RU135114U1 - Интерферометр - Google Patents

Интерферометр Download PDF

Info

Publication number
RU135114U1
RU135114U1 RU2013119282/28U RU2013119282U RU135114U1 RU 135114 U1 RU135114 U1 RU 135114U1 RU 2013119282/28 U RU2013119282/28 U RU 2013119282/28U RU 2013119282 U RU2013119282 U RU 2013119282U RU 135114 U1 RU135114 U1 RU 135114U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vertical axis
interferometer
beams
coherent radiation
mirror
Prior art date
Application number
RU2013119282/28U
Other languages
English (en)
Inventor
Алексей Станиславович Абрамов
Дмитрий Александрович Андроников
Александр Васильевич Бобыль
Павел Михайлович Караваев
Андрей Иванович Косарев
Евгения Валерьевна Мальчукова
Евгений Иванович Теруков
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Priority to RU2013119282/28U priority Critical patent/RU135114U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU135114U1 publication Critical patent/RU135114U1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

Интерферометр, включающий источник когерентного излучения, светоделитель для разделения когерентного излучения на два пучка, первое неподвижное плоское зеркало, второе и третье плоские зеркала, установленные с возможностью поворота вокруг вертикальной оси, и вогнутое цилиндрическое зеркало в виде поверхности параллельного переноса, образующая которой параллельна вертикальной оси, при этом профиль поверхности вогнутого цилиндрического зеркала, лежащий в плоскости, перпендикулярной вертикальной оси, образован контурами двух эллипсов, расположенных под углом друг к другу и имеющих один общий первый фокус, в двух вторых фокусах которых установлены соответственно второе и третье плоские зеркала.

Description

Настоящая полезная модель относится к измерительной технике и может быть использована в системах оптической динамической памяти на фоторефрактивных кристаллах, в установках, предназначенных для косвенных измерений диффузионной длины носителей заряда в фотопроводниках методами нестационарной фотоэлектродвижущей силы (нестационарной фотоЭДС), динамической интерференционной решетки, стационарной решетки фотоиндуцированных носителей заряда или методом двухволнового взаимодействия.
Известны применяемые в указанных выше областях интерферометрические устройства, представляющие собой модификации интерферометра Маха-Цандера.
Так, известен интерферометр (см. патент RU 2255306, МПК G01В 9/02, опубликована 27.06.2005), состоящий из лазера, светоделителя, делящего пучок света от лазера на два пучка, двух зеркал, направляющих каждый из двух пучков света на фотоприемник, чувствительный к пространственному распределению интерференционного поля, расположенный на пути встречных световых пучков между зеркалами.
Известный интерферометр предназначен для измерения линейных перемещений, электронной записи и считывания голографических изображений, других физических величин, связанных со сдвигом интерференционных полос, однако он не позволяет перестраивать частоту интерференционной картины.
Известен интерферометр (см. патент US 5771097, МПК G01В 9/02, опубликован 23.06.1998), включающий оптическую скамью, на которой установлена оптическая система, содержащая источник монохроматического излучения, первый светоделитель, делящий свет на два пучка, направляемых зеркалами на второй светоделитель, интерференционная картина с которого поступает на устройство детектирования.
Известный интерферометр не обладает свойством перестройки частоты интерференционной картины.
Известен интерферометр (см. патент CN 202101764, МПК G01J 9/02, опубликован 04.01.2012), включающий лазер, первый светоделитель, делящий лазерное излучение на два пучка, первое и второе зеркала для направления соответственного первого и второго пучков лазерного излучения на второй делитель и далее на детектор, регистрирующий комплексные амплитуды для оценки качества лазерного излучения.
В известном интерферометре не предусмотрена возможность перестройки частоты интерференционной картины.
Известен интерферометр представляющий собой модифицированный
интерферометр типа Маха-Цандера, совпадающий с настоящим техническим решением по наибольшему числу существенных признаков и принятый за прототип (см. A.I. Grachev, А.А. Kamshilin, Р.М. Karavaev, V.V. Prokofiev, "Advances in Photorefractive Materials, Effects and Devices", Vol.62, 2001, с.256-261). Интерферометр-прототип содержит источник монохроматического излучения, светоделитель для разделения монохроматического излучения на два пучка, первое, второе и третье плоские зеркала, установленные с возможностью поворота вокруг вертикальной оси, направляющие монохроматическое излучение на исследуемый образец. Образец устанавливают таким образом, чтобы нормаль к поверхности образца была направлена вдоль биссектрисы угла (оси системы) образованного сходящимися на образце лучами монохроматического излучения. В результате на образце образуется линейчатая интерференционная картина с пространственной частотой, определяющейся углом между падающими на образец лучами монохроматического излучения в соответствии с формулой:
Figure 00000002
;
где Λ-1 - пространственная частота, линии/мм;
θ - угол между лучами света, сходящимися на образце, градусы;
λ - длина волны света, мм.
Регулирование пространственной частоты обеспечивается изменением угла θ между лучами, что достигается поворотом направляющих свет зеркал на поворачиваемых подвижках на один и тот же угол относительно оси системы. При этом, для того чтобы интерференционная картина создавалась на поверхности (в объеме) образца, при каждой, заданной углом поворота зеркал, пространственной частоте, необходимо перемещать образец вдоль оси системы.
Интерферометр-прототип позволяет проводить косвенные измерения диффузионной длины носителей заряда в фотопроводниках методом нестационарной фотоэлектродвижущей силы (нестационарной фотоЭДС) или методом двухволнового взаимодействия за счет перестройки пространственной частоты интерференционной картины на поверхности (в объеме) образца. Недостатком интерферометра-прототипа является низкая точность определения угла между лучами монохроматического излучения и, как следствие, низкая точность определения пространственной частоты интерференционной картины. Кроме того, измерения при помощи интерферометра-прототипа трудоемки, особенно в области малых пространственных частот.
Задачей полезной модели являлось разработка такого интерферометра, который бы обеспечивал повышение точности и снижение трудоемкости измерений, особенно в области малых пространственных частот.
Поставленная задача решается тем, что интерферометр содержит источник когерентного излучения, светоделитель для разделения когерентного излучения на два пучка, первое неподвижное плоское зеркало, второе и третье плоские зеркала, установленные с возможностью поворота вокруг вертикальной оси, вогнутое цилиндрическое зеркало в виде поверхности параллельного переноса, образующая которой параллельна вертикальной оси. Профиль поверхности вогнутого цилиндрического зеркала, лежащий в плоскости, перпендикулярной вертикальной оси, образован контурами двух эллипсов, расположенных под углом друг к другу и имеющих один общий первый фокус. В двух вторых фокусах эллипсов установлены соответственно второе и третье плоские зеркала.
Новым в настоящем интерферометре является вогнутое цилиндрическое зеркало в виде поверхности параллельного переноса, образующая которой параллельна вертикальной оси, профиль поверхности вогнутого цилиндрического зеркала образован контурами двух эллипсов, расположенных под углом друг к другу и имеющих один общий первый фокус, в двух вторых фокусах которых установлены соответственно второе и третье плоские зеркала.
Настоящая полезная модель поясняется чертежом, где:
на фиг.1 показана схема интерферометра-прототипа;
на фиг.2 приведена схема настоящего интерферометра;
на фиг.3 показано построение поверхности вогнутого цилиндрического зеркала.
Изображенный на фиг.1 интерферометр-прототип содержит источник 1 когерентного излучения (лазер), светоделитель 2, первое, второе и третье плоское зеркала 3, установленные с возможностью поворота вокруг вертикальной оси (перпендикулярной плоскости чертежа), например, установленные на поворачиваемые подвижки. Когерентное линейно поляризованное излучение от лазера 1 направляют на светоделитель 2, делящий исходный пучок когерентного излучения на два пучка 4. Затем каждый полученный пучок 4 когерентного излучения направляется на плоские зеркала 3, направляющие пучки 4 когерентного излучения на исследуемый образец 5, на поверхности (в объеме) которого создается интерференционная картина. Образец 5 устанавливают таким образом, чтобы нормаль к поверхности образца 5 была направлена вдоль биссектрисы (оси 6 системы) угла θ, образованного сходящимися на образце 5 пучками 4 когерентного излучения. Для того чтобы интерференционная картина создавалась на поверхности (в объеме) образца 5, при каждой, заданной углом поворота зеркал 3, пространственной частоте, необходимо перемещать образец 5 вдоль оси 6 системы.
Настоящий интерферометр (см. фиг.2) содержит источник 1 когерентного излучения, светоделитель 2 для разделения когерентного излучения на два пучка 4 когерентного излучения, первое неподвижное плоское зеркало 7, второе и третье плоские зеркала 3, установленные с возможностью поворота вокруг вертикальной оси, и вогнутое цилиндрическое зеркало 8 в виде поверхности параллельного переноса, образующая которой параллельна вертикальной оси. Профиль поверхности вогнутого цилиндрического зеркала 8 (фиг.3), лежащий в плоскости, перпендикулярной вертикальной оси, образован контурами (внешними, относительно оси 6 системы, участками 9, лежащими слева от прямой 10, проходящей перпендикулярно оси 6 системы через точку оси, где расположен общий фокус (F2а, 2b) двух эллипсов 11, расположенных под углом друг к другу, например под углами 45° и -45°, симметрично относительно оси 6 системы, так что имеют один общий первый фокус Р2а,b. В точке оси 6 системы, где находится общий первый фокус F2а,b располагают образец 5, в правых вторых фокусах (F и F1b) эллипсов И располагают поворачивающиеся зеркала 3 (см. фиг.2).
Как известно, луч света, вышедший из одного фокуса эллипса, при отражении от эллипса попадает в другой фокус (Борн М., Вольф Э., "Основы оптики", М, Наука, 1973). Таким образом, в настоящем интерферометре, в котором применено описанное выше вогнутое цилиндрическое зеркало 8, любые пучки 4 когерентного излучения, вышедшие из правых вторых фокусов (F1a и F1b) после отражения от вогнутого цилиндрического зеркала 8 попадают на образец 5, установленный в точке, где левые фокусы совпадают, общий первый фокус F. Такая конструкция не требует перемещения образца 5 при изменении угла θ между падающими на образец 5 пучками 4 когерентного излучения, что повышает точность и снижает трудоемкость измерений.
Настоящий интерферометр используют следующим образом. Для создания интерференционной картины с определенной пространственной частотой пучки 4 когерентного излучения из светоделителя попадают на первое плоское зеркало 7, направляющее свет на третье плоское зеркало 3 и на второе плоское зеркало 3, установленные в точках правых фокусов эллипсов (F1a и F1b), и затем на вогнутое цилиндрическое зеркало 8, таким образом, чтобы точки падения пучков 4 когерентного излучения на вогнутое цилиндрическое зеркало 8 были симметричны относительно оси 6 системы. При этом на образце 5 будет создаваться интерференционная картина, представляющая собой синусоидальное распределение интенсивности когерентного излучения пространственной частотой, определяемой углом θ между падающими на образец 5 пучками 4 когерентного излучения. Перестройку пространственной частоты осуществляют за счет поворота плоских зеркал 3 на поворачиваемых подвижках, установленных в точках правых фокусов (F и F1b) эллипсов 11. Возможна непрерывная и дискретная регулировка пространственной частоты. При регулировке плоские зеркала 3 на поворачиваемых подвижках, установленные в точках правых фокусов эллипсов (F1a и F1b), синхронно поворачивают вручную или при помощи, например, шаговых электромоторов, таким образом, чтобы точки падения пучков когерентного излучения на вогнутое цилиндрическое зеркало 8 были симметричны относительно оси системы.
Таким образом, в настоящем интерферометре за счет использования вогнутого цилиндрического зеркала достигается повышение точности и снижение трудоемкости измерений, особенно в области малых пространственных частот.

Claims (1)

  1. Интерферометр, включающий источник когерентного излучения, светоделитель для разделения когерентного излучения на два пучка, первое неподвижное плоское зеркало, второе и третье плоские зеркала, установленные с возможностью поворота вокруг вертикальной оси, и вогнутое цилиндрическое зеркало в виде поверхности параллельного переноса, образующая которой параллельна вертикальной оси, при этом профиль поверхности вогнутого цилиндрического зеркала, лежащий в плоскости, перпендикулярной вертикальной оси, образован контурами двух эллипсов, расположенных под углом друг к другу и имеющих один общий первый фокус, в двух вторых фокусах которых установлены соответственно второе и третье плоские зеркала.
    Figure 00000001
RU2013119282/28U 2013-04-26 2013-04-26 Интерферометр RU135114U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013119282/28U RU135114U1 (ru) 2013-04-26 2013-04-26 Интерферометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013119282/28U RU135114U1 (ru) 2013-04-26 2013-04-26 Интерферометр

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU135114U1 true RU135114U1 (ru) 2013-11-27

Family

ID=49625549

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013119282/28U RU135114U1 (ru) 2013-04-26 2013-04-26 Интерферометр

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU135114U1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2722631C1 (ru) * 2019-10-02 2020-06-02 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха" Способ измерения профиля поверхности оптических деталей с помощью лазерной фазосдвигающей интерферометрии

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2722631C1 (ru) * 2019-10-02 2020-06-02 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха" Способ измерения профиля поверхности оптических деталей с помощью лазерной фазосдвигающей интерферометрии

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104034279B (zh) 一种利用小孔衍射波面拼接测量面形的检测装置及方法
AU2014202103B2 (en) Apparatus For Detecting A 3D Structure Of An Object
CN102589416B (zh) 用于非球面测量的波长扫描干涉仪及方法
CN104296677B (zh) 基于低频差声光移频器移相的共光路外差干涉仪
CN110057543B (zh) 基于同轴干涉的波面测量装置
CN109374259A (zh) 全息光栅周期高精度在线测量与调节装置
CN102901463B (zh) 轴锥镜面形的测量装置和测量方法
CN104296676A (zh) 基于低频差声光移频器移相的外差点衍射干涉仪
CN110736721B (zh) 基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测装置及检测方法
CN102788683A (zh) 一种基于牛顿法和泰伯效应的微透镜阵列焦距的检测方法
CN203687880U (zh) 一种光学位移测量系统
CN101614523A (zh) 一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪
CN102359818A (zh) 红外光谱干涉仪和采用该干涉仪的红外光谱仪
CN203848938U (zh) 一种真空紫外激光线宽的测量装置
CN103791844A (zh) 光学位移测量系统
CN101819323B (zh) 一种调整洛艾镜装置中洛艾镜与光栅基底垂直度的方法
CN105674875B (zh) 一种全视场低频外差点衍射干涉仪
CN103278105B (zh) 轴锥镜面形和锥角的检测方法
RU135114U1 (ru) Интерферометр
CN109489837A (zh) 一种基于光学干涉仪的多波长计
CN103196387B (zh) 柱面面型检测系统及方法
CN108088368A (zh) 基于分光瞳的反射式离轴数字全息装置与方法
CN106597467A (zh) 一种基于hom干涉原理的测距仪
CN106908004B (zh) 一种基于矢量光场的距离探测系统及其应用
CN202229843U (zh) 红外光谱干涉仪和采用该干涉仪的红外光谱仪

Legal Events

Date Code Title Description
MM1K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20140427

NF1K Reinstatement of utility model

Effective date: 20160327