RU1770943C

RU1770943C - Method of producing electrophotographic material

Info

Publication number: RU1770943C
Application number: SU914917512A
Authority: RU
Inventors: Эро Федорович Ряннель; Владимир Александрович Ведерников
Original assignee: Институт химии нефти СО АН СССР; Малое Предриятие "Научно-Производственный Центр Электрофотографии "Эфан"
Priority date: 1991-03-11
Filing date: 1991-03-11
Publication date: 1992-10-23

Abstract

Использование: в области электрофотографии . Сущность изобретени : в вакуумной камере на движущуюс гибкую полимерную основу осуществл ют напыление электропровод щего сло из титана. -Сразу же после этого на слой титана в этой же камере напыл ют полупроводниковый генерирующий слой из селена и теллура. На генерирующий слой нанос т органический транспортный слой путем полива. I таблUsage: in the field of electrophotography. SUMMARY OF THE INVENTION: An electrically conductive titanium layer is sprayed onto a moving flexible polymer base in a vacuum chamber. - Immediately thereafter, a semiconductor generating layer of selenium and tellurium is sprayed onto the titanium layer in the same chamber. An organic transport layer is applied to the generating layer by irrigation. I table

Description

Изобретение относитс к электрофотографии , в частности к технологии получени электрофотографических материалов.The invention relates to electrophotography, in particular to a technology for producing electrophotographic materials.

Известны способы получени электрофотографических материалов путем последовательного нанесени в вакууме металлических и полупроводниковых слоев и затем на воздухе - полимерных слоев.Known methods for producing electrophotographic materials by successively applying in a vacuum metal and semiconductor layers, and then in the air, polymer layers.

Известен также способ повышени качества материала за счет повышени вакуума в процессе напылени селенового сло путем использовани криогенных ловушек дл остаточных газов в вакуумной камере.There is also a method for improving the quality of the material by increasing the vacuum during the spraying of the selenium layer by using cryogenic traps for residual gases in a vacuum chamber.

С целью повышени глубины вакуума в вакуумной технике широко примен ютс в качестве откачных средств серийные титановые сорбционные насосы,- в которых повышение вакуума в откачиваемой системе достигаетс за счет св зывани остаточных газов распыл емыми атомами титана. При этом распыл емый титан осаждаетс на стенках вакуумной системы, загр зн ее и не использу сь непосредственно в технологическом процессе.In order to increase the vacuum depth in vacuum technology, serial titanium sorption pumps are widely used as pumping means, in which an increase in vacuum in the pumped system is achieved by binding the residual gases by atomized titanium atoms. In this case, the sprayed titanium is deposited on the walls of the vacuum system, polluting it and not being used directly in the technological process.

Наиболее близким к предлагаемому вл етс способ получени многослойных электрофотографических материалов на гибкой полимерной основе путем последовательного напылени в вакууме сначала электропровод щего сло , а затем Јоточув- ствительного генерирующего сло селена с добавлением теллура и далее уже на воздухе полив из раствора транспортного сло , содержащего органический полупроводник.Closest to the proposed method is a method of producing multilayer electrophotographic materials on a flexible polymer base by sequentially spraying in a vacuum, first an electrically conductive layer, and then a sensory generating layer of selenium with the addition of tellurium and then watering from a solution of a transport layer containing an organic semiconductor in air .

По известному способу электропровод щий слой никел и генерирующий слой нанос т последовательно, подверга материал между этими операци ми воздействию атмосферы. Это ведет к окислению металлического сло за счет адсорбции компонентов атмосферы, ухудшению адгезии слоев и снижению фоточувствительности.According to the known method, the electrically conductive nickel layer and the generating layer are applied sequentially, exposing the material between these operations to atmospheric conditions. This leads to the oxidation of the metal layer due to adsorption of atmospheric components, deterioration of the adhesion of the layers and a decrease in photosensitivity.

Целью предлагаемого изобретена °в- л етс улучшение качества материала за счет повышени его фоточувствительности и адгезии напыленных слоев.The aim of the proposed invention is to improve the quality of the material by increasing its photosensitivity and adhesion of the sprayed layers.

Эта цель достигаетс тем, с помощью вакуумной камеры последовательноThis goal is achieved by using a vacuum chamber in series

XI Xi

х 0 Оx 0 O

fcfc

напыл ют на движущуюс полимерную основу электропровод щий слой и полупроводниковый генерирующий слой из селена и теллура с последующим нанесением на полупроводниковый генерирующий слой транспортного сло путем полива органического раствора, причем напыление полупро- водникового генерирующего сло осуществл ют непосредственно после напылени электропровод щего сло из тита- на на движущуюс гибкую полимерную основу в одной вакуумной камере.an electrically conductive layer and a semiconductor generation layer of selenium and tellurium are sprayed onto a moving polymer base, followed by applying a transport layer to the semiconductor generation layer by irrigation of an organic solution, and the semiconductor generation layer is sprayed directly after the electroconductive layer is sprayed from titanium onto a moving flexible polymer base in a single vacuum chamber.

Испаритель титана выполн ет при этом две функции: играет роль сорбционного насоса и источника вещества напыл емого функционального (электропровод щего) сло . Важной особенностью вл етс то, что распыл емые атомы и ионы титана поглощают остаточные и выдел ющиес из подложки и элементов конструкции газы не- посредственно в зоне нанесени полупроводникового сло , обеспечива его чистоту и тем самым повыша качество сло .In this case, the titanium evaporator performs two functions: it plays the role of a sorption pump and a source of substance of the sprayed functional (electrically conductive) layer. An important feature is that sputtered titanium atoms and ions absorb the residual gases released from the substrate and structural elements directly in the deposition zone of the semiconductor layer, ensuring its purity and thereby improving the quality of the layer.

Существенным отличительным признаком предлагаемого технического решени , обеспечивающим достижение положительного эффекта, вл етс одновременное осаждение в вакууме на движущуюс подложку сло металлического титана и поверх него сло полупроводника.An essential distinguishing feature of the proposed technical solution, which provides a positive effect, is the simultaneous deposition in vacuum on a moving substrate of a layer of titanium metal and on top of it a semiconductor layer.

Пример1.В вакуумной камере размещают устройство дл перемотки полиэти- лентерефталатной ленты (основы), электродуговой испаритель титана, испаритель селена и испаритель теллура, таким образом, в процессе перемотки основы она проходит сначала мимо испарител титана, а затем - селена и теллура.Example 1. A device for rewinding a polyethylene terephthalate tape (base), an electric arc titanium evaporator, a selenium evaporator and a tellurium evaporator are placed in a vacuum chamber, thus, during the winding of the base, it passes first through a titanium evaporator, and then selenium and tellurium.

Откачивают вакуумную камеру до предельного давлени (0,8-1) х 10 мм рт.ст. Включают испарители селена и теллура. При этом за счет разогрева элементов конструкции испарителей давление в камере увеличиваетс до 1-2-10 мм рт.ст, Включают электродуговой испаритель титана. При этом давление в камере уменьшаетс до 1-2 хЮ мм рт.ст.Evacuate the vacuum chamber to a pressure limit of (0.8-1) x 10 mm Hg. They include selenium and tellurium vaporizers. In this case, due to the heating of the structural elements of the evaporators, the pressure in the chamber increases to 1-2-10 mm Hg. The titanium electric arc evaporator is turned on. In this case, the pressure in the chamber decreases to 1-2 x 10 mm Hg.

Включают устройство перемотки основы и нанос т на нее слой титана и поверх него слой селена с нарастающей от 0 до 20% концентрацией теллура толщиной 0,2 мкм.The rewinder is turned on and a layer of titanium is deposited on top of it and a layer of selenium is deposited on top of it with an increasing concentration of tellurium from 0 to 20% thickness of 0.2 microns.

Выключают все испарители, вынимают ленту с напыленными сло ми из камеры. Поверх селенового сло нанос т из раствора транспортный слой, содержащий 60 мас.% поликарбоната. Высушивают слой на воздухе при температуре 50-70°С.All evaporators are turned off, the tape with sprayed layers is removed from the chamber. A transport layer containing 60% by weight of polycarbonate is applied from the solution over the selenium layer. Dry the layer in air at a temperature of 50-70 ° C.

П р и м е р 2. Изготавливают образец материала по примеру 1, но сначала нанос т только слой титана, затем образец вынимают на воздух и помещают в другую установку и отдельно нанос т слой селена с теллуром. Поверх последнего нанос т транспортный слой.EXAMPLE 2 A material sample is prepared according to Example 1, but first only a layer of titanium is applied, then the sample is taken out in air and placed in another installation and a separate layer of selenium with tellurium is applied. A transport layer is applied over the latter.

ПримерЗ. Изготавливают образец материала по примеру 2, но вместо титана используют никель.Example 3. A sample of the material is prepared as in Example 2, but nickel is used instead of titanium.

Светочувствительность по примерам 1- 3 оценивают по критерию полуспада отрицательного поверхностного потенциала при экспонировании монохроматическим светом . Результаты испытаний приведены в таблице.The photosensitivity in examples 1-3 is evaluated by the criterion of half-life of a negative surface potential when exposed to monochromatic light. The test results are shown in the table.

Как видно из таблицы, материал по примеру 1, изготовленный в соответствии с предлагаемым техническим решением, обладает более высокой светочувствительностью , т.е. положительный эффект достигаетс .As can be seen from the table, the material according to example 1, manufactured in accordance with the proposed technical solution, has a higher photosensitivity, i.e. positive effect is achieved.

Адгезию генерирующего сло на поверхности металлического оценивают путем от- рыва липкой ленты, приклеенной к поверхности сло .The adhesion of the generating layer on the metal surface is evaluated by tearing off the adhesive tape glued to the surface of the layer.

Результаты показывают, что у образцов по примерам 2 и 3 при отрыве липкой ленты генерирующий слой отрываетс вместе с липкой лентой, отдел сь от металла.The results show that for the samples of Examples 2 and 3, when the adhesive tape is torn off, the generating layer is torn off together with the adhesive tape, separated from the metal.

У образца по примеру 1 генерирующий слой от металлического отделить не удаетс . При увеличении прочности клеевого соединени возможно только частичное отделение двух слоев одновременно (генерирующего и металлического от полимерной подложки).In the sample of Example 1, the generating layer from the metal cannot be separated. With an increase in adhesive strength, only partial separation of two layers at the same time (generating and metal from the polymer substrate) is possible.

Таким образом, достигаетс положительный эффект увеличени адгезионной прочности генерирующего сло на поверхности металлического,Thus, a positive effect is achieved by increasing the adhesive strength of the generating layer on the surface of the metal,

Claims

SUMMARY OF THE INVENTION A method for producing an electrophotographic material comprising sequentially spraying with a vacuum chamber a flexible polymer base of an electrically conductive layer and a semiconductor generating layer of selenium and tellurium, followed by applying a transport layer to the semiconductor generating layer by irrigation of an organic solution, characterized in that, c the purpose of improving the quality of the material by increasing its photosensitivity and adhesion of the sprayed layers, semiconductor sputtering The generating method is carried out immediately after the electroconductive layer of titanium is sprayed onto a moving flexible polymer base in a single vacuum chamber.