RU1778598C - Способ контрол герметичности электровакуумных приборов - Google Patents

Способ контрол герметичности электровакуумных приборов

Info

Publication number
RU1778598C
RU1778598C SU914914943A SU4914943A RU1778598C RU 1778598 C RU1778598 C RU 1778598C SU 914914943 A SU914914943 A SU 914914943A SU 4914943 A SU4914943 A SU 4914943A RU 1778598 C RU1778598 C RU 1778598C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
heating
cathode current
current
tightness
cathode
Prior art date
Application number
SU914914943A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Яковлевич Чабань
Анатолий Петрович Мартыненко
Original Assignee
Специальное конструкторское бюро при Полтавском заводе "Знамя"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Специальное конструкторское бюро при Полтавском заводе "Знамя" filed Critical Специальное конструкторское бюро при Полтавском заводе "Знамя"
Priority to SU914914943A priority Critical patent/RU1778598C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1778598C publication Critical patent/RU1778598C/ru

Links

Landscapes

  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

Использование: контроль герметичности электровакуумных приборов. Сущность: измер ют катодный ток до прогрева электровакуумного прибора. Прогревают электровакуумный прибор и повторно измер ют катодный ток после прогрева. Сопоставл ют величины токо- отбора в диодном режиме при номинальном напр жении накала до и после прогрева. Прогрев провод т в атмосфере водорода при температуре от 100 до 150°С в течение не менее 2 ч, Повторное измерение катодного тока осуществл ют через интервал времени не более 1 ч после окончани  прогрева. При изменении катодного тока более чем на ±20% делают вывод о негерметичности оболочки прибора. сл

Description

Изобретение относитс  к электронной технике, в частности к производству электровакуумных приборов (ЭВП).
Наиболее распространенный метод контрол  герметичности с помощью гелиевого течеискател  обладает ограниченной чувствительностью и может использоватьс  лишь до откачки ЭВМ.
Известен способ обнаружени  медленных натеканий откачанных ЭВП с применением избыточного давлени .
Недостатком такого способа  вл етс  его применение только дл  контрол  приборов , имеющих встроенный электроразр дный насос, что существенно ограничивает область его использовани .
Наиболее близким техническим решением , выбранным в качестве прототипа,  вл етс  способ контрол  герметичности ЭВП, включающий два последовательных замера катодного тока, при номинальном напр жении накала и климатическое воздействие между этими двум  замерами, причем к годным относ т приборы, у которых катодный ток при повторном измерении удовлетвор ет выражению
0,9 l2 11,
где И - катодный ток при первом измерении;
2 - катодный ток при втором измерении .
Недостатками способа  вл ютс : недостаточна  чувствительность, св занна  с низкой проникающей способностью чеVJ ч| 00 СЛ Ю 00
рез стенки оболочки ЭВП основных компонентов аниосферного воздуха (азот, кислород ) при климатических испытани х; высокой стоимость и продолжительность испытани  (болзе 48 ч), разрушающий ха- рактер контрол  из-за коррозии материалов при длительном климатическом воздействии,
Цель из&бре они  состоит в создании высокочупетвитепьного, эффективного и оперативною метода вы влени  откачанных ЭВП, имеющих малые течи через вакуумную оболочку, наход щиес  ниже порога чувствительное и известных средств и методов течеискпн, а также в определении потенциально непадежных приборов, имеющих зргупоропмыо течи.
По гц i пит цгль достигаетс  тем, что по -фолпстчемому способу контрол  ермс ичнос in ЭВП сначала измер ют ка- юд ыП ток при номинальном напр жении накал п дмпдном режиме, а затем осуществл ют прогрев последнего в атмосфере водорода при (омпералре от 100 до 150°С в течение по менее 2 ч, затем повторно изме- р ют катодный ток через интервал времени не более 1 ч после окончани  прогрева, а о негерметичноеги оболочки прибора делают вывод при изменении катодного гока более чем на ±20%,
Изменение тока катода имеет месго в случае проникновени  водорода в рабочий объем прибора через дефекты конструкционных материалов и па ные соединени . Эффективность предлагаемого способа обусловлена следующими обсто тельствами: водород обладает на несколько пор дков большей проникающей способностью через современные конструкционные материалы (металлы, различ- ные типы керамики) по сравнению с другими газами; из-за значительного вли ни  парциального давлени  водорода на эмиссионную активность наиболее распространенных термокатодов (оксидных, ме- таллопористых и т.д.) имеет место резко выраженный характер изменени  эмиссии катода как в сторону увеличени , так и в сторону уменьшени  в зависимости от величины этого давлени  и технологических параметров изготовлени  катода; защитна  атмосфера водорода при прогреве гарантирует керазрушающее воздействие контрол  на конструкцию издели . Температура прогрева должна превышать 100°С, что обусловлено необходимостью испарени  частиц влаги, закупоривающих дефекты оболочки. Верхний предел температуры прогрева ограничен допустимым
температурным диапазоном примен в- мых конструкционных материалов издели ,
Продолжительность прогрева в водороде должна гарантировать индикацию натекани  и составл ть не менее 2 ч. Замер катодного тока после прогрева должен производитьс  с минимальным интервалом во времени, чтобы избежать поглощение водорода внутриламповыми детал ми.
Напр жение анода и величина тока катода при замерах выбираютс  дл  каждой конкретной конструкции ЭВП из услови  минимального разогрева анода и возможного стравливающего воздействи  на катод, выдел ющихс  газов , что могло бы привести к искажению результатов контрол . Предлагаемый способ приводит к достижению поставленной цели.
П р и м е р, На катод подавали напр жение накала 6,3 В, на анод - напр жение 200 В. Выдерживали в течение 1 мин, затем фиксировали величину катодного тока 3 мА, проводили прогрев в водороде при температуре 150°С в течение 2 ч. Прибор вынимали из водородной печи и затем вновь подавали накал 6,3 В и анодное напр жение 200 В в течение 1 мин. Измер ли катодный ток, который составил 4 мА, Величина токоотбора изменилась в сторону увеличени  на 25% Прибор забракован из-за негерметичности оболочки .
Использование предлагаемого способа неразрушающего контрол  герметичности ЭВП позвол ет по сравнению с существующими повысить чувствительность течеискани  и вы вл ть приборы со скрытым браком по герметичности на конечных технологических стади х их изготовлени , что дает значительный экономический эффект.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Способ контрол  герметичности электровакуумных приборов путем измерени  катодного тока при номинальном напр жении накала в диодном режиме, прогрева прибора , повторного измерени  катодного тока после прогрева и сравнени  измеренных значений тока, отличающийс  тем, что, с целью повышени  чувствительности и исключени  разрушени  прибора, прогрев осуществл ют в атмосфере водорода при 100 - 150°С не менее 2 ч, повторное измерение катодного тока осуществл ют через
    517785986
    интервал времени не более 1 ч после окон- лочки приборе делают вывод при измене- чани  прогрева, а о негерметичности обо- нии катодного тока более чем на ±20%.
SU914914943A 1991-01-31 1991-01-31 Способ контрол герметичности электровакуумных приборов RU1778598C (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU914914943A RU1778598C (ru) 1991-01-31 1991-01-31 Способ контрол герметичности электровакуумных приборов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU914914943A RU1778598C (ru) 1991-01-31 1991-01-31 Способ контрол герметичности электровакуумных приборов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1778598C true RU1778598C (ru) 1992-11-30

Family

ID=21562600

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU914914943A RU1778598C (ru) 1991-01-31 1991-01-31 Способ контрол герметичности электровакуумных приборов

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1778598C (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Шелканов Г.П. и др. Способы обнаружени медленных натеканий с применением избыточного давлени . Электронна техника, сер. Электроника СВЧ, 1968, № 3, с. 157-160. Авторское свидетельство СССР № 1396849, кл. Н 01J 9/42, 1985 г. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2484455A1 (en) Leak testing of hermetic enclosures for implantable energy storage devices
US4123344A (en) Two fire ceramic sealed oxygen sensing device and method of forming same
US4723438A (en) Spark spectroscopic high-pressure gas analyzer
RU1778598C (ru) Способ контрол герметичности электровакуумных приборов
CN101319940A (zh) 一种长杆铂电阻温度计的检测装置及其使用方法
US4176311A (en) Positive ion smoke detector using a tungsten wire preheated in hydrogen to increase sensitivity
US5115668A (en) Non-invasive pressure measuring device and method
US4053825A (en) Ionization chamber type gas leak detector operating in the high voltage avalanche region
US3194110A (en) Method of detecting oxygen contaminant in sealed envelopes
CN109211491A (zh) 一种检验激光陀螺气密性的方法
GB838189A (en) Apparatus for detecting the presence of organic gases and vapours
CN115308583A (zh) 一种真空灭弧室的真空度测试方法和测试设备
JPS5847252A (ja) 超音波探傷による反応管の溶接部における探傷方法
CN208187667U (zh) 元素分析仪气体管路的压力法检漏和数据校正的装置
JPS6125047A (ja) 圧力容器における水素侵食の事前検出方法
CN114184911A (zh) 检测设备缺陷类型的方法、装置及电子设备
JPH11512815A (ja) ジルコニウム−合金製エレメントの表面層の諸特性を検査するための方法並びにデバイスおよび原子炉用燃料棒の検査のためのその使用
CN104748918B (zh) 一种电力电容器漏油检测装置
US1849911A (en) Process and apparatus for testing catalysts
Tadayon A simple pressure recorder
RU2589941C1 (ru) Способ контроля герметичности изделий
KR20020052051A (ko) 코크스오븐 연소실의 손상연와 점검방법
SU421954A1 (ru)
Niemeyer Leak testing encapsulated radioactive sources
Wilfert et al. Investigations of the long-term measuring stability of cold-cathode gauges