RU132256U1 - DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES - Google Patents
DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES Download PDFInfo
- Publication number
- RU132256U1 RU132256U1 RU2013115028/07U RU2013115028U RU132256U1 RU 132256 U1 RU132256 U1 RU 132256U1 RU 2013115028/07 U RU2013115028/07 U RU 2013115028/07U RU 2013115028 U RU2013115028 U RU 2013115028U RU 132256 U1 RU132256 U1 RU 132256U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gas analyzer
- chamber
- composition
- gases
- working chamber
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Устройство для определения состава газов в рабочей камере при проведении ионно-плазменных процессов, включающее рабочую камеру и газоанализатор, представляющий собой зонд, соединенный с блоком контроля и управления, отличающееся тем, что зонд помещен в вакуумную камеру газоанализатора, которая в свою очередь соединена с рабочей вакуумной камерой с помощью входного и выходного патрубков через натекаль, при этом вакуумная камера газоанализатора снабжена автономной системой откачки. A device for determining the composition of gases in the working chamber during ion-plasma processes, including a working chamber and a gas analyzer, which is a probe connected to a control and control unit, characterized in that the probe is placed in a vacuum chamber of the gas analyzer, which in turn is connected to the working a vacuum chamber with the help of the inlet and outlet nozzles through natekal, while the vacuum chamber of the gas analyzer is equipped with an autonomous pumping system.
Description
Полезная модель относится к вспомогательным устройствам к оборудованию для нанесения материалов ионно-плазменными методами в вакууме, и предназначено для контроля состава остаточных газов в вакуумной камере при проведении ионно-плазменных процессов.The utility model relates to auxiliary devices for equipment for applying materials by ion-plasma methods in vacuum, and is intended to control the composition of residual gases in a vacuum chamber during ion-plasma processes.
Для контроля состава остаточных газов в настоящее время применяются, например, масс-спектрометры типа RGA (http://www.actan.ru/vac_rga.html.). В состав масс-спектрометра входит измерительный зонд, устанавливаемый в вакуумную камеру и электронный блок контроля и управления. Данные газоанализаторы хорошо работают при давлениях в камере в диапазоне от 1·10-3 Па до 1·10-12 Па. Однако технологический процесс при распылении материалов ионно-плазменными методами в вакууме с применением смеси газов, проводится при более высоких давлениях в рабочей камере в пределах 1÷4·10-12 Па. При этом необходимо контролировать состав остаточных газов в вакуумной камере. При таких высоких давлениях в рабочей камере газоанализатор RGA перестает работать, что делает невозможным контроль состава газов и их парциальных давлений при проведении технологического процесса. Кроме того, измерительный зонд газоанализатора длиной 150-200 мм (в кварцевом защитном стакане) устанавливаемый в вакуумной камере может препятствовать размещению в камере другого оборудования, необходимого для проведения технологического процесса нанесения материалов. Например, в рабочей камере на вращающейся платформе может быть установлена печь для подогрева подложек, а рабочий зонд газоанализатора ограничивает возможность ее перемещения в камере.For monitoring the composition of the residual gases, for example, RGA-type mass spectrometers (http://www.actan.ru/vac_rga.html.) Are currently used. The mass spectrometer includes a measuring probe installed in a vacuum chamber and an electronic control and control unit. These gas analyzers work well at pressures in the chamber in the range from 1 · 10 -3 Pa to 1 · 10 -12 Pa. However, the technological process during the spraying of materials by ion-plasma methods in vacuum using a mixture of gases is carried out at higher pressures in the working chamber in the
Технический результат полезной модели, заключается в расширении диапазона контроля состава газов газоанализатора (типа RGA).The technical result of the utility model is to expand the control range of the gas composition of the gas analyzer (type RGA).
Технический результат достигается тем, что в известном устройстве, включающем рабочую камеру и газоанализатор, представляющий собой зонд, соединенный с блоком контроля и управления зонд помещен в вакуумную камеру газоанализатора, которая в свою очередь соединена с рабочей вакуумной камерой с помощью входного и выходного патрубков через натекаль, при этом вакуумная камера газоанализатора снабжена автономной системой откачки. Натекатель позволяет осуществлять парциальную подачу газа с высоким давлением (1÷10·10-2 Па) из рабочей камеры в камеру газоанализатора, предназначенного для измерения состава газов при низких давлениях (1·10-3÷1·10-12 Па). Для поддержания в камере газоанализатора номинального давления, необходимого для его функционирования, она снабжена автономной системой откачки.The technical result is achieved by the fact that in the known device comprising a working chamber and a gas analyzer, which is a probe connected to a control and control unit, the probe is placed in a vacuum chamber of a gas analyzer, which in turn is connected to a working vacuum chamber by means of inlet and outlet pipes through while the vacuum chamber of the gas analyzer is equipped with an autonomous pumping system. The leakage allows partial high-pressure gas supply (1 ÷ 10 · 10 -2 Pa) from the working chamber to the gas analyzer chamber, designed to measure the composition of gases at low pressures (1 · 10 -3 ÷ 1 · 10 -12 Pa). To maintain the nominal pressure necessary for its functioning in the gas analyzer chamber, it is equipped with an autonomous pumping system.
Пример конкретной реализации устройства для определения состава газов в рабочей камере при проведении ионно-плазменных процессов приведен на фигуре 1.An example of a specific implementation of the device for determining the composition of gases in the working chamber during ion-plasma processes is shown in figure 1.
Устройство включает рабочую вакуумную камеру 1, входной патрубок 2, соединяющий рабочую камеру с натекателем газа 3, выходной патрубок 4, соединяющий натекатель 3 с вакуумной камерой газоанализатора 5 и зонд газоанализатора 6. К вакуумной камере газоанализатора 5 через фланец 7 присоединен блок контроля и управления газоанализатора 8, а через фланец 9 присоединена автономная система откачки 10.The device includes a working
Работа устройства осуществляется следующим образом:The operation of the device is as follows:
Перед началом процесса нанесения слоев рабочая вкуумная камера 1 предварительно откачивается до остаточного давления, одновременно запускается автономная система откачки газоанализатора 10. При этом натекатель газа 3 должен быть закрыт. После достижения необходимых вакуумных параметров в рабочей вакуумной камере 1 и вакуумной камере газоанализатора 5, открывается натекатель 3 и порция газа из рабочей камеры 1 подается в вакуумную камеру газоанализатора 5 для проведения анализа. При достижении необходимых значений состава газа в вакуумной рабочей камере 1, начинают процесс нанесения материалов, закрыв натекатель 3. Процесс нанесения материалов происходит при напуске газов в рабочую камеру, при этом давление в рабочей камере растет до 1÷4·10-2 Па, а давление в камере газоанализатора остается номинальным порядка 1·10-6 Па. Для того чтобы проанализировать состав газа в рабочей камере 1 в режиме напыления, необходимо напустить натекателем 3 газ из рабочей камеры 1 в камеру газоанализатора 5, регулируя количество подаваемого газа с целью сохранения рабочих режимов давления для работы газоанализатора.Before starting the process of applying the layers, the working
Таким образом, предлагаемое устройство расширяет диапазон контроля газоанализатора, позволяет определять состав остаточных газов в вакуумной камере при проведении ионно-плазменных процессов при высоких давлениях 1÷4·10-6 Па за счет парциальной подачи газа через натекатель в вакуумную камеру газоанализатора.Thus, the proposed device extends the control range of the gas analyzer, allows you to determine the composition of the residual gases in the vacuum chamber when conducting ion-plasma processes at high pressures of 1 ÷ 4 · 10 -6 Pa due to the partial supply of gas through the leak to the vacuum chamber of the gas analyzer.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013115028/07U RU132256U1 (en) | 2013-04-04 | 2013-04-04 | DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013115028/07U RU132256U1 (en) | 2013-04-04 | 2013-04-04 | DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU132256U1 true RU132256U1 (en) | 2013-09-10 |
Family
ID=49165374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013115028/07U RU132256U1 (en) | 2013-04-04 | 2013-04-04 | DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU132256U1 (en) |
-
2013
- 2013-04-04 RU RU2013115028/07U patent/RU132256U1/en not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107340101B (en) | Gas micro-leakage detection device and method for sealing device | |
CN205102992U (en) | Engine water pipe gas tightness dry -type check out test set | |
CN106525701B (en) | High-frequency fatigue overheating testing device in oxyhydrogen steam environment | |
CN104390798A (en) | Explosion test device and method for detecting explosion suppression performance of explosive-proof device | |
CN203519626U (en) | Automatic calibration device for transformer gas in oil | |
SG10201807414RA (en) | Method of inspecting flow rate measuring system | |
TWI620925B (en) | Vocs measurement system with multiple independent measurement subsystem | |
RU132256U1 (en) | DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES | |
CN111059462A (en) | Air supplementing method and device for environment-friendly gas insulation equipment | |
MX2016001729A (en) | Method and portable ion mobility spectrometer for the detection of an aerosol. | |
KR101391822B1 (en) | Process monitorable apparatus for processing substrate and method of process mornitoring using the same | |
CN202770961U (en) | SF6 density relay calibration platform | |
CN105259260A (en) | Novel transformer oil chromatography online monitoring device with three-way valve | |
CN105223297A (en) | The degasser that a kind of novel transformer oil chromatography on-Line Monitor Device is special | |
CN107741452B (en) | method for testing volume fraction of martensite in austenitic stainless steel | |
RU123948U1 (en) | LARGE VESSEL VESSEL TEST DEVICE | |
CN105223277A (en) | A kind of novel transformer oil chromatography on-Line Monitor Device | |
CN107741449B (en) | testing device for martensite volume fraction in austenitic stainless steel | |
AT518155A3 (en) | Apparatus and method for flow measurement of a gas injector | |
CN103969152A (en) | Scale and corrosion inhibitor performance testing device and detection method of scale and corrosion inhibitor performances | |
TWM507517U (en) | VOCs measurement system with multiple independent measurement subsystem | |
CN205125020U (en) | Tobacco throwing line cylinder processing equipment air leakage detecting system | |
RU2526432C1 (en) | Board for control over gas release from exposed coal seam surface | |
RU145179U1 (en) | STAND FOR TESTING AND SETTING THE CUTTING DEVICE | |
CN106290469B (en) | High-temperature high-pressure safety testing device for oil-gas well blasting fracturing agent and application method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM9K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20210405 |