PL88527B1 - - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest wielofunkcyjny stolik go¬ niometryczny, przeznaczony do stosowania w ukladach elipsometrów statycznych i dynamicznych oraz wspektro¬ metrach polaryzacyjnych.W znanych ukladach elipsometrów oraz spektrometrów polaryzacyjnych, stosowane sa stoliki goniometryczne wy¬ posazone w uklad pomiarowy kata obrotu osi stolika oraz uklad poziomujacy. Takie rozwiazania nie zapewniaja mozliwosci precyzyjnego ustawienia i mocowania bada¬ nych próbek, co ma istotne znaczenie szczególnie przy elipsometrach. Ponadto konstrukcja nie zapewnia mozli¬ wosci ruchu liniowego próbki, jak równiez obrotu wzgle¬ dem osi normalnej do jej powierzchni, co jest konieczne przy badaniach wplywów niejednorodnosci oraz anizo¬ tropii.Celem wynalazku jest opracowanie takiego stolika go- niometrycznego, który usunalby powyzsze niedogodnosci oraz zapewnil ruchy liniowe próbki w trzech wzajemnie prostopadlych kierunkach, oraz umozliwil obrót próbki wzgledem osi normalnej do jej powierzchni, niezaleznie od obrotu stolika jako calosci.Cel ten zostalosiagnietyprzez zaprojektowanie uchwytu zamocowanego na kolumnie powyzej stolika przesuwnego i zrównowazonego przeciwwaga, umieszczona na stoliku po drugiej stronie osi obrotu. Kolumna spoczywa na stoli¬ ku przesuwnym i posiada mozliwosc ruchu liniowegowraz z calym uchwytem w plaszczyznie prostopadlej do piono¬ wej osi obrotu.Stolik przedmiotowy ma stolik krzyzowo-obrotowy z podzialka katowa, natomiast uchwytpróbki przeznaczo- ny do mocowania próbek wyposazony jest w dociskacz sprezynowy sluzacy do mocowania próbek badanych.Uchwyt próbki zamocowany jest na przegubie kulistym, który umozliwia dowolne ustawienie badanej próbki. Ta¬ kie rozwiazanie zapewnia mozliwosc badania wplywów niejednorodnosci oraz anizotropii próbki, dzieki czemu rozszerza sie zakres badan elipsometrycznych oraz znacz¬ nie usprawnia procedure ustawiania i mocowania bada¬ nych próbek.Wynalazek zostal pokazany schematycznie na zalaczo¬ nym rysunku, na którym przedstawiono konstrukcje roz¬ wiazania. Wielofunkcyjny stolik goniometryczny sklada sie z kolumny wsporczej 1 zwiazanej z tarcza podzialowa i ukladem odczytowym 2 zapewniajacej ruch obrotowy ukladu, wzgledem osi pionowej stolika goniometrycznego.Na plycie poziomej kolumny wsporczej zamocowano uklad przesuwu poziomego 5 zrównowazony przeciwwaga 4 umozliwiajacy realizacje ruchów próbki w plaszczyznie prostopadlej do osi pionowej wielofunkcyjnego stolika goniometrycznego. Uklad ten sklada sie ze sruby pociago¬ wej i nakretki do której przymocowano kolumne 3 na koncu której usytuowano stolik przedmiotowy. Stolik przedmiotowy 6 ma ruch krzyzowy z podzialka w dwóch wzajemnie prostopadlych kierunkach przytwierdzony do obrotowej tulei 7 z podzialka katowa. Uklad ten gwarantu¬ je ruchy obrotowy i krzyzowy w plaszczyznie równoleglej do osi pionowej stolika goniometrycznego.Na stoliku krzyzowym uchwytu przedmiotowego zamo¬ cowano centralnie uchwyt próbki (holder) 9 za pomoca czopa kulistego 11 w celu stworzenia mozliwosci dodatko- 8852788527 wego ruchu wahadlowego, kulistego próbki w plaszczyznie prostopadlej do osi pionowej wielofunkcyjnego stolika goniometrycznego. Uchwyt ten wyposazony jest w sprezy¬ nowy dociskacz 10 próbki 8. PL

Claims (2)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Wielofunkcyjny stolik goniometryczny, znamienny tym, ze ma stolik przedmiotowy zamocowany powyzej ukladu przesuwu poziomego (5) na kolumnie (3), zrówno¬ wazony przeciwwaga (4) przy czym kolumna (3) polaczona 10 jest z ukladem przesuwu poziomego polaczeniem gwinto¬ wym umozliwiajacym przesuw calego uchwytu w plasz¬ czyznie prostopadlej do pionowej osi obrotu.
2. 2. Wielofunkcyjny stolik goniometryczny wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze stolik przedmiotowy (6) ma ruch krzyzowy i jest przytwierdzony do tulei obrotowej z podzialka katowa (7) oraz uchwyt próbki (9) wyposazony w dociskacz sprezynowy (10) zamocowany na przegubie kulistym (11) umozliwiajacym ruchy kulistebadanej prób¬ ki (8) w plaszczyznie prostopadlej do pionowej osi obrotu wielofunkcyjnego stolika goniometrycznego. 7 6 II d Sklad wykonano w DSP, zam. 6148 Druk w UP PRL, naklad 125 + 20 egz. Cena zl 10,- PL