RU154442U1 - NANO MOVEMENT DEVICE - Google Patents

NANO MOVEMENT DEVICE Download PDF

Info

Publication number
RU154442U1
RU154442U1 RU2015114106/28U RU2015114106U RU154442U1 RU 154442 U1 RU154442 U1 RU 154442U1 RU 2015114106/28 U RU2015114106/28 U RU 2015114106/28U RU 2015114106 U RU2015114106 U RU 2015114106U RU 154442 U1 RU154442 U1 RU 154442U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
probe
magnet
nanodisplacement
substrate
tubular element
Prior art date
Application number
RU2015114106/28U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Евгений Николаевич Ивашов
Владимир Олегович Яговцев
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики" filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики"
Priority to RU2015114106/28U priority Critical patent/RU154442U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU154442U1 publication Critical patent/RU154442U1/en

Links

Images

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно, к устройствам наноперемещений. В устройстве наноперемещений, содержащем неподвижную платформу, установленный на ней пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, электрически связанный с подложкой, закрепленной на подложкодержателе, согласно предложенной полезной модели, устройство снабжено магнитом, выполненным в виде трубчатого элемента с осевой намагниченностью, магнит закреплен на наружной стороне цилиндрической поверхности зонда, зонд выполнен из немагнитного материала, парамагнетика или диамагнетика. Выполнение в заявляемом устройстве зонда из немагнитного материала, парамагнитного или диамагнитного материала, а также введение в устройство магнита, выполненного в виде трубчатого элемента с осевой намагниченностью и закрепленного на наружной стороне цилиндрической поверхности зонда обеспечивает возможность формирования в устройстве магнитоориентированных структур. The utility model relates to the field of mechanical engineering, and more specifically to nanodisplacement devices. According to the proposed utility model, the device is equipped with a magnet made in the form of a tubular element with axial magnetization, and the magnet is mounted on the outer nanodisplacement device, which contains a fixed platform, a piezodrive mounted on it, a probe mounted electrically connected to a substrate mounted on a substrate holder side of the cylindrical surface of the probe, the probe is made of a non-magnetic material, paramagnet or diamagnet. The implementation of the inventive device probe of a non-magnetic material, paramagnetic or diamagnetic material, as well as the introduction of a magnet into the device, made in the form of a tubular element with axial magnetization and mounted on the outer side of the cylindrical surface of the probe allows the formation of magnetically oriented structures in the device.

Description

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно, к устройствам наноперемещений.The utility model relates to the field of mechanical engineering, and more specifically to nanodisplacement devices.

Известно устройство для получения наноструктур на подложке, содержащее пьезопривод, жестко связанный с зондом конусообразной формы и неподвижной направляющей, подложку, установленную на координатном столе, на зонд жестко установлена фокусирующая втулка, имеющая потенциал того же знака что и зонд, втулка электрически изолирована от зонда и подложки изоляторами, причем внутренний диаметр втулки составляет 1,5-2 диаметров зонда, наружный - 3-5 диаметров зонда, а выступ острия зонда относительно торца втулки равен 0,5-1 мкм. [Патент РФ №29926, МПК B81C 1/00, опубл. 10.06.2003 (аналог)].A device for producing nanostructures on a substrate is known, comprising a piezodrive rigidly connected to a cone-shaped probe and a fixed guide, a substrate mounted on a coordinate table, a focusing sleeve rigidly mounted on the probe having the same potential as the probe, the sleeve is electrically isolated from the probe and substrates with insulators, the inner diameter of the sleeve being 1.5-2 probe diameters, the outer 3-5 probe diameters, and the protrusion of the tip of the probe relative to the end face of the sleeve is 0.5-1 microns. [RF patent №29926, IPC B81C 1/00, publ. 06/10/2003 (analogue)].

Недостатком аналога является невозможность формирования магнитоориентированных структур.A disadvantage of the analogue is the impossibility of the formation of magnetically oriented structures.

Известно нанотехнологическое устройство перемещения, содержащее неподвижное основание, установленный на нем трехкоординатный пьезопривод, связанный с зондом, подложка, установленная на подложкодержателе, связанным с неподвижным основанием, трехкоординатный пьезопривод связан с зондом посредством кантиливера, зонд выполнен составным и включает цилиндрическую часть и острие, причем цилиндрическая часть зонда выполнена из магнитомягкого материала, а острие зонда выполнено из электропроводящего материала, устройство дополнительно снабжено электромагнитом, установленным соосно с зондом на противоположной от него стороне подложки на вспомогательном трехкоординатном пьезоприводе, установленном на дополнительном основании, жестко связанный с неподвижным основанием. [Патент РФ №86367, МПК B82B 3/00, опубл. 27.08.2009 (прототип)].Known nanotechnological movement device containing a fixed base, mounted on it a three-axis piezodrive connected to the probe, a substrate mounted on a substrate holder connected to a fixed base, a three-axis piezodrive connected to the probe by means of a cantilever, the probe is made integral and includes a cylindrical part and a tip, and a cylindrical part of the probe is made of soft magnetic material, and the tip of the probe is made of electrically conductive material, the device additionally with abzheno electromagnet mounted coaxially with the probe on the opposite side of the substrate from it on the auxiliary three-coordinate piezo established based on the additional, rigidly associated with the fixed base. [RF patent No. 866367, IPC B82B 3/00, publ. 08/27/2009 (prototype)].

Недостатком прототипа также является невозможность формирования магнитоориентированных структур.The disadvantage of the prototype is the inability to form magnetically oriented structures.

В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность формирования магнитоориентированных структур.The utility model is based on a technical task, which is to provide the possibility of the formation of magnetically oriented structures.

Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве наноперемещений, содержащем неподвижную платформу, установленный на ней пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, электрически связанный с подложкой, закрепленной на подложкодержателе, согласно предложенной полезной модели, устройство снабжено магнитом, выполненным в виде трубчатого элемента с осевой намагниченностью, магнит закреплен на наружной стороне цилиндрической поверхности зонда, зонд выполнен из немагнитного материала, парамагнетика или диамагнетика.The stated technical problem is solved by the fact that in the nanodisplacement device containing a fixed platform, a piezodrive mounted on it, at the end of which there is a probe electrically connected to the substrate mounted on the substrate holder, according to the proposed utility model, the device is equipped with a magnet made in the form of a tubular element with axial magnetization, the magnet is mounted on the outer side of the cylindrical surface of the probe, the probe is made of non-magnetic material, paramagnet or diamagnet.

Выполнение в заявляемом устройстве зонда из немагнитного материала, парамагнитного или диамагнитного материала, а также введение в устройство магнита, выполненного в виде трубчатого элемента с осевой намагниченностью и закрепленного на наружной стороне цилиндрической поверхности зонда обеспечивает возможность формирования в устройстве магнитоориентированных структур.The implementation of the inventive device probe of a non-magnetic material, paramagnetic or diamagnetic material, as well as the introduction of a magnet into the device, made in the form of a tubular element with axial magnetization and mounted on the outer side of the cylindrical surface of the probe allows the formation of magnetically oriented structures in the device.

Сущность полезной модели поясняется фиг. 1., где показано устройство наноперемещений.The essence of the utility model is illustrated in FIG. 1., which shows the nanoscale device.

Устройство наноперемещений (фиг. 1) содержит неподвижную платформу 1, установленный на ней пьезопривод 2, на торце которого закреплен зонд 3, электрически связанный с подложкой 4, закрепленной на подложкодержателе 5. Зонд 3 выполнен из немагнитного материала, пара- или диамагнетика, а на наружной стороне цилиндрической поверхности зонда закреплен магнит 6, выполненный в виде трубчатого элемента с осевой намагниченностью.The nanodisplacement device (Fig. 1) contains a fixed platform 1, a piezodrive 2 mounted on it, at the end of which a probe 3 is mounted, electrically connected to the substrate 4, mounted on the substrate holder 5. The probe 3 is made of a non-magnetic material, a para- or diamagnet, and the outer side of the cylindrical surface of the probe is fixed magnet 6, made in the form of a tubular element with axial magnetization.

Устройство наноперемещений работает следующим образом.The nanoscale device operates as follows.

Зонд 3 перемещается относительно неподвижной платформы 1 при помощи пьезопривода 2, взаимодействуя с подложкой 4, закрепленной на подложкодержателе 5, посредством магнита 6, выполненного в виде трубчатого элемента с осевой намагниченностью.The probe 3 is moved relative to the fixed platform 1 using a piezo actuator 2, interacting with the substrate 4, mounted on the substrate holder 5, by means of a magnet 6, made in the form of a tubular element with axial magnetization.

Применение предлагаемого устройства наноперемещений обеспечивает возможность формирования магнитоориентированных структур.The use of the proposed nanodisplacement device provides the possibility of the formation of magnetically oriented structures.

Claims (2)

1. Устройство наноперемещений, содержащее неподвижную платформу, установленный на ней пьезопривод, на торце которого закреплён зонд, электрически связанный с подложкой, закреплённой на подложкодержателе, отличающееся тем, что устройство снабжено магнитом, выполненным в виде трубчатого элемента с осевой намагниченностью, магнит закреплен на наружной стороне цилиндрической поверхности зонда, зонд выполнен из немагнитного материала.1. A nanodisplacement device containing a fixed platform, a piezodrive mounted on it, at the end of which a probe is mounted, electrically connected to a substrate mounted on a substrate holder, characterized in that the device is equipped with a magnet made in the form of a tubular element with axial magnetization, the magnet is mounted on the outer side of the cylindrical surface of the probe, the probe is made of non-magnetic material. 2. Устройство наноперемещений по п. 1, отличающееся тем, что зонд выполнен из парамагнитного материала или диамагнитного материала.
Figure 00000001
2. The nanodisplacement device according to claim 1, characterized in that the probe is made of paramagnetic material or diamagnetic material.
Figure 00000001
RU2015114106/28U 2015-04-16 2015-04-16 NANO MOVEMENT DEVICE RU154442U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015114106/28U RU154442U1 (en) 2015-04-16 2015-04-16 NANO MOVEMENT DEVICE

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015114106/28U RU154442U1 (en) 2015-04-16 2015-04-16 NANO MOVEMENT DEVICE

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU154442U1 true RU154442U1 (en) 2015-08-27

Family

ID=54015822

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015114106/28U RU154442U1 (en) 2015-04-16 2015-04-16 NANO MOVEMENT DEVICE

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU154442U1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8316862B2 (en) Devices, systems and methods for magnetic-assisted therapeutic agent delivery
RU2015110100A (en) DEVICE FOR RECOGNITION OF THE CONNECTING COUPLING INSIDE THE DESIGN OF THE OIL WELL AND THE RELATED METHOD
EP1659399A3 (en) Methods and apparatus for testing a component
EP1830367A3 (en) Carbon nanotube probe
RU154442U1 (en) NANO MOVEMENT DEVICE
CN201255204Y (en) Magnetic spring
CN104142410A (en) Scanning head of scanning tunneling microscope
JP2008523939A (en) Device in tonometer
RU127478U1 (en) Cantilever device
CN101968935B (en) Magnetic levitation demonstrating device
KR20160031810A (en) Plug lure
RU2658108C1 (en) Micromanipulator based on bi-magnetic microwires with core covered with asymmetric external shell and methods of its use
RU65691U1 (en) MULTI-PROBE DEVICE FOR THE FORMATION OF MAGNET-ORIENTED NANOSTRUCTURES
CN209281713U (en) A kind of magnetic pole arbiter
RU37891U1 (en) MOVEMENT DEVICE FOR NANOTECHNOLOGY
RU46394U1 (en) MULTI-PROBE NANOTECHNOLOGICAL MOVEMENT DEVICE
RU2359364C1 (en) Device for micromotions of object
CN204414930U (en) A kind of novel bow compass
RU47593U1 (en) MULTI-PROBE DEVICE FOR PERFORMING TECHNOLOGICAL OPERATIONS OF FORMATION OF NANOSTRUCTURES
CN109755007A (en) Four coil system of space and mini octopus robot
CN215360650U (en) Writing and drawing pen mould
CN219148504U (en) Acupuncture locator convenient to use
CN207037999U (en) Each position magnetic strength verifying attachment of magnet
RU130163U1 (en) DEVICE FOR PERFORMANCE OF NANOTECHNOLOGICAL OPERATIONS
RU104773U1 (en) DEVICE FOR FORMING QUANTUM PITS

Legal Events

Date Code Title Description
QA1K Utility model open for licensing

Effective date: 20160202

MM1K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20170417