RO134520A2

RO134520A2 - Humidity sensor

Info

Publication number: RO134520A2
Application number: ROA201900161A
Authority: RO
Inventors: Bogdan Cătălin Şerban; Octavian Buiu; Cornel Cobianu; Viorel Marian Avramescu; Maria Roxana Marinescu
Original assignee: Institutul Naţional De Cercetare-Dezvoltare Pentru Microtehnologie-Imt Bucureşti
Priority date: 2019-03-12
Filing date: 2019-03-12
Publication date: 2020-10-30

Abstract

The invention relates to a process for manufacturing a humidity sensor for monitoring relative humidity. According to the invention, the process consists of the following stages: preparation of a binary composition consisting of cerium dioxide as powder and 0.1...10% by mass oxidated carbon nanohorns or conductive and hydrophilic CNO materials, deposition of said composition from a water-ethanol solution, by spin coating, on a dielectric substrate of polyethylene-naphthalate provided with linear or digitated electrodes, resulting in a chemiresistive sensor to be used in a temperature range of 25...400°C.

Description

Monitorizarea umidității relative reprezintă un proces important în multiple domenii de activitate casnică și industrială precum controlul calității aerului în spații închise, industria textilă, industria medicală (incubatoare, sterilizatoare), industria farmaceutică (sinteza și controlul calității medicamentelor), industria prelucrării lemnului (comanda cuptoarelor pentru uscarea lemnului), industria auto, meteorologie, agricultură (silozuri, controlul umidității solului), industria chimică, industria electronică, etc. [1]. Astfel, fabricarea și comercializarea senzorilor de umiditate au luat o amploare deosebită, devenind o prioritate în ultimii 20 de ani [2]·Relative humidity monitoring is an important process in multiple areas of domestic and industrial activity such as indoor air quality control, textile industry, medical industry (incubators, sterilizers), pharmaceutical industry (synthesis and quality control of medicines), wood processing industry for wood drying), automotive industry, meteorology, agriculture (silos, soil moisture control), chemical industry, electronics industry, etc. [1]. Thus, the manufacture and sale of humidity sensors have taken on a special scale, becoming a priority in the last 20 years [2] ·

Alături de senzorii de tip capacitiv și cei de conductivitate termică, chemirezistorii reprezintă una dintre familiile de senzori dintre cele mai investigate și utilizate pentru măsurarea umidității [3 - 4],Along with capacitive and thermal conductivity sensors, chemoresistors are one of the most investigated and used families of sensors for measuring humidity [3 - 4],

Oxizii de metale semiconductoare precum SnO₂ [5 - 9], TiO₂ [10 - 14], TiO₂-SnO₂ [15, 16], SnO₂-MoS₂ [17], ZnO [18 - 23], CuO [24, 25], CuO-ZnO [26, 27], In₂O₃ [28] au fost studiați intensiv ca elemente de sensing în senzorii chemirezistivi de umiditate.Oxides of semiconductor metals such as SnO ₂ [5 - 9], TiO ₂ [10 - 14], TiO ₂ -SnO ₂ [15, 16], SnO ₂ -MoS ₂ [17], ZnO [18 - 23], CuO [ 24, 25], CuO-ZnO [26, 27], In ₂ O ₃ [28] have been intensively studied as sensing elements in chemoresistive humidity sensors.

Nu în ultimul rând, materialele nanocarbonice sunt tot mai mult utilizate (straturi senzitive, electrozi, etc.) în proiectarea senzorilor de umiditate [29].Last but not least, nanocarbon materials are increasingly used (sensitive layers, electrodes, etc.) in the design of humidity sensors [29].

Brevetul de invenție 4, 529, 540 (SUA) cu titlul “Humidity-sensitive resistive element” (Uno, Shigeki Harata, Mituo, Sakuma, Kazuo, Hiraki Hideaki) se referă la un senzor chemirezistiv de umiditate care utilizează un strat senzitiv complex care conține, în procente molare, Cr₂O₃(21-73%), ZnO sau MgO (21-55%), CuO (0,5-8%), Li₂O (0,5-8%), V₂O₅ (0,5-8%). Electrozii de lucru sunt constituiți din oxid de ruteniu.Patent 4, 529, 540 (US) entitled "Humidity-sensitive resistive element" (Uno, Shigeki Harata, Mituo, Sakuma, Kazuo, Hiraki Hideaki) relates to a chemoresistive humidity sensor that uses a complex sensitive layer that contains, in molar percentages, Cr ₂ O ₃ (21-73%), ZnO or MgO (21-55%), CuO (0.5-8%), Li ₂ O (0.5-8%), V ₂ O ₅ (0.5-8%). The working electrodes are made of ruthenium oxide.

Brevetul de invenție menționat revendică un strat sensibil la umiditate având un domeniu relativ îngust pentru variația rezistenței electrice și care prezintă o bună stabilitate la temperaturi ridicate, chiar și după o utilizare prelungită. Senzorul nu trebuie încălzit înainte de fiecare utilizare pentru a-și menține precizia. Astfel, este posibilă monitorizarea continuă a umidității. Un alt avantaj îl constituie faptul că senzorul nu necesită o rețea de ajustare a impedanței și poate fi conectat direct într-un circuit electric. Senzorul poate fi de asemenea utilizat într-o gamă largă de condiții de umiditate, precum și într-un interval larg de temperaturi.Said patent claims a moisture-sensitive layer having a relatively narrow range for the variation of electrical resistance and which has good stability at high temperatures, even after prolonged use. The sensor does not need to be heated before each use to maintain its accuracy. Thus, continuous humidity monitoring is possible. Another advantage is that the sensor does not require an impedance adjustment network and can be connected directly to an electrical circuit. The sensor can also be used in a wide range of humidity conditions, as well as in a wide range of temperatures.

Brevetul de invenție 4,276,537 (SUA) cu titlul “Moisture-responsive resistor element” (Shimizu, Hiroshi) se referă la un senzor chemirezistiv de umiditate bazat pe un strat senzitiv constituit din acid metastanic sau un amestec acid metastanic/dioxid de staniu. Senzorul brevetat poate fi utilizat în mod satisfăcător în intervalul de umiditate relativă de la 10% la 90%. Coeficientul de temperatură este de aproximativ 0, 2% /°C.Patent 4,276,537 (US) to the title "Moisture-responsive resistor element" (Shimizu, Hiroshi) relates to a chemoresistive humidity sensor based on a sensitive layer consisting of metastatic acid or a mixture of metastatic acid / tin dioxide. The patented sensor can be used satisfactorily in the relative humidity range from 10% to 90%. The temperature coefficient is about 0.2% / ° C.

Brevetul de invenție 4,464,647 (SUA) cu titlul “Humidity sensor made of metal oxide” (Yokomizu Yuji, Yuuki Keiji, Watanabe Naoe) se referă la un senzor chemirezistiv deU.S. Patent 4,464,647 (U.S.) entitled "Humidity sensor made of metal oxide" (Yokomizu Yuji, Yuuki Keiji, Watanabe Naoe) relates to a chemical resistance sensor

a 2019 00161and 2019 00161

12/03/2019 umiditate. Senzorul conține drept element senzitiv un corp sinterizat având în compoziție ZnO, Cr2Ch, V2O5 și un oxid de tipul M2O care poate fi L12O, K2O, Na2O.12/03/2019 humidity. The sensor contains as a sensitive element a sintered body having in composition ZnO, Cr2Ch, V2O5 and an oxide of type M2O which can be L12O, K2O, Na2O.

Nanohornurile carbonice sunt materiale cu o structură tubulară, înrudite cu nanotuburile de carbon [30], Ele se pot sintetiza prin ablația laser a grafitului. Avantajul sintezei nanohomurilor carbonice, in comparație cu obținerea nanotuburilor de carbon, constă în faptul că procesul tehnologic nu necesită prezența unui catalizator metalic. Nanohornurile carbonice oxidate au un caracter hidrofil, sunt ușor dispersabile în apă și solvenți organici (etanol, alcool izopropilic) și prezintă o suprafață specifică mare (1300-1400 m²/g) [31],Carbon nanohorns are materials with a tubular structure, related to carbon nanotubes [30], They can be synthesized by laser ablation of graphite. The advantage of the synthesis of carbon nanotubes, compared to obtaining carbon nanotubes, is that the technological process does not require the presence of a metal catalyst. Oxidized carbon nanohorns have a hydrophilic character, are easily dispersible in water and organic solvents (ethanol, isopropyl alcohol) and have a large specific surface area (1300-1400 m ² / g) [31],

Materialele nanocarbonice de tip ceapă (“carbon nano-onion” - CNOs) au fost sintetizate în premieră de către Ugarte, în 1992, prin iradierea cu electroni a funinginei [32]. Din punct de vedere structural, CNOs aparțin familiei fulerenelor și sunt constituite din straturi grafitice cvasi-sferice sau de formă poliedrică.Onion carbon nano-onions (CNOs) were first synthesized by Ugarte in 1992 by electron irradiation of soot [32]. From a structural point of view, CNOs belong to the fullerene family and are made up of quasi-spherical or polyhedral graphitic layers.

Cele mai utilizate metode de sinteză ale CNOs de mici dimensiuni (cu diametrul de circa 5-7 nm) pornesc de la materii prime de tip nanodiamant. Acesta se poate converti în structuri nanocarbonice de tip ceapă atât prin tratamente termice [33 - 34], cât și prin iradiere cu electroni [35].The most used synthesis methods of small CNOs (with a diameter of about 5-7 nm) start from nanodiamond raw materials. It can be converted into onion-type nanocarbon structures both by heat treatment [33 - 34] and by electron irradiation [35].

Datorită proprietăților fizico-chimice deosebite (excelentă conductivitate electrică, posibilități multiple de funcționalizare de tip covalent și non-covalent, mezoporozitate mare, suprafață specifică ridicată), CNOs se utilizează intensiv în electronică (supercapacitoare) [36], cataliză [37], conversie și stocare de energie [38].Due to their special physico-chemical properties (excellent electrical conductivity, multiple covalent and non-covalent functionalities, high mesoporosity, high specific surface area), CNOs are used intensively in electronics (supercapacitors) [36], catalysis [37], conversion and energy storage [38].

în pofida aplicațiilor vaste, atât nanohornurile carbonice cât și materialele nanocarbonice de tip ceapă au fost relativ puțin studiate ca straturi sensitive în proiectarea senzorilor de gaze.Despite wide applications, both carbon nanocorns and onion nanocarbon materials have been relatively little studied as sensitive layers in the design of gas sensors.

Problema tehnică pe care o rezolvă invenția prezentă constă în obținerea de noi straturi senzitive la variația valorii umidității relative.The technical problem solved by the present invention consists in obtaining new sensitive layers to the variation of the relative humidity value.

Straturile senzitive descrise în această invenție, utilizate pentru obținerea unor senzori chemirezistivi de umiditate, sunt nanocompozite constituite din CeOfnanohornuri carbonice oxidate (hidrofile), respectiv CeCh/materiale nanocarbonice conductive și hidrofile tip ceapă (carbon nano - onions). Din punct de vedere al metodei de măsură, rezistența stratului conductiv variază proporțional cu nivelul umidității relative.The sensitive layers described in this invention, used to obtain chemoresistive humidity sensors, are nanocomposites consisting of oxidized carbonic CeOfnanohorns (hydrophilic), respectively CeCh / conductive nanocarbon materials and onion-type hydrophilic (carbon nano-onions). From the point of view of the measurement method, the resistance of the conductive layer varies in proportion to the level of relative humidity.

Utilizarea nanocompozitelor menționate conferă senzorului câteva avantaje semnificative:The use of said nanocomposites gives the sensor several significant advantages:

• îmbunătățirea proprietăților mecanice și procesabilitatea stratului senzitiv;• improving the mechanical properties and processability of the sensitive layer;

• prezența nanohomurilor carbonice oxidate sau a materialelor nanocarbonice conductive și hidrofile tip ceapă (carbon nano - onions) conferă suprafață specifică mare, afinitate pentru moleculele de apă, precum și o variație a rezistenței stratului senzitiv la contactul cu acestea;• the presence of oxidized carbon nanowires or conductive and hydrophilic onion-type nanocarbon materials (carbon nano-onions) gives a large specific surface area, affinity for water molecules, as well as a variation of the resistance of the sensitive layer to contact with them;

• prezența ionilor Ce⁴⁺ conferă senzorului senzitivitate crescută datorită afinității pentru moleculele de apă. Conform teoriei HSAB (“Hard and Soft, Acid and Base “), cationii Ce⁴⁺sunt clasificați ca acizi tari, în timp ce H2O este clasificată ca o bază tare. Astfel, o interacție de tip hard acid - hard base între analit și stratul senzitiv este foarte probabilă;• the presence of Ce ⁴⁺ ions gives the sensor increased sensitivity due to the affinity for water molecules. According to HSAB ("Hard and Soft, Acid and Base") theory, Ce ⁴⁺ cations are classified as strong acids, while H2O is classified as a strong base. Thus, a hard acid-hard base interaction between the analyte and the sensitive layer is very likely;

• detecție pe un domeniu larg de temperatură;• detection over a wide temperature range;

a2019 00161a2019 00161

12/03/2019 • răspunsul rapid al senzorului la variații ale valorii umidității relative.12/03/2019 • the rapid response of the sensor to variations in the value of relative humidity.

Substratul dielectric este realizat din polietilennaftalat (PEN) și poate avea o grosime cuprinsă între 50 microni și 5 milimetri. Electrozii se pot depune pe suprafața substratului dielectric prin printare directă, pulverizare catodică sau evaporare. Electrozii pot fi constituiți din același material (aur, platină) sau din rpateriale diferite. Ei pot fi liniari (Fig. 1) sau pot avea o configurație interdigitată (Fig. 2).The dielectric substrate is made of polyethylene naphthalate (PEN) and can be between 50 microns and 5 millimeters thick. Electrodes can be deposited on the surface of the dielectric substrate by direct printing, sputtering or evaporation. Electrodes can be made of the same material (gold, platinum) or different materials. They can be linear (Fig. 1) or have an interdigitated configuration (Fig. 2).

în cele ce urmează se prezintă etapele necesare pentru obținerea straturilor senzitive la umiditate relativă, precum și pentru obținerea senzorilor chemirezistivi de umiditate relativă.The following are the steps required to obtain the relative humidity sensitive layers, as well as to obtain the relative humidity chemoresistive sensors.

Exemplul 1Example 1

Materiile prime necesare sintezei stratului senzitiv sunt nanodiamant (5nm) - disponibil comercial, alcool etilic, apă deionizată, acetonă, acid azotic, nanopulbere de CeO? (disponibilă comercial).The raw materials needed for the synthesis of the sensitive layer are nanodiamond (5nm) - commercially available, ethyl alcohol, deionized water, acetone, nitric acid, CeO nanopowder? (commercially available).

Etapele necesare obținerii stratului senzitiv sunt următoarele:The steps required to obtain the sensitive layer are the following:

1. Materiale nanocarbonice de tip ceapă (CNOs) se sintetizează din nanodiamant, prin tratament termic la 1650°C, în atmosferă de heliu.1. Onion-type nanocarbon materials (CNOs) are synthesized from nanodiamonds, by heat treatment at 1650 ° C, in a helium atmosphere.

2. Sinteza materialelor nanocarbonice oxidate (hidrofile) se realizează prin reacția cu acid azotic 3M, la reflux, timp de 48 h. Produsul obținut se spală cu apă deionizată și acetonă (volume egale).2. The synthesis of oxidized nanocarbon materials (hydrophilic) is performed by reaction with 3M nitric acid, at reflux, for 48 h. The product obtained is washed with deionized water and acetone (equal volumes).

3. Nanopulberea de CeCh se dispersează într-un amestec etanol - apă (70/30- v/v), sub agitare magnetică, timp de 6 h.3. The CeCh nanopowder is dispersed in an ethanol-water mixture (70/30-v / v), under magnetic stirring, for 6 h.

4. Soluției obținute la punctul 3 i se adaugă materialul nanocarbonic oxidat (hidrofil), rezultat în etapa a doua a procesului de sinteză și se continuă agitarea soluției la temperatura camerei, timp de 2h.4. To the solution obtained in point 3 add the oxidized nanocarbon material (hydrophilic), resulting in the second stage of the synthesis process and continue stirring the solution at room temperature for 2 hours.

5. Soluția obținută se depune prin metoda spin coating utilizând un substrat de PEN cu electrozi liniari sau cu electrozi interdigitați (după ce în prealabil s-a realizat mascarea zonei de contacte).5. The obtained solution is deposited by the spin coating method using a PEN substrate with linear electrodes or interdigitated electrodes (after previously masking the contact area).

6. Stratul senzitiv obținut se supune unui tratament termic la 400°C, 5 minute.6. The obtained sensitive layer is subjected to a heat treatment at 400 ° C, 5 minutes.

Exemplul 2Example 2

a 2019 00161 12/03/2019a 2019 00161 12/03/2019

Materiile prime necesare sintezei stratului senzitiv sunt: nanohornuri carbonice (disponibile comercial), alcool etilic, apă deionizată, acetonă, acid azotic, nanopulbere de CeO? (disponibilă comercial).The raw materials needed for the synthesis of the sensitive layer are: carbon nanowires (commercially available), ethyl alcohol, deionized water, acetone, nitric acid, CeO nanopowder? (commercially available).

1. Sinteza nanohornurilor carbonice oxidate (hidrofile) se realizează prin reacția cu acid azotic 3M, la reflux, timp de 24 h. Produsul obținut se spală cu acetonă și apă deionizată.1. The synthesis of oxidized carbon nanowires (hydrophilic) is performed by reaction with 3M nitric acid, at reflux, for 24 h. The product obtained is washed with acetone and deionized water.

2. Nanopulberea de CeOs se dispersează într-un amestec etanol - apă (70/30- v/v), sub agitare magnetică, timp de 6 h.2. The CeOs nanopowder is dispersed in an ethanol-water mixture (70/30-v / v), under magnetic stirring, for 6 h.

3. Soluției obținute la punctul 2 i se adaugă nanohornurilor carbonice oxidate (hidrofile), obținute în prima etapă a procesului de sinteză și se continuă agitarea soluției la temperatura camerei, timp de 2h.3. To the solution obtained in point 2, add to the oxidized carbon nanowires (hydrophilic) obtained in the first stage of the synthesis process and continue stirring the solution at room temperature for 2 hours.

4. Soluția obținută se depune prin metoda spin coating utilizând un substrat de PEN cu electrozi liniari sau cu electrozi interdigitați (după ce în prealabil s-a realizat mascarea zonei de contacte).4. The obtained solution is deposited by the spin coating method using a PEN substrate with linear electrodes or interdigitated electrodes (after previously masking the contact area).

5. Stratul senzitiv obținut se supune unui tratament termic la 450°C, 5 minute.5. The obtained sensitive layer is subjected to a heat treatment at 450 ° C, 5 minutes.

Exemplul 3Example 3

Materiile prime necesare sintezei stratului senzitiv sunt nanodiamant, disponibil comercial, alcool etilic, apă deionizată, acetonă și acid azotic, CeCly/ÎhO.The raw materials necessary for the synthesis of the sensitive layer are nanodiamond, commercially available, ethyl alcohol, deionized water, acetone and nitric acid, CeCly / ÎhO.

2. Sinteza materialelor nanocarbonice oxidate (hidrofile) de tip ceapă se realizează prin reacția cu acid azotic 3M, la reflux, timp de 48 h. Produsul obținut se spală cu apă deionizată, acetonă și în final, cu apă deionizată.2. Synthesis of oxidized (hydrophilic) onion-type nanocarbon materials is performed by reaction with 3M nitric acid, at reflux, for 48 h. The product obtained is washed with deionized water, acetone and finally with deionized water.

3. Se prepară o soluție de CeCb-ȚfhO în etanol, la care se adaugă acid citric (raport molar clorură: acid de 1:2).3. Prepare a solution of CeCb-ȚfhO in ethanol, to which citric acid is added (molar ratio chloride: 1: 2 acid).

4. Soluției obținute în etapa a treia i se adaugă materialele nanocarbonice oxidate (hidrofile) de tip ceapă sintetizate în cadrul etapei a doua.4. To the solution obtained in step three, the oxidized (hydrophilic) onion-type materials synthesized in step two are added.

5. Soluția obținută în cadrul etapei a patra se supune agitării magnetice timp de două ore.5. The solution obtained in the fourth step is subjected to magnetic stirring for two hours.

6. Soluția obținută se depune prin metoda spin coating utilizând un substrat de PEN cu electrozi liniari sau cu electrozi interdigitați (după ce în prealabil s-a realizat mascarea zonei de contacte).6. The obtained solution is deposited by the spin coating method using a PEN substrate with linear electrodes or interdigitated electrodes (after previously masking the contact area).

a 2019 00161and 2019 00161

12/03/201912/03/2019

7. Stratul senzitiv obținut se supune unui tratament termic la 400°C, 5 minute.7. The obtained sensitive layer is subjected to a heat treatment at 400 ° C, 5 minutes.

Exemplul 4Example 4

Materiile prime necesare sintezei stratului senzitiv sunt nanohornurile carbonice (disponibile comercial), alcool etilic, apă deionizată, acetonă, acid azotic, CeCh'7H2O.The raw materials necessary for the synthesis of the sensitive layer are carbon nanowires (commercially available), ethyl alcohol, deionized water, acetone, nitric acid, CeCh'7H2O.

1. Sinteza nanohornurilor carbonice oxidate (hidrofile) se realizează prin reacția cu acid azotic 3M, Ia reflux, timp de 24 h. Produsul obținut se spală cu acetonă, apă deionizată (volume egale).1. Synthesis of oxidized carbon nanowires (hydrophilic) is performed by reaction with 3M nitric acid, at reflux, for 24 h. The product obtained is washed with acetone, deionized water (equal volumes).

2. Se prepară o soluție de CeCh^HsO în etanol, ia care se adaugă acid citric (raport molar clorură : acid de 1:2).2. Prepare a solution of CeCh ^ HsO in ethanol, to which citric acid is added (molar ratio chloride: 1: 2 acid).

3. Soluției obținute în etapa a doua i se adaugă nanohornurilor carbonice oxidate (hidrofile).3. To the solution obtained in the second step is added to the oxidized carbon nanowires (hydrophilic).

4. Soluția obținută în cadrul etapei a treia se supune agitării magnetice timp de două ore.4. The solution obtained in the third stage is subjected to magnetic stirring for two hours.

Claims

1. Process for the preparation of a new binary composition CeChematerials oxidized nanocarbonic (hydrophilic) onion type characterized in that cerium dioxide is used in the form of nanopowder, oxidized nanocarbon (hydrophilic) onion type materials are synthesized by treating nanocarbon type materials onions with 3M nitric acid and that their mass percentage in the sensitive layer varies between 0.1 and 10%.

2. Process for the preparation of a new binary composition CeCh / oxidized carbon nanowires (hydrophilic) characterized in that cerium dioxide is used as a nanopowder, oxidized carbon nanowires (hydrophilic) are synthesized by treating carbon nanowires with 3M nitric acid and that their mass percentage in the sensitive layer varies between 0.1 and 10%.

3. Process for the preparation of a new binary composition CeCh / onion-type oxidized nanocarbon materials characterized in that the precursor used in the sol-gel method is CeC13'7H2O, the solvent is ethanol and the stabilizer is citric acid.

4. Process for the preparation of a new binary composition CeCh / oxidized carbon nanohorns (hydrophilic) characterized in that the precursor used in the sol-gel method is CeC13'7H2O, the solvent is ethanol and the stabilizer is citric acid.

The binary composition obtained under the conditions of claim 3 is characterized in that it has a molar ratio CeCh’ȚHzO: citric acid of 2: 2.

The binary composition obtained under the conditions of claim 4 is characterized in that it has a molar ratio of CeCh-7H2O: citric acid of 2: 2.

7. The dielectric substrate is characterized in that it can be constructed of PEN and can have a thickness between 50 microns and 5 millimeters.

8. Electrodes are characterized in that they are deposited on the surface of the dielectric substrate by direct printing, sputtering or evaporation.

9. Electrodes are characterized in that they can be made of the same material] (aluminum, chromium, copper, gold) or of different materials.

10. The electrodes used are characterized in that they can be linear or have an interdigitated configuration.

and 2019 00161

12/03/2019

The deposition of the composition obtained under the conditions of claim 1 is made of ethanol-water solution (70/30 - v / v) and is characterized in that it is made by the “spin coating” method on the PEN substrate with linear electrodes.

The deposition of the composition obtained under the conditions of claim 1 is made of ethanol-water solution (70/30 - v / v) and is characterized in that it is made by the “spin coating” method on the PEN substrate - with interdigitated electrodes.

The deposition of the composition obtained under the conditions of claim 2 is made of ethanol-water solution (70/30-v / v) and is characterized in that it is made by the “spin coating” method on the PEN substrate - with linear electrodes.

The deposition of the composition obtained under the conditions of claim 2 is made of ethanol-water solution (70/30 - v / v) and is characterized in that it is made by the “spin coating” method on the PET substrate with interdigitated electrodes.

The deposition of the composition obtained under the conditions of claim 3 is made of ethanol and is characterized in that it is made by the “spin coating” method on the PEN substrate with linear electrodes.

The deposition of the composition obtained under the conditions of claim 3 is made of ethanol and is characterized in that it is made by the “spin coating” method on the PEN substrate with interdigitated electrodes.

The composition of the composition obtained under the conditions of claim 4 is made of ethanol and is characterized in that it is made by the “spin coating” method on the PEN substrate with linear electrodes.

The composition of the composition obtained under the conditions of claim 4 is made of ethanol and is characterized in that it is made by the “spin coating” method on the PEN substrate with interdigitated electrodes.

The use of chemoresistive sensors - obtained under the conditions of claims 11 - 18 - and used for humidity monitoring, is characterized by applying a voltage between two electrodes and measuring the intensity of the electric current passing through the sensitive layer at various humidity values.

The use of chemoresistive sensors obtained under the conditions of claims 11 to 18 in monitoring humidity is characterized in that it is used over a temperature range between 25 ° C and 400 ° C.