PL96759B1 - Urzadzenie do mocowania prostokatnych podlozy obwodow scalonych szczegolnie w celu preparowania ich w procesach prozniowych - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie doi mo¬ cowania prostokatnych podlozy ukladów scalo¬ nych, szczególnie w celu preparowania ich w /pro¬ cesach prózniowych.

W produkcji ukladów scalonych stosowane sa metody, polegajace na naparowywaniu w prózni warstw substancji na cala powierzchnie podloza.

W procesach tych czynnikiem decydujacyim o zu¬ zyciu materialu naparowywanego i wydajnosci jest ilosc podlozy, jaka moze byc jednoczesnie preparowana przy danej wielkosci urzadzenia.

Znane urzadzenia do mocowania podlozy na ply¬ cie nosnej posiadaja mechanizimy mocujace w po¬ staci elementów ruchomych i sprezystych, umiesz¬ czone po tej siamej stronie plyty, co i podloza.

Niedogodnoscia tego rodzaju urzadzen jest to, ze ¦mechanizimy te, zajmujace ipewna powierzchnie plyty nosnej, zmniejszaja ilosc jednoczesnie daja¬ cych sie ipomiescic podlozy, a substancje naparo¬ wywane, osiadajace na tych mechanlizmach odpa¬ dalja po pewnym czasie, ipowodujac zanieczyszcza¬ nie urzadzenia.

Celem .wynalazku jest usuniecie tych niedogod¬ nosci. W urzadzeniu wedlug wynalazku, prostokat¬ ne podloza ukladów scalonych ustalone sa na plycie nosnej parami i nierównolegle wzgledem siebie przy pomocy elementów oporowych, przy czym mocowanie ich odbywa sie przez docisk znajdujacego sie pomiedzy podlozami elementu do¬ ciskajacego, przesuwajacego sie w osi symetrii pary podlozy. Mechanizm napedzajacy element dociskowy znajduje sie po przeciwnej stronie ply¬ ty nosnej i sklada sie z prowadzonego wzdluz swojej osi sworznia i sprezyny dociskowej.

W urzadzeniu wg wynalazku jedynie elementy ustalajace i imooujace znajlduja sie na powierzchni roboczej plyty nosnej, co umozliwia umieszczenie na niej wiekszej ilosci podlozy. Mechanizm nape¬ dzajacy element dociskowy nie jest nairazony na napalrowanie. Rozwiazalnie to umozliwia mechani¬ zacje mocowania podlozy przez jednoczesny na¬ ped wszystkich elementów mocujacych od" spodu, co nie spowoduje przysloniecia powierzchni robo¬ czej plyty nosnej i ulatwia zakladanie i zdejmo¬ wanie podlozy.

Przedmiot wynalazku przedstawiony jest na ry¬ sunku na którym fig. 1 pokazuje schematycznie (rozwiazanie konstirukcyjne uchwytu. Dwa podlo¬ za 1 umieszczone sa na plycie nosnej 2 symet¬ rycznie i nierównolegle wzgledem siebie, a polo¬ zenie ich jest ograniczone przez kolki oporowe 3.

Podloza sa mocowane kolkiem dociskowym 4, majacym mozliwosci przesuwania sie w osi sy¬ metrii podlozy. Kolek 4 jest zamocowany na, znaj¬ dujacym sie pod ^wierzchnia plyty, sworzniu 5, prowadzonym wzdluz swej osi podluznej i docis¬ kanym sprezyna 6. Odmocowanie podlozy odbywa sie przez nacisniecie sworznia 5 i pokonanie sily sprezyny 6. 967593 96759 4 Zaistrzezemi© pa te-n 1ao we Urzadzenie do mocowanie iprostokafcnyich podrozy obwodów sioaloinych szczególnie w celliu preparo- waniia ich w procesach prózniowych, znamienne tym, ze podloza <1) sa ustalone ;na plycie nosnej (2) parami nierównoilegile wzgUedem . siebie przy pomocy elementów oporowych" (3), a mocowanie ich odbywa sie przez element dociskajacy (4) prze¬ suwajacy sie w osi symetrii krawedzi wewnetrz¬ nych pary podlozy (1) pod dzialaniem sprezyny (6) i sworznia <5), przy czym elementy (5) i (6) znajdwija sie po- przeciwnej stronie plyty nosnej (2) niz podloza (1). ftg.l Drukarnia Narodowa Zaklad Nr 6, zam. 128/78 Cena 45 zl