RU1778598C - Способ контрол герметичности электровакуумных приборов - Google Patents

Abstract

Использование: контроль герметичности электровакуумных приборов. Сущность: измер ют катодный ток до прогрева электровакуумного прибора. Прогревают электровакуумный прибор и повторно измер ют катодный ток после прогрева. Сопоставл ют величины токо- отбора в диодном режиме при номинальном напр жении накала до и после прогрева. Прогрев провод т в атмосфере водорода при температуре от 100 до 150°С в течение не менее 2 ч, Повторное измерение катодного тока осуществл ют через интервал времени не более 1 ч после окончани  прогрева. При изменении катодного тока более чем на ±20% делают вывод о негерметичности оболочки прибора. сл

Description

Изобретение относитс  к электронной технике, в частности к производству электровакуумных приборов (ЭВП).

Наиболее распространенный метод контрол  герметичности с помощью гелиевого течеискател  обладает ограниченной чувствительностью и может использоватьс  лишь до откачки ЭВМ.

Известен способ обнаружени  медленных натеканий откачанных ЭВП с применением избыточного давлени .

Недостатком такого способа  вл етс  его применение только дл  контрол  приборов , имеющих встроенный электроразр дный насос, что существенно ограничивает область его использовани .

Наиболее близким техническим решением , выбранным в качестве прототипа,  вл етс  способ контрол  герметичности ЭВП, включающий два последовательных замера катодного тока, при номинальном напр жении накала и климатическое воздействие между этими двум  замерами, причем к годным относ т приборы, у которых катодный ток при повторном измерении удовлетвор ет выражению

0,9 l2 11,

где И - катодный ток при первом измерении;

2 - катодный ток при втором измерении .

Недостатками способа  вл ютс : недостаточна  чувствительность, св занна  с низкой проникающей способностью чеVJ ч| 00 СЛ Ю 00

рез стенки оболочки ЭВП основных компонентов аниосферного воздуха (азот, кислород ) при климатических испытани х; высокой стоимость и продолжительность испытани  (болзе 48 ч), разрушающий ха- рактер контрол  из-за коррозии материалов при длительном климатическом воздействии,

Цель из&бре они  состоит в создании высокочупетвитепьного, эффективного и оперативною метода вы влени  откачанных ЭВП, имеющих малые течи через вакуумную оболочку, наход щиес  ниже порога чувствительное и известных средств и методов течеискпн, а также в определении потенциально непадежных приборов, имеющих зргупоропмыо течи.

По гц i пит цгль достигаетс  тем, что по -фолпстчемому способу контрол  ермс ичнос in ЭВП сначала измер ют ка- юд ыП ток при номинальном напр жении накал п дмпдном режиме, а затем осуществл ют прогрев последнего в атмосфере водорода при (омпералре от 100 до 150°С в течение по менее 2 ч, затем повторно изме- р ют катодный ток через интервал времени не более 1 ч после окончани  прогрева, а о негерметичноеги оболочки прибора делают вывод при изменении катодного гока более чем на ±20%,

Изменение тока катода имеет месго в случае проникновени  водорода в рабочий объем прибора через дефекты конструкционных материалов и па ные соединени . Эффективность предлагаемого способа обусловлена следующими обсто тельствами: водород обладает на несколько пор дков большей проникающей способностью через современные конструкционные материалы (металлы, различ- ные типы керамики) по сравнению с другими газами; из-за значительного вли ни  парциального давлени  водорода на эмиссионную активность наиболее распространенных термокатодов (оксидных, ме- таллопористых и т.д.) имеет место резко выраженный характер изменени  эмиссии катода как в сторону увеличени , так и в сторону уменьшени  в зависимости от величины этого давлени  и технологических параметров изготовлени  катода; защитна  атмосфера водорода при прогреве гарантирует керазрушающее воздействие контрол  на конструкцию издели . Температура прогрева должна превышать 100°С, что обусловлено необходимостью испарени  частиц влаги, закупоривающих дефекты оболочки. Верхний предел температуры прогрева ограничен допустимым

температурным диапазоном примен в- мых конструкционных материалов издели ,

Продолжительность прогрева в водороде должна гарантировать индикацию натекани  и составл ть не менее 2 ч. Замер катодного тока после прогрева должен производитьс  с минимальным интервалом во времени, чтобы избежать поглощение водорода внутриламповыми детал ми.

Напр жение анода и величина тока катода при замерах выбираютс  дл  каждой конкретной конструкции ЭВП из услови  минимального разогрева анода и возможного стравливающего воздействи  на катод, выдел ющихс  газов , что могло бы привести к искажению результатов контрол . Предлагаемый способ приводит к достижению поставленной цели.

П р и м е р, На катод подавали напр жение накала 6,3 В, на анод - напр жение 200 В. Выдерживали в течение 1 мин, затем фиксировали величину катодного тока 3 мА, проводили прогрев в водороде при температуре 150°С в течение 2 ч. Прибор вынимали из водородной печи и затем вновь подавали накал 6,3 В и анодное напр жение 200 В в течение 1 мин. Измер ли катодный ток, который составил 4 мА, Величина токоотбора изменилась в сторону увеличени  на 25% Прибор забракован из-за негерметичности оболочки .

Использование предлагаемого способа неразрушающего контрол  герметичности ЭВП позвол ет по сравнению с существующими повысить чувствительность течеискани  и вы вл ть приборы со скрытым браком по герметичности на конечных технологических стади х их изготовлени , что дает значительный экономический эффект.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ контрол  герметичности электровакуумных приборов путем измерени  катодного тока при номинальном напр жении накала в диодном режиме, прогрева прибора , повторного измерени  катодного тока после прогрева и сравнени  измеренных значений тока, отличающийс  тем, что, с целью повышени  чувствительности и исключени  разрушени  прибора, прогрев осуществл ют в атмосфере водорода при 100 - 150°С не менее 2 ч, повторное измерение катодного тока осуществл ют через

   517785986

   интервал времени не более 1 ч после окон- лочки приборе делают вывод при измене- чани  прогрева, а о негерметичности обо- нии катодного тока более чем на ±20%.