой
0 смеси. Кроме того, при использовании в качестве абсорбента охлажденного конденсата хлорсиланов исключаетс возможность загр знени конденсата примес ми, содержащимис в абсорбционной жидкости, а
5 также нет необходимости в проведении дорогосто щей операции по выделению хлорсиланов из абсорбента ректификационным методом.
То, что охлажденный регенерирован0 ный водород подают в качестве хладагента на конденсацию, позвол ет рационально использовать его холод, обеспечива при этом ауторегулирование. снизить расход хладагента, необходимого дл конденсации
5 хлорсиланов.
Поставленна цель достигаетс также тем, что в установке дл выделени хлорсиланов из их газовой смеси с подородом, содержащей многополостной конденсатор,
0 абсорбер, каплеотделитель, новым вл етс то, что установка дополнительно содержит последовательно соединенные конденсатор , рециркул ционный абсорбер, охлаждаемый хладагентом, и каплеотбойник.
5 причем промежуточные полости конденсаторов , выполненных трехполостными, соединены между собой каналами через абсорбер и каплеотделитель. Выходной канал рециркул ционного абсорбента дл конденсата на высоте, равной 0.18-0,53 высоты рабочей части рециркул ционного абсорбера , разделен на два канала, один из которых соединен с входом дл конденсата рециркул ционного абсорбера,а другой соединен с каналами конденсаторов дл отвода конденсата, каналом каплеотбой- ни)|:а дл отвода конденсата и с входом абсорбера дл конденсата. Канал рециркул ционного абсорбера дл отвода ;регенерированного водорода через каг леотбойник последовательно соединен с наружными конденсаторов. Канал рециркул ционного абсорбера дл отвода паров хладагента последовательно соединен с внутренними полост ми конденсаторов.
Выполнение установки с дополнительно введенными в нее конденсатором, рециркул ционным абсорбером, охлаждаемым хладагентом, и каплеотбойником в за вл емо и взаимосв зи элементов позвол ет за сче низкотемпературного охлаждени и формировани газожидкостной эмульсии, в которой происходит охлаждение газовой смеси и абсорбци хлорсиланов из газовой смеси, повысить степень извлечени хлорсиланов.
Такое выполнение позвол ет интенсифицировать тепло- и массообменные процессы , реализуемые в установке. При этом из-за наличи в установке ауторегулирую- щих св зей процессы протекают не только в оптимальных режимах, но и с минимальными энергетическими затратами.
Дл возврата охлажденного конденсата
ХЛО
силанов, полученного в рециркул ционном абсорбенте, в абсорбер и рециркул ционный абсорбер с целью использовани его $ качестве абсорбента выходной канал рециркул ционного абсорбера дл конденсата на высоте, равной 0,18-0,53 высоты рабочей части рециркул ционного абсорбера , разделен на два канала, один из которых соединен с входом дл конденсата рецирку- л цюнного абсорбера, а другой соединен с каналами конденсаторов дл отвода конденсата , каналом каплеотбойника дл отвод
конденсата и с входом абсорбера дл
кон/енсата. Именно за вленное соотношение высоты разделени выходного канала рециркул ционного абсорбера дл конденсата и высоты рабочей части рециркул ционного абсорбера, равное 0,18- 0,53, обеспечивает формирование в абсообере и рециркул ционном абсорбере устойчивой газожидкостной эмульсии, в кото ой происходит охлаждение газовой смеС1 и абсорбци хлорсиланов из газовой смес; 1 конденсатом хлорсиланов, что позвол ет повысить степень извлечени хлорсиланов .
Соединение канала рециркул ционного абсорбера дл регенерированного водорода последовательно с наружными полост ми конденсаторов, а канала рециркул ционного абсорбера дл отвода паров хладагента с внутренними полост ми конденсаторов обеспечивает рациональное 1 использование холода регенерированного водорода и паров хладагента за счет со0 здани ауторегулирующих св зей, что позвол ет снизить расход хладагента, необходимого дл конденсации хлорсиланов и, следовательно, удешевить процесс выделени хлорсиланов из газовой смеси.
5 Предлагаемый способ выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом реализован следующим образом.
Газовую смесь, содержащую. об.%: Водород50-85
0Хлористый водород До 8 Трихлорсилан 4-10 Тетрахлорсилан 2-6 Азот До 20, направл ли последовательно на первую
5 конденсацию при температуре -10°С, первую абсорбцию при температуре 10°С, дополнительную конденсацию и дополнительную абсорбцию, при этом в качестве абсорбента использовали конденсат хлор0 силанов. Температуру дополнительной конденсации измен ли от -20°С в опыте 1 до -80°С в опыте 3. при этом температуру дополнительной абсорбции поддерживали на уровне среднего значени , равного -90°С. В опытах 5 и 6 дополнительную конденсацию
5 проводили при температуре, равной -50°С, а дополнительную абсорбцию- при температурах соответственно -80°С и -100°С. Были испытаны также запредельные температурные режимы дополнительной конден0 сации и дополнительной абсорбции (опыты 4 и 7).
В качестве хладагента на дополнительной абсорбции использовали жидкий азот. Пары азота и регенерированный водород
5 использовали в качестве хладагентов после- . довательно на дополнительной, затем первой конденсации.
Отход щий водород, очищенный от хлорсиланов анализировали методом газо0 вой хроматографии на содержание хлорсиланов и рассчитывали степень извлечени хлорсиланов из газовой фазы.
Затраты на реализацию способа были рассчитаны с учетом расхода хладагента,
5 энергетических затрат, зарплаты обслуживающего персонала и амортизационных отчислений .
Результаты опытов и расчетов приведены в табл.1. Актиспытанийза вл емогоспособа прилагаетс к материалам насто щей за вки.
Одновременно был проведен опыт 8 по выделению хлорсиланов из их газовой смеси с водородом путем конденсации при -10°С и абсорбции при -10°С с использованием в качестве абсорбента триметил- бензола согласно техническому решению по прототипу.
Из табл.1 видно, что оптимальными услови ми проведени процесса выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом вл ютс дополнительна конденсаци в диапазоне температур (-20)-(-80)°С и дополнительна абсорбци в диапазоне температур (-80)-(-100)°С. При этом степень извлечени хлорсиланов составила от 95,0% до 98,9%, а затраты на реализацию способа - от 299,00 до 309,99 руб/т хлорсиланов .
Наилучшие результаты (степень извлечени хлорсиланов, равна 96,3%, затраты на реализацию способа, равные 305,33 руб/т хлорсиланов) были достигнуты в случае проведени дополнительной конденсации при -50°С и дополнительной абсорбции при -90°С (опыт № 2).
Повышение температуры дополнительной конденсации до -18°С и температуры дополнительной абсорбции до-75°С приводит к снижению степени извлечени хлорсиланов до 92,8% за счет большого проскока хлорсиланов с водородом, вследствие чего забиваетс система санитарной очистки, что приводит к росту затрат на реализацию спороба до 316,02 руб/т хлорсиланов.
Снижение температуры дополнительной конденсации до -85°С и температуры дополнительной абсорбции до -105°С приводит к замораживанию хлорсиланов в установке , что требует последующего отогрева ее теплым газом. В результате степень извлечени хлорсиланов снижаетс до 93,2%, а затраты на реализацию способа растут до 315,62 руб/т хлорсиланов.
Проведение конденсации при температуре -10°С и абсорбции при температуре -10°.С с использованием в качестве абсорбента триметилбёнзола согласно техническому решению по прототипу не обеспечивает достаточно высокой степени извлечени хлорсиланов. Кроме того, в этом случае затраты на реализацию способа составл ют 342,33 руб/т. что объ сн етс необходимостью проведени дорогосто щей операции по выделению хлорсиланов из абсорбента ректификационным методом.
Таким образом, техническое решение по прототипу по всем основным показател м уступает за вл емому решению.
За вл ема установка схематически изображена на чертеже.
Установка дл выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом состоит из
двух трехполостных конденсаторов 1 и 2, промежуточные полости 3 и 4 которых св заны между собой каналами 5, 6 и 7 через абсорбер 8 и каплеотделитель 9, рециркул ционного абсорбера 10 и каплеотбойника
0 11. Входной патрубок 12 дл газовой смеси рециркул ционного абсорбера ТО соединен каналом 13 с промежуточной полостью 4 конденсатора 2, выходной патрубок 14 дл регенерированного водорода рециркул ци5 онного абсорбера 10 соединен каналами 15 и 16 через каплеотбойник 11 с наружной полостью 17 конденсатора 2, св занный каналом 18 с наружной полостью 17 конденсатора 2, св занный каналом 18 с наружной
0 полостью 19 конденсатора 1. Выходной патрубок 20 дл паров хладагента рециркул ционного абсорбера 10 каналом 21 соединен с внутренней полостью 22 конденсатора 2, св занный каналом 23 с внутрен5 ней полостью 24 конденсатора 1. Выходной патрубок 25 дл конденсата рециркул ционного абсорбера 10 св зан с входным патрубком 26 дл конденсата рециркул ционного абсорбера 10 каналом
0 27, от которого на высоте, равной 0.18-0,53 высоты рабочей части рециркул ционного абсорбера 10, отводитс канал 28, соединенный с коллектором 29 дл сбора конденсата . С коллектором 29 также соединены
5 каналом 30 промежуточна полость 3 конденсатора 1, каналбмЗ промежуточна полость 4 конденсатора 2, каналом 32 каплеотбойник и каналом 33 абсорбер 8. Выходной патрубок 34 дл конденсата кап0 леотделител 9 соединен каналом 35 с емкостью 36 дл сбора и хранени конденсата. Входной патрубок 37 дл жидкого хладагента рециркул ционного абсорбера 10 соединен каналом 38 с резервуаром 39 жидкого
5 хладагента.
Установка работает следующим образом .
Газовую смесь, содержащую. об.%: Водород50-85
0 Хлористый водород До 8 Трихларсилан4-10 Тетрахлорсилан 2-6 Азот До 20, подают в промежуточную полость 3 конден5 сатора 1. Температура подаваемой на установку газовой смеси 0-(-15)°С. В наружную полость 19 конденсатора 1 по каналу 18, св занному с наружной полостью 17 конденсатора 2, противотоком к газовой смеси подают регенерированный водород, а во
внутреннюю полость 24 конденсатора 1 по каналу 23, св занному с внутренней поло- ст.ы j 22 конденсатора 2, противотоком к газовой смеси подают пары азота.
|В результате теплообмена между газовой смесью, регенерированным водородом и гч рами азота газова смесь охлаждаетс до температуры ()°С. При этом хлор- сил) ты частично конденсируютс и по каналу 30 сливаютс в коллектор 29.
Газовую смесь затем подают по каналу 5 в збсорбер 8, соединенный каналом 33 с коллектором 29. В абсорбере 8 газова смесь и жидкие хлорсиланы, поступающие из коллектора 29, формируют газожидкостную эмульсию, в которой происходит охлаждение газовой смеси и абсорбци хлор силанов из газовой смеси конденсатом хлорсиланов.
абсорбера 8 газожидкостную эмульсию по каналу 6 подают в каплеотделитель, где происходит разделение эмульсии на газовую и жидкую фазы. Жидкость через выход ной патрубок 34 дл конденсата каплеотделител 9 по каналу 35 сливаетс в емкс сть 36 дл сбора и хранени конденсата хг орсиланов, а газова смесь по каналу 7 поступает в промежуточную полость 4 конденсатора 2. В наружную полость 17 конденсатора 2 по каналу 16, св занному с каплеотбойником 11, противотоком к газовой смеси подают регенерированный водород с температурой (-80)-(-100)°С, а во внут эеннюю полость 22 конденсатора 2 по Kanaiy 21, св занному с выходным патрубком 0 дл паров хладагента рециркул ционного абсорбера, противотоком к газовой смес/t подают испарившийс азот с температурой (-130)-(-170)°С. При этом газова смес охлаждаетс до температуры (-20)- (-80)°С, хлорсиланы конденсируютс и по каналу 30 сливаютс в коллектор 29.
Иазовую смесь с температурой (-20)-(- 80)0С затем по каналу 13 подают в нижнюю часть рециркул ционного абсорбера 10 через выходной патрубок 12 дл газовой смеси , j
Через-входной патрубок 26 дл конденсата рециркул ционного абсорбера 10 по кана/iy 27, св занному с выходным патрубком 25 дл конденсата рециркул ционного абсорбера, подают конденсат хлорсила- нов.
В результате смешени газовой смеси с конденсатом хлорсиланов формируетс газожидкостна эмульси . Дл охлаждени газоХидкостной эмульсии в рециркул ционный aJ6cop6ep 10 через входной патрубок 37 дл жидкого хладагента по каналу 38 из резервуара 39 подают жидкий азот.
В рециркул ционном абсорбере 10 газова смесь охлаждаетс до температуры (-80)-(-100)°С, а хлорсиланы абсорбируютс конденсатом хлорсиланов. В верхней части
рециркул ционного абсорбера 10 происходит разделение газожидкостной эмульсии на газовую и жидкую фазы. Часть конденсата по каналу 27 возвращаетс в нижнюю часть рециркул ционного абсорбера 10 дл
0 создани устойчивой газожидкостной эмульсии, а остальна часть конденсата по каналу 28, соединенному с каналом 27 на высоте, равной 0,18-0,53 высоты рабочей части рециркул ционного абсорбера 10,
5 сливаетс в коллектор 29.
Регенерированный водород с температурой (-80)-(-100)°С через выходной патрубок 14 по каналу 15 подают в каплеотбойник 11 дл отделени регенерированного водо0 рода от капель увлеченного им конденсата, а затем по каналу 16 в наружную полость 17 конденсатора 2 дл охлаждени газовой смеси. Конденсат хлорсиланов, отделенный от регенерированного водорода в каплеот5 бойнике 11, по каналу 32 подают в коллектор 29.- .
Соотношение высоты разделени выходного канала рециркул ционного абсорбера дл конденсата на два канала и высоты
0 рабочей части рециркул ционного абсорбера измен ли от 0,10 до 0,60.
Отход щий водород, очищенный от хлорсиланов, методом газовой хроматогра- фии анализировали на содержание в нем
5 хлорсиланов и рассчитывали степень извлечени хлорсиланов из газовой фазы.
Затраты на реализацию способа были рассчитаны с учетом расхода хладагента, энергетических затрат, зарплаты обслужи0 вающего персонала и амортизационных отчислений .
Результаты опытов и расчетов приведены в табл.2. Акт испытаний за вл емой установки прилагаетс к материалам насто5 щей за вки.
Из табл.2 видно, что, оптимальным со . отношением высоты разделени выходного
канала рециркул ционного абсорбера дл
конденсата на два канала и высоты рабочей
0 части рециркул ционного абсорбера вл етс 0,18-0,53. При этом степень извлечени хлорсиланов составила от 94.4 до 97,3%, а затраты на реализацию способа - от 304,15 до 308.12 руб/т хлорсиланов.
5 Наилучшие результаты (степень извлечени , равна 96,9-97,3%. затраты на реализацию способа, равные 304.15-304,89 руб/т хлорсиланов соответственно) были достигнуты при соотношении указанных высот , равном 0,27-0.35.
При изменении этого соотношени до 0,10 степень извлечени хлорсиланов снижаетс до 92,1%, а затраты на реализацию способа растут до 312,08 руб/т хлорсиланов , т.к. в этом случае полностью разбалан- сируетс работа установки за счет проскока газовой смеси из нижней части рециркул ционного абсорбера 10 в канал 27 через входной патрубок 26 дл конденсата. При изменении соотношени высоты разделени выходного канала рециркул ционного абсорбера дл конденсата на два канала и высоты рабочей части рециркул ционного абсорбера до 0,60 в рециркул ционный абсорбер возвращаетс избыточное количество конденсата хлорсиланов, что приводит к образованию большого числа мелких капель конденсата, вследствие чего возрастает нагрузка на каплеотбо йник. При этом степень извлечени хлорсиланов снижаетс до 90,6%, а затраты на реализацию способа растут до 318,23 руб/т хлорсиланов.
Предлагаемые способы выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом и устройство дл его реализации имеют технико-экономические преимущества по сравнению с существующими, так как позвол ют повысить степень извлечени хлорсиланов при одновременном удешевлении процесса за счет;
- новой последовательности и режимов проведени способа, используемых при этом материалов;
- новой совокупности конструктивных элементов их взаимного расположени и НОБ.ЫХ св зей между их част ми в устройстве . ..
Высока степень очистки делает процесс экологически безвредным и позвол ет повысить выход целевого продукта.
Claims (2)
1. Способ выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом, включающий охлаждение смеси при косвенном теплообмене с хладагентом до температуры конденсации хлорсиланов, выделение конденсата,
абсорбцию хлорсиланов из отделенной газовой фазы, отличающийс тем, что, с целью повышени степени извлечени хлорсиланов и удешевлени процесса, по- еле стадии абсорбции дополнительно провод т охлаждение газовой фазы при косвенном теплообмене с хладагентом до температуры (-20)-(-80)0С, выделение конденсата , абсорбцию хлорсиланов из отделенной газовой фазы при (-80)-(-100)°С, причем в качестве абсорбента используют конденсат хлорсиланов и отделенный после абсорбции водород направл ют на стадии охлаждени дл рекуперации.
2. Установка дл выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом, содер- жаща многополостной конденсатор, абсорбер и каплеотделитель, отличающа с тем, что. с целью повышени степени извлечени хлорсиланов и удешевлени процесса, она дополнительно содержит конденсатор, рециркул ционный абсорбер, охлаждаемые хладагентом, и каплеотбойник , причем промежуточные полости дл охлаждени газовой смеси конденсаторов, выполненных трехполостными, соединены между собой каналами через абсорбер и каплеотделитель, и последовательно соединены с входным каналом дл газовой смеси
рециркул ционного абсорбера, выходной канал которого дл конденсата на высоте 0,18-0,53 высоты рабочей части рециркул ционного абсорбера разделен на два канала , один из которых соединен с входом дл
конденсата рециркул ционного абсорбера, а другой соединен с каналами конденсаторов дл отвода конденсата, каналом капле- отбойн.ика дл отвода конденсата и с входным каналом абсорбера дл конденсата , канал рециркул ционного абсорбера дл отвода отделенного водорода через каплеотбойник последовательно соединен с наружными полост ми конденсаторов, а канал рециркул ционного абсорбера дл отвода хладагента последовательно соединен с внутренними полост ми конденсаторов..
Таблица 1
Продолжение табл. 1
/J
W
Таблица 2
Я
V%
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914912303A RU1791380C (ru) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | Способ выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом и установка дл его осуществлени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914912303A RU1791380C (ru) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | Способ выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом и установка дл его осуществлени |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1791380C true RU1791380C (ru) | 1993-01-30 |
Family
ID=21561092
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU914912303A RU1791380C (ru) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | Способ выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом и установка дл его осуществлени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1791380C (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102580459A (zh) * | 2012-03-02 | 2012-07-18 | 洛阳晶辉新能源科技有限公司 | 一种处理多晶硅生产废气的方法 |
RU2596775C1 (ru) * | 2015-03-12 | 2016-09-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт химического машиностроения" (ООО "ЛЕННИИХИММАШ") | Способ извлечения компонентов из парогазовых смесей, образующихся при производстве поликристаллического кремния |
-
1991
- 1991-02-19 RU SU914912303A patent/RU1791380C/ru active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102580459A (zh) * | 2012-03-02 | 2012-07-18 | 洛阳晶辉新能源科技有限公司 | 一种处理多晶硅生产废气的方法 |
RU2596775C1 (ru) * | 2015-03-12 | 2016-09-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт химического машиностроения" (ООО "ЛЕННИИХИММАШ") | Способ извлечения компонентов из парогазовых смесей, образующихся при производстве поликристаллического кремния |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US2235322A (en) | Air drying | |
CA2186550C (en) | Process and apparatus for the production of moderate purity oxygen | |
CA2388791C (en) | Methods and apparatus for high propane recovery | |
US2337474A (en) | Process of and apparatus for separating gas mixtures | |
CN1119610C (zh) | 由低温空气分离方法生产氩 | |
US3186795A (en) | Method of recovering ammonia | |
US20020053505A1 (en) | Horizontal distillation apparatus and method | |
ITAN20120143A1 (it) | Dispositivo e procedimento per la rimozione di composti volatili orgnici dall'acqua | |
CA3164169A1 (en) | Extractive distillation column system and the use thereof in the separation of butenes from c4-hydrocarbon streams | |
EP0046367B1 (en) | Production of oxygen by air separation | |
RU1791380C (ru) | Способ выделени хлорсиланов из их газовой смеси с водородом и установка дл его осуществлени | |
CN102309865B (zh) | 聚对苯二甲酸1,3-丙二醇酯连续生产工艺中循环1,3-丙二醇的精制系统 | |
US5398513A (en) | Regenerative vapor condenser | |
CN101071035B (zh) | 用于输送具有提高纯度的气体的方法和用于输送具有改善纯度的过热气体的装置 | |
US2423543A (en) | Process and apparatus for separating gas mixtures | |
RU2129041C1 (ru) | Способ сушки газа | |
JP2003080002A (ja) | 蒸留装置及び蒸留方法 | |
US2881595A (en) | Separation of gaseous mixtures | |
RU2102103C1 (ru) | Способ вакуумной перегонки жидкого продукта и установка для его осуществления | |
US4834841A (en) | Method for treating baking oven stack gases | |
CN1154464A (zh) | 超高纯氮、氧生成装置 | |
RU7016U1 (ru) | Установка для вакуумной перегонки нефтяного сырья | |
US1894180A (en) | Separation of gaseous mixtures by liquefaction | |
RU2043779C1 (ru) | Установка для переработки нефти и нефтепродуктов | |
US1910341A (en) | Method of separating sulphur dioxide and the like from liquid hydrocarbons |