RU132256U1 - DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES - Google Patents

DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES Download PDF

Info

Publication number
RU132256U1
RU132256U1 RU2013115028/07U RU2013115028U RU132256U1 RU 132256 U1 RU132256 U1 RU 132256U1 RU 2013115028/07 U RU2013115028/07 U RU 2013115028/07U RU 2013115028 U RU2013115028 U RU 2013115028U RU 132256 U1 RU132256 U1 RU 132256U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
gas analyzer
chamber
composition
gases
working chamber
Prior art date
Application number
RU2013115028/07U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Гаджимет Керимович Сафаралиев
Билал Аругович Билалов
Николай Иванович Каргин
Original Assignee
федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) filed Critical федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ)
Priority to RU2013115028/07U priority Critical patent/RU132256U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU132256U1 publication Critical patent/RU132256U1/en

Links

Images

Abstract

Устройство для определения состава газов в рабочей камере при проведении ионно-плазменных процессов, включающее рабочую камеру и газоанализатор, представляющий собой зонд, соединенный с блоком контроля и управления, отличающееся тем, что зонд помещен в вакуумную камеру газоанализатора, которая в свою очередь соединена с рабочей вакуумной камерой с помощью входного и выходного патрубков через натекаль, при этом вакуумная камера газоанализатора снабжена автономной системой откачки. A device for determining the composition of gases in the working chamber during ion-plasma processes, including a working chamber and a gas analyzer, which is a probe connected to a control and control unit, characterized in that the probe is placed in a vacuum chamber of the gas analyzer, which in turn is connected to the working a vacuum chamber with the help of the inlet and outlet nozzles through natekal, while the vacuum chamber of the gas analyzer is equipped with an autonomous pumping system.

Description

Полезная модель относится к вспомогательным устройствам к оборудованию для нанесения материалов ионно-плазменными методами в вакууме, и предназначено для контроля состава остаточных газов в вакуумной камере при проведении ионно-плазменных процессов.The utility model relates to auxiliary devices for equipment for applying materials by ion-plasma methods in vacuum, and is intended to control the composition of residual gases in a vacuum chamber during ion-plasma processes.

Для контроля состава остаточных газов в настоящее время применяются, например, масс-спектрометры типа RGA (http://www.actan.ru/vac_rga.html.). В состав масс-спектрометра входит измерительный зонд, устанавливаемый в вакуумную камеру и электронный блок контроля и управления. Данные газоанализаторы хорошо работают при давлениях в камере в диапазоне от 1·10-3 Па до 1·10-12 Па. Однако технологический процесс при распылении материалов ионно-плазменными методами в вакууме с применением смеси газов, проводится при более высоких давлениях в рабочей камере в пределах 1÷4·10-12 Па. При этом необходимо контролировать состав остаточных газов в вакуумной камере. При таких высоких давлениях в рабочей камере газоанализатор RGA перестает работать, что делает невозможным контроль состава газов и их парциальных давлений при проведении технологического процесса. Кроме того, измерительный зонд газоанализатора длиной 150-200 мм (в кварцевом защитном стакане) устанавливаемый в вакуумной камере может препятствовать размещению в камере другого оборудования, необходимого для проведения технологического процесса нанесения материалов. Например, в рабочей камере на вращающейся платформе может быть установлена печь для подогрева подложек, а рабочий зонд газоанализатора ограничивает возможность ее перемещения в камере.For monitoring the composition of the residual gases, for example, RGA-type mass spectrometers (http://www.actan.ru/vac_rga.html.) Are currently used. The mass spectrometer includes a measuring probe installed in a vacuum chamber and an electronic control and control unit. These gas analyzers work well at pressures in the chamber in the range from 1 · 10 -3 Pa to 1 · 10 -12 Pa. However, the technological process during the spraying of materials by ion-plasma methods in vacuum using a mixture of gases is carried out at higher pressures in the working chamber in the range 1 ÷ 4 · 10 -12 Pa. In this case, it is necessary to control the composition of the residual gases in the vacuum chamber. At such high pressures in the working chamber, the RGA gas analyzer ceases to work, which makes it impossible to control the composition of gases and their partial pressures during the process. In addition, a measuring probe of a gas analyzer with a length of 150-200 mm (in a quartz protective cup) installed in a vacuum chamber may interfere with the placement of other equipment in the chamber necessary for carrying out the process of applying materials. For example, a furnace for heating the substrates can be installed in the working chamber on a rotating platform, and the working probe of the gas analyzer limits the possibility of its movement in the chamber.

Технический результат полезной модели, заключается в расширении диапазона контроля состава газов газоанализатора (типа RGA).The technical result of the utility model is to expand the control range of the gas composition of the gas analyzer (type RGA).

Технический результат достигается тем, что в известном устройстве, включающем рабочую камеру и газоанализатор, представляющий собой зонд, соединенный с блоком контроля и управления зонд помещен в вакуумную камеру газоанализатора, которая в свою очередь соединена с рабочей вакуумной камерой с помощью входного и выходного патрубков через натекаль, при этом вакуумная камера газоанализатора снабжена автономной системой откачки. Натекатель позволяет осуществлять парциальную подачу газа с высоким давлением (1÷10·10-2 Па) из рабочей камеры в камеру газоанализатора, предназначенного для измерения состава газов при низких давлениях (1·10-3÷1·10-12 Па). Для поддержания в камере газоанализатора номинального давления, необходимого для его функционирования, она снабжена автономной системой откачки.The technical result is achieved by the fact that in the known device comprising a working chamber and a gas analyzer, which is a probe connected to a control and control unit, the probe is placed in a vacuum chamber of a gas analyzer, which in turn is connected to a working vacuum chamber by means of inlet and outlet pipes through while the vacuum chamber of the gas analyzer is equipped with an autonomous pumping system. The leakage allows partial high-pressure gas supply (1 ÷ 10 · 10 -2 Pa) from the working chamber to the gas analyzer chamber, designed to measure the composition of gases at low pressures (1 · 10 -3 ÷ 1 · 10 -12 Pa). To maintain the nominal pressure necessary for its functioning in the gas analyzer chamber, it is equipped with an autonomous pumping system.

Пример конкретной реализации устройства для определения состава газов в рабочей камере при проведении ионно-плазменных процессов приведен на фигуре 1.An example of a specific implementation of the device for determining the composition of gases in the working chamber during ion-plasma processes is shown in figure 1.

Устройство включает рабочую вакуумную камеру 1, входной патрубок 2, соединяющий рабочую камеру с натекателем газа 3, выходной патрубок 4, соединяющий натекатель 3 с вакуумной камерой газоанализатора 5 и зонд газоанализатора 6. К вакуумной камере газоанализатора 5 через фланец 7 присоединен блок контроля и управления газоанализатора 8, а через фланец 9 присоединена автономная система откачки 10.The device includes a working vacuum chamber 1, an inlet pipe 2 connecting the working chamber with a gas leak 3, an output pipe 4 connecting a leak 3 with a vacuum chamber of the gas analyzer 5 and a gas analyzer probe 6. A gas analyzer control and control unit is connected to the vacuum chamber of the gas analyzer 5 through a flange 7 8, and through the flange 9 is connected an autonomous pumping system 10.

Работа устройства осуществляется следующим образом:The operation of the device is as follows:

Перед началом процесса нанесения слоев рабочая вкуумная камера 1 предварительно откачивается до остаточного давления, одновременно запускается автономная система откачки газоанализатора 10. При этом натекатель газа 3 должен быть закрыт. После достижения необходимых вакуумных параметров в рабочей вакуумной камере 1 и вакуумной камере газоанализатора 5, открывается натекатель 3 и порция газа из рабочей камеры 1 подается в вакуумную камеру газоанализатора 5 для проведения анализа. При достижении необходимых значений состава газа в вакуумной рабочей камере 1, начинают процесс нанесения материалов, закрыв натекатель 3. Процесс нанесения материалов происходит при напуске газов в рабочую камеру, при этом давление в рабочей камере растет до 1÷4·10-2 Па, а давление в камере газоанализатора остается номинальным порядка 1·10-6 Па. Для того чтобы проанализировать состав газа в рабочей камере 1 в режиме напыления, необходимо напустить натекателем 3 газ из рабочей камеры 1 в камеру газоанализатора 5, регулируя количество подаваемого газа с целью сохранения рабочих режимов давления для работы газоанализатора.Before starting the process of applying the layers, the working flavor chamber 1 is previously pumped out to a residual pressure, while the autonomous pumping system of the gas analyzer 10 is launched. At the same time, the gas leak 3 must be closed. After reaching the necessary vacuum parameters in the working vacuum chamber 1 and the vacuum chamber of the gas analyzer 5, the leak 3 opens and a portion of the gas from the working chamber 1 is fed into the vacuum chamber of the gas analyzer 5 for analysis. Upon reaching the required values of the gas composition in the vacuum working chamber 1, the process of applying materials begins by closing leakage 3. The process of applying materials occurs when gases are poured into the working chamber, while the pressure in the working chamber rises to 1 ÷ 4 · 10 -2 Pa, and the pressure in the gas analyzer chamber remains nominal about 1 · 10 -6 Pa. In order to analyze the composition of the gas in the working chamber 1 in the spraying mode, it is necessary to pour gas from the working chamber 1 into the chamber of the gas analyzer 5 with a leakage 3, adjusting the amount of gas supplied in order to maintain the operating pressure conditions for the gas analyzer to work.

Таким образом, предлагаемое устройство расширяет диапазон контроля газоанализатора, позволяет определять состав остаточных газов в вакуумной камере при проведении ионно-плазменных процессов при высоких давлениях 1÷4·10-6 Па за счет парциальной подачи газа через натекатель в вакуумную камеру газоанализатора.Thus, the proposed device extends the control range of the gas analyzer, allows you to determine the composition of the residual gases in the vacuum chamber when conducting ion-plasma processes at high pressures of 1 ÷ 4 · 10 -6 Pa due to the partial supply of gas through the leak to the vacuum chamber of the gas analyzer.

Claims (1)

Устройство для определения состава газов в рабочей камере при проведении ионно-плазменных процессов, включающее рабочую камеру и газоанализатор, представляющий собой зонд, соединенный с блоком контроля и управления, отличающееся тем, что зонд помещен в вакуумную камеру газоанализатора, которая в свою очередь соединена с рабочей вакуумной камерой с помощью входного и выходного патрубков через натекаль, при этом вакуумная камера газоанализатора снабжена автономной системой откачки.
Figure 00000001
A device for determining the composition of gases in a working chamber during ion-plasma processes, including a working chamber and a gas analyzer, which is a probe connected to a control and control unit, characterized in that the probe is placed in a vacuum chamber of the gas analyzer, which in turn is connected to the working a vacuum chamber with the help of the inlet and outlet nozzles through nadekal, while the vacuum chamber of the gas analyzer is equipped with an autonomous pumping system.
Figure 00000001
RU2013115028/07U 2013-04-04 2013-04-04 DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES RU132256U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013115028/07U RU132256U1 (en) 2013-04-04 2013-04-04 DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013115028/07U RU132256U1 (en) 2013-04-04 2013-04-04 DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU132256U1 true RU132256U1 (en) 2013-09-10

Family

ID=49165374

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013115028/07U RU132256U1 (en) 2013-04-04 2013-04-04 DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU132256U1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107340101B (en) Gas micro-leakage detection device and method for sealing device
CN205102992U (en) Engine water pipe gas tightness dry -type check out test set
CN106525701B (en) High-frequency fatigue overheating testing device in oxyhydrogen steam environment
CN104390798A (en) Explosion test device and method for detecting explosion suppression performance of explosive-proof device
CN203519626U (en) Automatic calibration device for transformer gas in oil
SG10201807414RA (en) Method of inspecting flow rate measuring system
TWI620925B (en) Vocs measurement system with multiple independent measurement subsystem
RU132256U1 (en) DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION OF GASES IN THE WORKING CHAMBER DURING ION-PLASMA PROCESSES
CN111059462A (en) Air supplementing method and device for environment-friendly gas insulation equipment
MX2016001729A (en) Method and portable ion mobility spectrometer for the detection of an aerosol.
KR101391822B1 (en) Process monitorable apparatus for processing substrate and method of process mornitoring using the same
CN202770961U (en) SF6 density relay calibration platform
CN105259260A (en) Novel transformer oil chromatography online monitoring device with three-way valve
CN105223297A (en) The degasser that a kind of novel transformer oil chromatography on-Line Monitor Device is special
CN107741452B (en) method for testing volume fraction of martensite in austenitic stainless steel
RU123948U1 (en) LARGE VESSEL VESSEL TEST DEVICE
CN105223277A (en) A kind of novel transformer oil chromatography on-Line Monitor Device
CN107741449B (en) testing device for martensite volume fraction in austenitic stainless steel
AT518155A3 (en) Apparatus and method for flow measurement of a gas injector
CN103969152A (en) Scale and corrosion inhibitor performance testing device and detection method of scale and corrosion inhibitor performances
TWM507517U (en) VOCs measurement system with multiple independent measurement subsystem
CN205125020U (en) Tobacco throwing line cylinder processing equipment air leakage detecting system
RU2526432C1 (en) Board for control over gas release from exposed coal seam surface
RU145179U1 (en) STAND FOR TESTING AND SETTING THE CUTTING DEVICE
CN106290469B (en) High-temperature high-pressure safety testing device for oil-gas well blasting fracturing agent and application method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
MM9K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20210405