Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie do za¬ mocowywania pretów osadczych w piecu redukcyj¬ nym, do wytwarzania krzemu polikrystalicznego.W procesie wytwarzania krzemu polikrystalicz¬ nego w postaci pretów cylindrycznych przez re¬ dukcje trójchlorosilanu wodorem, stosuje sie osa¬ dzanie polikrysztalu krzemu na osadczych pretach krzemowych ogrzewanych elektrycznie.Z uwagi na periodyczny proces w przestrzeni re¬ akcyjnej stosuje sie kilka pretów osadczych osa¬ dzonych w gniazdach osadczych i laczonych w gór¬ nej czesci preta mostkiem dla zamkniecia przeplywu pradu elektrycznego. Ze wzgledów ekonomicznych procesu w nowoczesnych rozwiazaniach stosuje sie dlugie prety osadcze o malych srednicach, które pozwalaja na zwiekszenie uzysku polikrysztalu krzemu z jednostki masowej preta lub przestrzeni reakcyjnej.Wydluzenie preta osadczego powoduje zmniejsze¬ nie sztywnosci mostka skladajacego sie z dwóch pretów a tym samym zwieksza niebezpieczenstwo prowadzenia procesu na pretach nie ustawionych w pozycji pionowej, co powoduje wzrost odpadów krzemu z uwagi na wymagane tolerancje geome¬ tryczne.W patencie szwajcarskim nr opisu 394136 opisa¬ ny jest sposób i urzadzenie do wytwarzania czyste¬ go krzemu. W konstrukcji tego urzadzenia prety osadcze usytuowane sa w piecu równolegle w sto¬ lo sunku do wlotu strumienia silanów z dysz, przy czym górne konce pojedynczych pretów polaczone sa parami w sposób mechaniczny za pomoca most¬ ków grafitowych.Celem wynalazku bylo znalezienie rozwiazania, które pozwoliloby na zwiekszenie dotychczasowej wydajnosci uzysku krzemu polikrystalicznego z jed¬ nostki produkcyjnej.Stwierdzono, ze cel ten moze byc osiagniety przez wprowadzenie wiekszej ilosci pretów osadczych do pieca redukcyjnego oraz usztywnienie grafitowych polaczen mostkowych, górnych konców pretów o- sadczych za pomoca pierscienia. Zwiekszenie ilosci pretów osadczych w piecu redukcyjnym wedlug wynalazku osiaga sie przez polaczenie z jedna ele¬ ktroda w piecu redukcyjnym ukladu dwóch pre¬ tów osadczych polaczonych belka grafitowa co po¬ zwala na podwojenie dotychczasowej ilosci pretów osadczych.Poszczególne zas uklady pretów laczy sie szere¬ gowo w górnej swej czesci za pomoca mostków grafitowych, a caly zestaw pretów osadczych usz¬ tywnia sie za pomoca pierscienia wykonanego z ma¬ terialu nieprzewodzacego pradu, o duzej czystosci chemicznej, korzystnie z kwarcu. Sam pierscien sprzegajacy wszystkie uklady pretów, a wiec u- sztywniajacy poszczególne dlugie prety, pozwalajac na utrzymanie ich w pozycji pionowej, polaczony jest z mostkami za pomoca znajdujacych sie na 9295992959 3 4 nim wypustów, które wprowadza sie do otworów wykonanych w grafitowych mostkach.Urzadzenie sluzace do zamocowywania dlugich pionowych krzemowych pretów osadczych w piecu redukcyjnym do wytwarzania krzemu polikrysta¬ licznego, sklada sie z elektrod 1, dolnych belek gra¬ fitowych 2, krzemowych pretów osadczych 3, gór¬ nych belek grafitowych 4, z gwintowanymi otwo¬ rami 5, mostków grafitowych 6 z gwintowanymi koncówkami 7, na których znajduja sie otwory 10, pierscienia 8 z materialu nieprzewodzacego prad, korzystnie z kwarcu, z wypustkami 9, wprowa¬ dzanymi do otworów 10.Urzadzenie do zamocowywania pretów osadczych w piecu redukcyjnym dla wytwarzania krzemu po¬ likrystalicznego, wedlug wynalazku przedstawione jest na zalaczonym rysunku, na którym fig. 1 przed¬ stawia przekrój pionowy A—A zamocowania pre¬ tów w ukladzie, fig. 2 rzut z góry zamocowania a fig. 3 przekrój B—B obrazujacy polaczenie most¬ ka z belka. .W rozwiazaniu wedlug wynalazku elektrody 1 laczy sie od dolu poprzez grafitowe belki 2 z dwo¬ ma równoleglymi krzemowymi pretami osadczymi 3, na które od góry naklada sie belki 4 wykonane równiez z grafitu posiadajace nagwintowane otwo¬ ry 5. Dwa sasiadujace z soba uklady pretów osad¬ czych 3 lub pojedyncze prety laczy sie za pomoca mostków 6, wprowadzajac-ich gwintowane konców¬ ki 7 do otworów 5. Nastepnie uklady polaczone mostkami 6 lub pojedyncze prety, dla zwiekszenia ich statycznosci sprzega sie pierscieniem 8 usztyw¬ niajacym caly zestaw krzemowych pretów osad¬ czych 3. Pierscien 8 posiada wypusty 9, które wpro- wadza sie do otworów 10 znajdujacych sie na styku mostków 6 z pierscieniem.Rozwiazanie wedlug wynalazku pozwala na wpro¬ wadzenie wiekszej niz dotychczas ilosci pretów o- sadczych do jednego pieca redukcyjnego o ograni¬ czonej ilosci elektrod, zwiekszajac wydajnosc krze¬ mu polikrystalicznego z jednej jednostki produk¬ cyjnej.Ponadto zastosowanie do laczenia poszczególnych ukladów pretów osadczych pierscienia kwarcowego, pozwala na wyeliminowanie dotychczasowych strat produktu, wynikajacych z nierównoleglego usta¬ wienia pretów osadczych w stosunku do strumie¬ nia gazowych silanów. i pierscienia sprzegajacego (8) z wypustami (9), wykonanego z materialu nieprzewodzacego pradu elektrycznego, korzystnie z kwarcu. 2592959 A-A MsJ. PL