RU1466264C

RU1466264C - Electric-arc evaporator of metals

Info

Publication number: RU1466264C
Application number: SU874201369A
Authority: RU
Inventors: М.Х. Эстерлис; П.Ф. Кирсон; В.Е. Булат; Г.К. Лемищенко; А.В. Абдулов; Е.У. Гершович
Original assignee: Институт электроники им.У.А.Арифова; Специализированное конструкторско-технологическое бюро Института электроники АН УзССР
Priority date: 1987-01-07
Filing date: 1987-01-07
Publication date: 1992-12-23

Abstract

Изобретение относитс к нанесению покрытий в вакууме и может найти применение в машиностроении. Целью изобретени вл етс повышение качества покрытий за счет увеличени равномерности толщины. Устройство дл нанесени покрытий состоит из расходуемого катода 1, анода, выполненного из двух электроизолированных секций 2, симметрично расположенных по обе стороны катода, двух экранов 3 и поджигающего электрода 6. Положительна клемма источника 4 посто нного тока подключена через токопереключатель 5 к каждой секции анода. Электродуговой испаритель работает следующим образом. При давлении в камере пор дка Па включаютс источники литани 4 и с помощью переключател 5 токоподводов обеспечиваетс управление перемещением катодных п тен дугового разр да от одной секции анода к другой. Дл предотвращени погасани дуги переключатель работает следующим образом: на первом этапе подключают обе секции анода к своему источнику , на втором - одну из них, на третьем - снова обе, на четвертом - одну vi3 них и т.д. В случае погасани одной из дуг срабатывает поджигающий электрод 6 и автоматически инициируетс дуговой разр д. При осаждении металла на движущуюс ленту 8 материал катода осаждаетс на ней, образу равной толщины покрытие. 2 ил.The invention relates to vacuum coating and may find application in mechanical engineering. The aim of the invention is to improve the quality of coatings by increasing the uniformity of thickness. The coating device consists of a sacrificial cathode 1, an anode made of two electrically insulated sections 2, symmetrically located on both sides of the cathode, two shields 3 and an ignition electrode 6. The positive terminal of the DC source 4 is connected through a current switch 5 to each section of the anode. Arc evaporator operates as follows. At a pressure in the chamber of the order of Pa, lithium sources 4 are turned on, and using the current supply switch 5, the movement of the cathode spots of the arc discharge from one section of the anode to another is controlled. To prevent the extinction of the arc, the switch operates as follows: at the first stage, connect both sections of the anode to its source, at the second - one of them, at the third - again both, at the fourth - one vi3 of them, etc. In the event of the extinction of one of the arcs, the ignition electrode 6 is triggered and an arc discharge is automatically initiated. When metal is deposited on the moving belt 8, the cathode material is deposited on it, forming a coating of equal thickness. 2 ill.