PL96204B1 - Rezystory cienkowarstwowe - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest rezystor cienkowarstwowy o rezystancji od 1 do 20 omów na kwadrat, stosowany w precyzyjnych ukladach pomiarowych i zminiaturyzowanej aparaturze pomiarowo-kontrolnej, opartej na elementach dyskretnych lub mikroelektronicznych scalonych obwodach hybrydowych.Znane z polskiego opisu patentowego patentu tymczasowego nr 84646 rezystory cienkowarstwowe, o rezystancji powierzchniowej od 1 do 3 omów na kwadrat, skladaja sie z podloza izolacyjnego, na którym umieszczona jest warstwa rezystywna ze stopu zlota z chromem. Stop ten ma sklad wagowy od 97% do 90% zlota i od 3% do 10% chromu albo od 2% do 10% zlota i od 98% do 90% chromu.Zasadnicza niedogodnoscia techniczna rezystorów cienkowarstwowych opartych na stopach zlota z chromem jest mala stabilnosc termiczna rezystancji. Parametr ten jest stabilny tylko do temperatury okolo 155°C.Ponadto korekcja wartosci rezystancji gotowych rezystorów moze odbywac sie jedynie metodami mechanicznymi.Istota wynalazku polega na tym, ze warstwe rezystywna rezystora stanowi stop aluminium z tytanem o skladzie wagowym od 10% do 30% aluminium i od 90% do 70% tytanu.Rezystory cienkowarstwowe wedlug wynalazku charakteryzuja sie duza stabilnoscia termiczna rezystancji, wynoszaca ponizej 0,5% na 1000 h/125°C. Parametr ten jest stabilny do temperatury rzedu kilkaset stopni Celsjusza. Wartosc rezystancji rezystorów wedlug wynalazku mozna korygowac metoda utleniania elektrochemicznego.Przedmiot wynalazku jest przedstawiony w przykladach wykonania rezystorów cienKowarstwowych z warstwa rezystywna o róznych skladach wagowych stopu aluminium z tytanem.Przyklad I. Rezystor cienkowarstwowy wedlug wynalazku sklada sie z podloza izolacyjnego, wykonanego ze szkla o malym przewodnictwie jonowym, na którym umieszczona jest warstwa rezystywna o grubosci 100 nm . Warstwe rezystywna stanowi stop aluminium z tytanem o skladzie wagowym 10% aluminium i 90% tytanu. Rezystor ten wykonuje sie metoda odparowania mieszaniny aluminium i tytanu w prózni o cisnieniu 3X 10"5Tr. temperatura podloza wynosi 240°C, a predkosc parowania powyzej 1 nm/s.2 96 204 Tak wykonany rezystor ma rezystancje wlasciwa 260 X 10~8 £2m, temperaturowy wspólczynnik rezystancji w zakresie od — 260 X 10~6/deg do —40 X 10"6/deg. Zmiana rezystancji po starzeniu rezystora w temperaturze 300°C przez 46 godzin wynosi 20%, a stabilnosc termiczna rezystancji wynosi 0,5% na 1000 h/125°C.Przyklad II. Rezystor cienkowarstwowy wedlug wynalazku sklada sie z podloza izolacyjnego, wykonanego ze szkla, na którym umieszczona jest warstwa rezystywna o grubosci 100 nm ze stopu o skladzie wagowym 20% aluminium i 80% tytanu. Rezystor ten wykonano metoda katodowego rozpylania stopu aluminium z tytanem w atmosferze argonu. Tak wykonany rezystor ma rezystancje wlasciwa 120X 10~8 J2rn, temperaturowy wspólczynnik rezystancji w zakresie od —100 X 10"6/deg do +650 X 10~6/deg, w zaleznosci od parametrów procesu rozpylania. Zmiana rezystancji po starzeniu rezystora w temperaturze 300°C przez 46 godzin wynosi 3,5%, a stabilnosc termiczna rezystancji wynosi 0,1% na 1000 h/125°C.Przyklad III. Rezystor cienkowarstwowy wedlug wynalazku sklada sie z podloza izolacyjnego, wykonanego z ceramiki alundowej, na którym umieszczona jest warstwa rezystywna o grubosci 100 nm, ze stopu o skladzie wagowym 30% aluminium i 70% tytanu. Na podloze nanosi sie metoda prózniowa warstwe tytanu, a nastepnie aluminium i calosc wygrzewa sie w temperaturze 400°C przez 5 godzin, w wyniku czego zachodzi calkowita dyfuzja jednej warstwy w druga. Tak wykonany rezystor ma rezystancje wlasciwa 97 X 10~8 firn, temperaturowy wspólczynnik rezystancji w zakresie od 300 X 10"6/deg do 500 X 10"^/deg. Zmiana rezystancji rezystora po starzeniu w temperaturze 300°C przez 46 godzin wynosi 7%. Stabilnosc termiczna rezystancji wynosi 0,2% na 1000 h/125°C. PL

Claims (1)

1. Zastrzezenie patentowe Rezystor cienkowarstwowy, skladajacy sie z podloza izolacyjnego, na którym umieszczona jest warstwa rezystywna, znamienny tym, ze warstwe rezystywna stanowi stop aluminium z tytanem o skladzie wagowym od 10% do 30% aluminium i od 90% do 70% tytanu. Prac. Poligraf. UP PRL naklad 120+18 Cena 45 zl PL