RU156783U1

RU156783U1 - Герметичный корпус

Info

Publication number: RU156783U1
Application number: RU2015129047/07U
Authority: RU
Inventors: Александр Фёдорович Коваленко
Priority date: 2015-07-17
Filing date: 2015-07-17
Publication date: 2015-11-20

Abstract

Герметичный корпус, включающий стенку корпуса, которая через прокладку, выполненную из титана, с двухсторонней отбортовкой, снабженную с обеих сторон алюминиевой фольгой, соединена по всему периметру с входным окном из лейкосапфира, отличающийся тем, что входное окно выполнено в виде плоско-вогнутой рассеивающей линзы, плоская поверхность которой обращена к прокладке.

Description

Полезная модель может быть использована при изготовлении герметичного ввода-вывода источников излучения в рабочий объем различных электрофизических установок, электровакуумных, газонаполненных приборов, а также лазеров.

Известно устройство термостатирования передающей телевизионной трубки, размещенной в герметичном корпусе. Входное окно передающей телевизионной трубки выполнено из пластины кристалла лейкосапфира. Патент Российской Федерации на изобретение №2115860, МПК F21V 31/00, 1996 г.

Известен также облучатель, в котором окно выполнено из лейкосапфира. Патент Российской Федерации на полезную модель №5346, МПК A61N 5/06, 1997 г.

Известен двухэлектродный разрядник, содержащий корпус, в котором расположены катод, имеющий острие и выполненный из сплава ВНБ-3, анод, выполненный с отверстием в центре, и прозрачное окно для ввода луча лазера. Патент Российской Федерации на полезную модель №119935, H01J 17/64, опубл. 27.08.2012.

Известен герметичный корпус с входным окном из лейкосапфира, у которого герметичный корпус выполнен из алюмокерамики, а стенка герметичного корпуса через алюминиевую прокладку с двухсторонней отбортовкой соединена по всему периметру с входным окном из лейкосапфира диффузной сваркой. Патент Российской Федерации на полезную модель №128780, МПК H01J 17/00, 2013 г.

Недостатком перечисленных аналогов является низкая функциональная возможность входного окна, представляющего собой плоскопараллельную пластину. Во многих электрофизических установках и приборах требуется не только пропускать управляющее (воздействующее) лазерное излучение, но и расфокусировать его для уменьшения плотности мощности лазерного излучения, например, в установках лазерного отжига полупроводниковых пластин. С этой целью дополнительно используют рассеивающие линзы, что усложняет конструкцию установок или приборов и увеличивает потери на отражение излучения.

Известен герметичный корпус из алюмокерамики, в котором стенка корпуса через прокладку с двухсторонней отбортовкой соединена по всему периметру с входным окном из лейкосапфира, причем прокладка с двухсторонней отбортовкой выполнена из титана, а с обеих сторон прокладки расположена алюминиевая фольга. Патент Российской Федерации на полезную модель №138893, МПК H01J 17/00, 2014 г. Указанная полезная модель выбрана в качестве прототипа. Недостатком прототипа, как и аналогов, является низкая функциональная способность входного окна и, при необходимости расфокусировки излучения, высокие потери на отражение.

Техническим результатом полезной модели является расширение ее функциональных возможностей и уменьшение потерь на отражение лазерного излучения.

Технический результат достигается тем, что в герметичном корпусе, в котором стенка корпуса через прокладку, выполненную из титана, с двухсторонней отбортовкой, с обеих сторон которой расположена алюминиевая фольга, соединена по всему периметру с входным окном из лейкосапфира, выполненным в виде плоско-вогнутой рассеивающей линзы, плоская поверхность которой обращена к прокладке.

Сущность полезной модели поясняется чертежом, на котором схематично представлен разрез стенки герметичного корпуса, где: 1 - стенка корпуса, 2 - титановая прокладка с двухсторонней отбортовкой, 3 - алюминиевая фольга, 4 - входное окно из лейкосапфира, изготовленное в виде плоско-вогнутой линзы. Плоская поверхность входного окна 4 обращена к прокладке 2 и соприкасается с алюминиевой фольгой 3, вогнутая поверхность направлена в сторону падающего лазерного излучения. Такая конструкция герметичного корпуса может быть использована для ввода лазерного излучения в вакуумную камеру, в которой осуществляется импульсный лазерный отжиг, например, полупроводниковых пластин и необходимо увеличить диаметр лазерного пучка и снизить плотность мощности лазерного излучения.

Выполнение входного окна в виде плоско-вогнутой рассеивающей линзы позволяет вдвое уменьшить потери на отражение в тех случаях, когда требуется расфокусировка вводимого в установку или прибор лазерного излучения, так как количество отражающих поверхностей уменьшается в два раза.

Изготовление герметичного корпуса осуществляют следующим образом. Собранное изделие, в котором на стенке корпуса 1 установлена титановая прокладка 2 с двухсторонней отбортовкой, алюминиевая фольга 3 с обеих сторон прокладки 2 и входное окно 4 из лейкосапфира помещают в рабочую камеру установки диффузной сварки. Проводят откачку в рабочей камере до давления ≈10^-7 Торр. Затем проводят активацию алюминия через окисную пленку на поверхности алюминиевой фольги 3 путем выдержки изделия при температуре (520-660)°C в течение (60-90) минут без силового воздействия. Затем при осевом силовом воздействии более 350 Н изделие выдерживают при температуре (400-580°C в течение 30-60 минут. При физическом контакте происходят диффузные процессы стенки корпуса 1 из алюмокерамики и лейкосапфирового окна 4 с алюминиевой фольгой 3, как по поверхности алюминиевой фольги 3, так и по поверхности титановой прокладки 2. Затем соединяют свариваемые поверхности при силовом воздействии (40-200) Н при температуре (500-600) С в течение (40-70) минут.

Таким образом, предлагаемое техническое решение отличается от прототипа наличием новых признаков, взаимным расположением и формой выполнения, которые придают объекту новые свойства, проявляющиеся в техническом результате.