RU165525U1 - ELECTRON BEAM ELECTRON BEAM - Google Patents

ELECTRON BEAM ELECTRON BEAM Download PDF

Info

Publication number
RU165525U1
RU165525U1 RU2016111728/07U RU2016111728U RU165525U1 RU 165525 U1 RU165525 U1 RU 165525U1 RU 2016111728/07 U RU2016111728/07 U RU 2016111728/07U RU 2016111728 U RU2016111728 U RU 2016111728U RU 165525 U1 RU165525 U1 RU 165525U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cathode
electron beam
electrode
emitter
holder
Prior art date
Application number
RU2016111728/07U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Дмитрий Витальевич Панов
Виктор Иванович Кулик
Николай Игоревич Созонович
Владимир Глебович Бещеков
Николай Иванович Макаревский
Валерий Васильевич Богданов
Николай Владимирович Успенский
Original Assignee
Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Научно-Производственное Объединение "Техномаш"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Научно-Производственное Объединение "Техномаш" filed Critical Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Научно-Производственное Объединение "Техномаш"
Priority to RU2016111728/07U priority Critical patent/RU165525U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU165525U1 publication Critical patent/RU165525U1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/06Electron sources; Electron guns

Abstract

Электронный прожектор электронно-лучевой пушки, содержащий держатель, в котором размещен анод с центральным отверстием, катод с эмиттером, а также токоподводы, отличающийся тем, что электронный прожектор снабжен управляющим электродом, центральным электродом, а также тремя пластинами, установленными на вертикально закрепленных на держателе стержнях с возможностью относительного перемещения и фиксации в заданном положении, центральный электрод установлен на верхней пластине, катод с эмиттером - на средней пластине, а управляющий электрод - на нижней, при этом токоподводы подсоединены к пластинам.An electronic spotlight of an electron beam gun comprising a holder in which an anode with a central hole is placed, a cathode with an emitter, and current leads, characterized in that the electronic spotlight is equipped with a control electrode, a central electrode, and also three plates mounted on a vertically mounted holder rods with the possibility of relative movement and fixation in a given position, the central electrode is mounted on the upper plate, the cathode with the emitter on the middle plate, and the control elec the genus is on the bottom, while the current leads are connected to the plates.

Description

Полезная модель относится к области электронно-лучевой сварки деталей и, в частности, к устройствам для генерации направленного электронного пучка в процессе сварки агрегатных сборок жидкостных ракетных двигателей.The utility model relates to the field of electron beam welding of parts and, in particular, to devices for generating a directional electron beam in the process of welding aggregate assemblies of liquid rocket engines.

Существующий в настоящее время ассортимент электронных прожекторов, применяемых в электронно-лучевых пушках, вследствие невозможности обеспечения равномерной по поверхности катода плотности эмиссии электронов, обусловленной нестабильностью подогрева катода, значительно снижает срок его службы и, как результат, не обеспечивает стабильности режима работы катода, приводя к понижению качества получаемых сварных изделий.The current assortment of electron projectors used in electron beam guns, due to the inability to ensure a uniform electron emission density on the cathode surface due to the instability of the cathode heating, significantly reduces its service life and, as a result, does not ensure the stability of the cathode operation mode, leading to lowering the quality of the welded products.

Известен электронный прожектор электронно-лучевой пушки, содержащий выполненный из двух частей корпус, в одной из которых (верхней части) смонтирован держатель катода с прикатодным электродом, в котором размещен катод, контактирующий с электроподогревателем. В другой части (нижней) корпуса смонтирован держатель анода, анод в котором установлен соосно катоду и выполнен в виде цилиндрического тела с отверстием, образованным сопряженными друг с другом конфузором, цилиндрическим поясом и диффузором.Known electronic spotlight of an electron beam gun containing a housing made of two parts, in one of which (the upper part) is mounted a cathode holder with a cathode electrode, in which a cathode is placed in contact with an electric heater. In the other part of the (lower) case, the anode holder is mounted, the anode in which is mounted coaxially to the cathode and is made in the form of a cylindrical body with an opening formed by mating confuser, cylindrical belt and diffuser.

Электронный прожектор устанавливают в корпус электронно-лучевой пушки внутренний объем прожектора откачивают высоковакуумным насосом до давления 5·10-5 мм.рт.ст.An electronic searchlight is installed in the casing of the electron beam gun; the internal volume of the searchlight is pumped out with a high-vacuum pump to a pressure of 5 · 10 -5 mm Hg.

Во время сварочного процесса включают электроподогреватель и поток электронов пучка, вырабатываемых катодом (изготовленным из гексаборида лантана), поступает к щелевой разделке свариваемых деталей. Катод при этом нагревается до температуры порядка 1600°С, при которой происходит интенсивная эмиссия электронов с поверхности катода. Попадая в конфузор, электроны пучка, пройдя цилиндрический поясок, в растре диффузора увеличивают скорость своего движения, значительно превышающую скорость звука и попадают на свариваемую поверхность, (см. патент РФ №2093918, кл. H01J 23/06, 1997 г.) - наиболее близкий аналог.During the welding process, the electric heater is turned on and the beam of electron beam generated by the cathode (made from lanthanum hexaboride) is fed to the gap cutting of the parts to be welded. In this case, the cathode is heated to a temperature of about 1600 ° C, at which intense electron emission from the cathode surface occurs. Entering the confuser, the beam electrons, having passed through a cylindrical girdle, increase the speed of their movement in the diffuser raster, significantly exceeding the speed of sound and fall on the surface being welded (see RF patent No. 2093918, class H01J 23/06, 1997) - the most close analogue.

В результате анализа известного электронного прожектора электроннолучевой пушки установлено, что подаваемые на катод прикатодным электродом токи вызывают неконтролируемый нежелательный разогрев электронно-лучевой пушки, приводящий к необратимой температурной деформации ее элементов и, как результат, нарушению электростатической фокусировки луча и снижению качества свариваемых изделий.As a result of the analysis of the well-known electron beam of an electron beam gun, it was found that the currents supplied to the cathode by the cathode electrode cause uncontrolled unwanted heating of the electron beam gun, which leads to irreversible temperature deformation of its elements and, as a result, disrupt the electrostatic focusing of the beam and reduce the quality of the welded products.

Технический результат настоящей полезной модели заключается в повышении качества электронно-лучевой сварки изделий, путем подогрева катода за счет бомбардировки его электронами со стороны прикатодного электрода, что улучшает фокусировку электронного пучка, устраняет нежелательный разогрев деталей электронной пушки из-за его рассеивания и последующее их термическое коробление, и нарушение заданного режима работы прожектора.The technical result of this utility model is to improve the quality of electron beam welding of products by heating the cathode by bombarding it with electrons from the side of the cathode electrode, which improves the focusing of the electron beam, eliminates unwanted heating of the details of the electron gun due to its scattering and their subsequent thermal warpage , and violation of the set operating mode of the searchlight.

Указанный технический результат обеспечивается тем, что в электронном прожекторе электронно-лучевой пушки, содержащем держатель, в котором размещен анод с центральным отверстием, катод с эмиттером, а также токоподводы, новым является то, что электронный прожектор снабжен управляющим электродом, центральным электродом, а также тремя пластинами, установленными на вертикально закрепленных на держателе стержнях с возможностью относительного перемещения и фиксации в заданном положении, центральный электрод установлен на верхней пластине, катод с эмиттером - на средней пластине, а управляющий электрод - на нижней, при этом, токоподводы подсоединены к пластинам.The specified technical result is ensured by the fact that in the electronic searchlight of the electron-beam gun containing the holder in which the anode with the central hole is located, the cathode with the emitter, as well as the current leads, it is new that the electronic searchlight is equipped with a control electrode, a central electrode, and with three plates mounted on rods vertically mounted on the holder with the possibility of relative movement and fixation in a given position, the central electrode is mounted on the upper plate , the cathode with the emitter is on the middle plate, and the control electrode is on the bottom, while the current leads are connected to the plates.

Сущность заявленной полезной модели поясняется графическими материалами, на которых представлен электронный прожектор в разрезе.The essence of the claimed utility model is illustrated by graphic materials on which an electronic searchlight is shown in section.

Электронный прожектор электронно-лучевой пушки состоит из держателя 1, в котором размещен анод 2 с выполненным в нем осевым отверстием. На держателе вертикально закреплены стержни 3, выполненные из электроизоляционного материала с целью предотвращения короткого замыкания при подводе к ним напряжения. На стрежнях с возможностью перемещения и фиксации в заданном положении установлены пластины 4, 5, 6 (соответственно, верхняя, средняя, нижняя).The electronic searchlight of the electron beam gun consists of a holder 1, in which an anode 2 is placed with an axial hole made therein. On the holder, rods 3 are vertically fixed, made of insulating material in order to prevent short circuits when voltage is applied to them. On rods with the ability to move and fix in a predetermined position, plates 4, 5, 6 are installed (respectively, upper, middle, lower).

На средней пластине 5 закреплен катод 7 с эмиттером 8.A cathode 7 with an emitter 8 is fixed on the middle plate 5.

На нижней пластине 6 размещен управляющий электрод 9 с осевым отверстием.On the bottom plate 6 is placed a control electrode 9 with an axial hole.

На верхней пластине 4 размещен центральный электрод 10.A central electrode 10 is placed on the upper plate 4.

Пластины 4, 5 и 6 оснащены токоподводами 11.Plates 4, 5 and 6 are equipped with current leads 11.

Электронный прожектор работает следующим образом.Electronic spotlight works as follows.

Устанавливают прожектор в электронную пушку (на чертеже не показаны), вакуумируют сварочную камеру (на чертеже не показана), включают источник питания (на чертеже не показан). Подают запирающее напряжение на управляющий электрод 9 с целью контроля процесса генерации электронного луча, который генерируется при подаче высокого напряжения на катод 7. На центральный электрод 10 подают ток, который обеспечивает подогрев катода 7 за счет бомбардировки его электронами, и начинают бомбардировку электронами катода 7, затем уменьшают запирающее напряжение и электронная пушка начинает выдавать поток электронов стабильной величины в направлении детали. Проходя через отверстие анода 2, электронный поток фокусируется посредством отклоняющей системы и попадает на свариваемый стык изделий.Install the spotlight in an electronic gun (not shown in the drawing), vacuum the welding chamber (not shown in the drawing), turn on the power source (not shown in the drawing). A locking voltage is applied to the control electrode 9 in order to control the process of generating the electron beam, which is generated when a high voltage is applied to the cathode 7. A current is applied to the central electrode 10, which heats the cathode 7 by bombarding it with electrons, and the electrons begin to bombard the cathode 7, then the locking voltage is reduced and the electron gun begins to produce a stream of electrons of a stable magnitude in the direction of the part. Passing through the hole of the anode 2, the electron beam is focused by means of a deflecting system and enters the welded joint of the products.

Подогрев катода 7 центральным электродом 10 улучшает фокусировку электронного пучка, устраняет нежелательный разогрев деталей электронной пушки из-за рассеивания электронного пучка и последующее их термическое коробление и, в результате, повышает качество свариваемых изделий.The heating of the cathode 7 by the central electrode 10 improves the focusing of the electron beam, eliminates the unwanted heating of the details of the electron gun due to scattering of the electron beam and their subsequent thermal warping, and, as a result, improves the quality of the welded products.

Таким образом, снабжение прожектора центральным электродом, установленным на верхней пластине обеспечивает подогрев катода за счет бомбардировки его электронами от центрального электрода, а это повышает фокусировку электронного пучка, устраняет нежелательный разогрев деталей электронной пушки из-за его рассеивания и последующее их термическое коробление и, как результат, повышает качество свариваемых изделий. Наличие трех установленных на стержнях с возможностью перемещения и фиксации в заданном положении пластин, позволяет регулировать зазоры между катодом 7, управляющим электродом 9 и анодом 2. Тем самым, осуществляется юстировка электронного прожектора.Thus, supplying a spotlight with a central electrode mounted on the upper plate provides heating of the cathode by bombarding it with electrons from the central electrode, and this increases the focusing of the electron beam, eliminates unwanted heating of the details of the electron gun due to its scattering and their subsequent thermal warping and, as result, improves the quality of welded products. The presence of three plates mounted on the rods with the ability to move and fix in a predetermined position, allows you to adjust the gaps between the cathode 7, the control electrode 9 and the anode 2. Thus, the electronic spotlight is aligned.

Claims (1)

Электронный прожектор электронно-лучевой пушки, содержащий держатель, в котором размещен анод с центральным отверстием, катод с эмиттером, а также токоподводы, отличающийся тем, что электронный прожектор снабжен управляющим электродом, центральным электродом, а также тремя пластинами, установленными на вертикально закрепленных на держателе стержнях с возможностью относительного перемещения и фиксации в заданном положении, центральный электрод установлен на верхней пластине, катод с эмиттером - на средней пластине, а управляющий электрод - на нижней, при этом токоподводы подсоединены к пластинам.
Figure 00000001
An electronic spotlight of an electron beam gun comprising a holder in which an anode with a central hole is placed, a cathode with an emitter, and current leads, characterized in that the electronic spotlight is equipped with a control electrode, a central electrode, and also three plates mounted on a vertically mounted holder rods with the possibility of relative movement and fixation in a given position, the central electrode is mounted on the upper plate, the cathode with the emitter on the middle plate, and the control elec the genus is on the bottom, while the current leads are connected to the plates.
Figure 00000001
RU2016111728/07U 2016-03-30 2016-03-30 ELECTRON BEAM ELECTRON BEAM RU165525U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016111728/07U RU165525U1 (en) 2016-03-30 2016-03-30 ELECTRON BEAM ELECTRON BEAM

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016111728/07U RU165525U1 (en) 2016-03-30 2016-03-30 ELECTRON BEAM ELECTRON BEAM

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU165525U1 true RU165525U1 (en) 2016-10-20

Family

ID=57138928

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016111728/07U RU165525U1 (en) 2016-03-30 2016-03-30 ELECTRON BEAM ELECTRON BEAM

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU165525U1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI518733B (en) An ion source, ion implantation system and method of generating multiply charged ions in ion source
US8796649B2 (en) Ion implanter
US4122347A (en) Ion source
JP2016524277A (en) Voltage modulation of extraction electrode assembly in ion implantation system
US8183542B2 (en) Temperature controlled ion source
US20170178866A1 (en) Apparatus and techniques for time modulated extraction of an ion beam
Gushenets et al. Electrostatic plasma lens focusing of an intense electron beam in an electron source with a vacuum arc plasma cathode
US3172007A (en) Folded filament beam generator
RU165525U1 (en) ELECTRON BEAM ELECTRON BEAM
US3182175A (en) Electron beam heating device
US10217600B1 (en) Indirectly heated cathode ion source assembly
RU107657U1 (en) FORVACUMUM PLASMA ELECTRONIC SOURCE
RU2654494C1 (en) Vacuum spark discharger
CN102296274B (en) Shielding device for cathode arc metal ion source
US3409729A (en) Electron beam furnace and method for heating a target therein
US3286187A (en) Ion source utilizing a spherically converging electric field
LV14938B (en) Gaseous-discharge electron gun
US11961696B1 (en) Ion source cathode
Gushenets et al. Effect of the enhanced breakdown strength in plasma-filled optical system of electron beam formation
US3412196A (en) Electron beam vacuum melting furnace
US3614510A (en) Nonthermionic cathode discharge devices
RU2607398C2 (en) Method of coatings application by plasma spraying and device for its implementation
KR101954541B1 (en) An ion source device for optimizing magnetic field
RU2680150C1 (en) Cathode unit of welding electron gun
RU2654493C1 (en) Vacuum arrester

Legal Events

Date Code Title Description
PD9K Change of name of utility model owner