PL90128B1 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- PL90128B1 PL90128B1 PL16828874A PL16828874A PL90128B1 PL 90128 B1 PL90128 B1 PL 90128B1 PL 16828874 A PL16828874 A PL 16828874A PL 16828874 A PL16828874 A PL 16828874A PL 90128 B1 PL90128 B1 PL 90128B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- solid
- carried out
- vacuum
- temperature
- range
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 14
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 7
- 238000004857 zone melting Methods 0.000 claims description 5
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims description 3
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Description
Przedmiotem wynalazku jest sposób oczyszczania cial stalych, zwlaszcza oczyszczonych wstepnie &rz*z topienie strefowe, destylacje prózniowa lub chemicznie.Znany sposób oczyszczania cial stalych, na przyk\aó o ksztalcie preta, oparty na topieniu nr«te^Vfn» polega na tym, ze waska strefe preta nagrzewa sie do stanu cieklego a nastepnie przemieszcza sie zródlo dtepl* tak, ze strefa ciekla przesuwa sie wraz ze zródlem z jednego konca preta do drugiego. Pterwfesfki s&iWtfaer zanieczyszczenia, posiadajace wspólczynniki rozdzialu rózniace sie od jednosci, wedruja wraz zro^opfefia strefa. Przez wielokrotne powtarzanie topienia strefowego w tym samym kierunku uzyskuje sie stopntowywzrost czystosci ciala stalego, z którego jest wykonany pret.Stopien, uzyskanej tym sposobem, czystosci ciala stalego wynosi 10 -10" %.Sposób ten pozwala na oczyszczanie cial stalych zanieczyszczonych pierwiastkami o wspólczynnlkaich rozdzialu róznych od jednosci, przy czym im wspólczynnik rozdzialu jest blizszy jednosci tym mniejszy fest stopien uzyskanejczystosci. ; _ Istota wynalazku polega na tym, ze usuwanie zanieczyszczen z cial stalych przeprowadza sie na drodze termodyfuzji, w prózni lub w atmosferze gazu obojetnego, przez wytworzenie gradientu temperatury o maksy¬ malnej temperaturze w zakresie 0..57-0.99TtOD °K i minimalnej temperaturze w zakreite 0,30 do 0 87TtOD°-K. Gradient temperatury utrzymuje sie przez okres czasu kilku do kilkudziesieciu godwn.lub przemieszcza sie go stopniowo wzdluz ciala stalego z predkoscia mniejsza od 0,1 mm/h. Nastepnie, czesc cala stalego w której zostaly zlokalizowane zanieczyszczenia obcina sie.Proces oczyszczania przeprowadza sie kilkakrotnie w zaleznosci od zadanej czystosci ciaa sta ego.Podstawowa zaleta sposobu wedlug wynalazku jest mozliwosc usuwania zanieczyszczen, równiez w postaci pierwiastków, o wspólczynniku rozdzialu równym Jednosci a takze zblizonym do jednosci. strefoweQO Przeprowadzone próby dla cial stalych, wstepnie oczyszczonych 73 pomoc* topienia strefowego, wykazaly 2 do 25 razy wl9lL, czystosc danego ciala stalego, w zacnosci od iod**i pierwiastka stanow.acego zanieczyszczenie. , .Przez wielokrotne powtórzenie procesu oczyszczania uzyskuje sn? oalszy wzrost <**"**¦ .^^ Ponadto sposób wedlug wynalazku, w obszarze gromadzeni, sie ^.eczyszczerf, pozwaus na wykrywam*2 90128 takich pierwiastków, których zawartosc po oczyszczeniu ciala stalego sposobem topienia strefowego, byla ponizej granicy wykrywalnosci spektrometru masowego.Opisany sposób oczyszczania cial w stanie stalym umozliwia otrzymywanie superczystych metali, pólprze* wodników i dielektryków, co ma zasadnicze znaczenie przy stosowaniu ich w elektronice ciala starego, w badaniach podstawowych oraz przy okreslaniu ich wlasnosci fizycznych.Pólprzewodniki, takie jak na przyklad krzem i german, oczyszczone sposobem wedlug wynalazku posiadaja przewodnictwo zblizone do samoistnego.Wynalazek zostanie szczególowo objasniony w ponizej opisanych przykladach, nie ograniczajacych jego zakresu ochrony.Pr z y klad I. Jedna z plaszczyzn czolowych plytki krzemu o sumarycznej zawartosci zanieczyszczen wynoszacej okolo 20 ppm, o dowolnej powierzchni i o grubosci 6 mm ogrzewa sie do temperatury 1630°K, Druga plaszczyzne czolowa tej plytki chlodzi sie tak, aby temperatura jej wynosila 1100°K. Tak uzyskany gradient temperatury utrzymuje sie przez 30 godzin. Nastepnie, od strony plaszczyzny o temperaturze wyzszej, Obcina sie warstwe plytki o grubosci 1,5 mm. Po oczyszczeniu, sumaryczna zawartosc zanieczyszczen wynosi okolo 2 ppm. Powtarzajac powyzszy proces, uzyskuje sie dalszy wzrost czystosci plytki krzemu.Przyklad II. Plaszczyzne, prostopadla do osi preta, z krzemu o sumarycznej zawartosci zanieczysz^ czen okolo 36 ppm, o srednicy 15 mm i dlugosci 150 mm, odlegla od jednego konca preta o 6 mm, nagrzewa sie do temperatury 1630°K. Nastepnie przesuwa sie zródlo ciepla wzdluz osi preta lub pret wzgledem zródla ciepla z predkoscia 0,05 mm/h, po czym obcina sie koniec preta w którym zlokalizowane zostaly zanieczyszcze- nta. Po dwukrotnym przeprowadzeniu procesu uzyskuje sie sumaryczna zawartosc zanieczyszczen okolo 7 ppm. PL
Claims (2)
- Zastrzezenia patentowe 1. Sposób oczyszczania cial stalych, zwlaszcza wstepnie oczyszczonych przez topienie strefowe, destylacje prózniowa lub chemicznie, znamienny tym, ze usuwanie zanieczyszczen przeprowadza sie na drodze termodyfuzji, w prózni lub w atmosferze gazu obojetnego, przez wytworzenie wciele stalym gradientu temperatury o maksymalnej temperaturze w zakresie 0,57 do 0,99 TtopcK i minimalnej temperaturze w zakresie 0*30 do 0,87 TtQpdK, przy czym gradient temperatury utrzymuje sie przez okres czasu kiiku do kilkudziesieciu godzin lub przemieszcza sie go stopniowo wzdluz ciala stalego z predkoscia mniejsza od 0,1 mm/h, a nastepnie obcina sie czesc ciala stalego, w której zostaly zlokalizowane zanieczyszczenia
- 2. Sposób wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze proces oczyszczania przeprowadza sie kilkakrotnie. Skl-.-Prar Poligraf. UP PRL f Oruk-WOSl „Wspóin' Sprawa Format A4. Naklad 120 + 1b Cena 10 zl. PL
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL16828874A PL90128B1 (pl) | 1974-01-22 | 1974-01-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL16828874A PL90128B1 (pl) | 1974-01-22 | 1974-01-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL90128B1 true PL90128B1 (pl) | 1977-01-31 |
Family
ID=19965803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL16828874A PL90128B1 (pl) | 1974-01-22 | 1974-01-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL90128B1 (pl) |
-
1974
- 1974-01-22 PL PL16828874A patent/PL90128B1/pl unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4040849A (en) | Polycrystalline silicon articles by sintering | |
| Mabuchi et al. | Tensile properties at elevated temperature of W-1% La2O3 | |
| JP2517727B2 (ja) | 半導体製造装置用ステンレス鋼部材の製造方法 | |
| KR910007786B1 (ko) | 개선된 증기상 납땜 방법 | |
| Almeida et al. | Infrared absorption and structure of chlorophosphate glasses | |
| KR100768022B1 (ko) | 탄화규소 및 이의 제조방법 | |
| PL90128B1 (pl) | ||
| Lаkov et al. | Alternative possibilities for application of foamed silicate materials | |
| WO1995005228A1 (en) | Preparation of high purity elements | |
| GB2130192A (en) | Silicon carbide-based molded member for use in semiconductor manufacture | |
| US1081573A (en) | Porous article. | |
| US5630858A (en) | Temperature resistant material, particularly as substitute for asbestos in devices for handling objects of hot glass | |
| PT79303B (fr) | Procede perfectionne pour la recuperation des metaux de materiaux qui contiennent du cuivre | |
| JPH0532458A (ja) | 半導体熱処理装置および半導体熱処理装置用高純度炭化珪素質部材とその製造方法 | |
| Rudolph et al. | Systematic steps towards exactly stoichiometric and uncompensated CdTe Bridgman crystals | |
| FR2292515A1 (fr) | Procede pour purifier les courants d'effluents formes par la pyrolyse d'halogenures metalliques sur des objets de verre chauds | |
| Voigt et al. | Microheterogeneities in infrared optical selenide glasses | |
| Bianchi et al. | Embrittlement of copper by the surface mobility mechanism | |
| Prasad et al. | Tellurium purification: various techniques and limitations | |
| JP2001206724A (ja) | 融成物、特にガラス融成物を取り扱う装置のための構成部分 | |
| CN103555992A (zh) | 一种无铅环保铜基合金棒及其制造方法 | |
| Shimozaki et al. | Interdiffusion coefficient in cu–Zn alloys determined by a volatilization phenomenon of zinc | |
| Chakravorty et al. | Electrical properties of V2O5–P2O5 glasses containing metallic particles | |
| Darwish | Investigation of the durability of sodium calcium aluminum borosilicate glass containing different additives | |
| EP0725978A1 (en) | Quartz glass jig for the heat treatment of silicon wafers and method and device for producing same |