RU1466264C - Electric-arc evaporator of metals - Google Patents
Electric-arc evaporator of metalsInfo
- Publication number
- RU1466264C RU1466264C SU874201369A SU4201369A RU1466264C RU 1466264 C RU1466264 C RU 1466264C SU 874201369 A SU874201369 A SU 874201369A SU 4201369 A SU4201369 A SU 4201369A RU 1466264 C RU1466264 C RU 1466264C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- anode
- cathode
- arc
- coating
- extinction
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к нанесению покрытий в вакууме и может найти применение в машиностроении. Целью изобретени вл етс повышение качества покрытий за счет увеличени равномерности толщины. Устройство дл нанесени покрытий состоит из расходуемого катода 1, анода, выполненного из двух электроизолированных секций 2, симметрично расположенных по обе стороны катода, двух экранов 3 и поджигающего электрода 6. Положительна клемма источника 4 посто нного тока подключена через токопереключатель 5 к каждой секции анода. Электродуговой испаритель работает следующим образом. При давлении в камере пор дка Па включаютс источники литани 4 и с помощью переключател 5 токоподводов обеспечиваетс управление перемещением катодных п тен дугового разр да от одной секции анода к другой. Дл предотвращени погасани дуги переключатель работает следующим образом: на первом этапе подключают обе секции анода к своему источнику , на втором - одну из них, на третьем - снова обе, на четвертом - одну vi3 них и т.д. В случае погасани одной из дуг срабатывает поджигающий электрод 6 и автоматически инициируетс дуговой разр д. При осаждении металла на движущуюс ленту 8 материал катода осаждаетс на ней, образу равной толщины покрытие. 2 ил.The invention relates to vacuum coating and may find application in mechanical engineering. The aim of the invention is to improve the quality of coatings by increasing the uniformity of thickness. The coating device consists of a sacrificial cathode 1, an anode made of two electrically insulated sections 2, symmetrically located on both sides of the cathode, two shields 3 and an ignition electrode 6. The positive terminal of the DC source 4 is connected through a current switch 5 to each section of the anode. Arc evaporator operates as follows. At a pressure in the chamber of the order of Pa, lithium sources 4 are turned on, and using the current supply switch 5, the movement of the cathode spots of the arc discharge from one section of the anode to another is controlled. To prevent the extinction of the arc, the switch operates as follows: at the first stage, connect both sections of the anode to its source, at the second - one of them, at the third - again both, at the fourth - one vi3 of them, etc. In the event of the extinction of one of the arcs, the ignition electrode 6 is triggered and an arc discharge is automatically initiated. When metal is deposited on the moving belt 8, the cathode material is deposited on it, forming a coating of equal thickness. 2 ill.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874201369A RU1466264C (en) | 1987-01-07 | 1987-01-07 | Electric-arc evaporator of metals |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874201369A RU1466264C (en) | 1987-01-07 | 1987-01-07 | Electric-arc evaporator of metals |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1466264C true RU1466264C (en) | 1992-12-23 |
Family
ID=21288187
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874201369A RU1466264C (en) | 1987-01-07 | 1987-01-07 | Electric-arc evaporator of metals |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1466264C (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003074754A3 (en) * | 2002-02-28 | 2004-03-25 | Ionedge Corp | Coating method and apparatus |
-
1987
- 1987-01-07 RU SU874201369A patent/RU1466264C/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР Мг 461163. кл. С 23 С 13/06, 1972. Авторское свидетельство СССР isfe 1096963, кл. С 23 С 15/00, 1982. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003074754A3 (en) * | 2002-02-28 | 2004-03-25 | Ionedge Corp | Coating method and apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5399252A (en) | Apparatus for coating a substrate by magnetron sputtering | |
US5037522A (en) | Electric arc vapor deposition device | |
ES556678A0 (en) | A STEAM DEPOSITION PROCEDURE BY AN ELECTRIC ARC | |
TW372323B (en) | Cold cathode for discharge lamps, a discharge lamp having this cold cathode, and a method for operating this discharge lamp | |
ATE129378T1 (en) | PLASMA SPRAYER FOR SPRAYING POWDER OR GASEOUS MATERIAL. | |
WO2003074754A8 (en) | Coating method and apparatus | |
ES2072409T3 (en) | PLASMA ELECTRODE HOLDERS FOR SHORT-CIRCUIT PRIMING. | |
RU1466264C (en) | Electric-arc evaporator of metals | |
GB1436789A (en) | Method of surface hardening a metal workpiece | |
CN108286038A (en) | Cold cathode arc plasma source and non-contact striking method | |
FR2410350A1 (en) | HIGH VOLTAGE VACUUM CONTACTORS | |
RU2816469C1 (en) | Extended electric arc evaporator of current-conducting materials | |
FR2403645A2 (en) | Furnace for thermochemical metal treatment - ensures ion bombardment by anodes and cathodes without arc discharge | |
RU2288969C1 (en) | Vacuum-arc source of plasma for treatment of the tubular products of the complex geometry | |
SU1038381A1 (en) | Electric arc vaporizer | |
JPS5521515A (en) | Surface treatment | |
RU2227173C2 (en) | Vacuum arc plasma source for treatment of tubular articles | |
SU901358A1 (en) | Electric arc evaporizer for metals and alloys | |
RU2053311C1 (en) | Vacuum arc plasma source | |
JPS5711447A (en) | Hollow cathode discharge device | |
RU2051987C1 (en) | Installation for applying coatings in plasma of gas discharge | |
SU1654348A1 (en) | Method of heat treatment of steel products | |
RU1096963C (en) | Electric-arc evaporator of metals | |
FR2385290A1 (en) | Furnace for thermochemical metal treatment - ensures ion bombardment by anodes and cathodes without arc discharge | |
JPH04354864A (en) | Arc evaporating source device of arc ion plating device |