Przedmiotem wynalazku jest anali¬ zator kwadrupolowego spektrometru mas przeznaczony do analizy gazów w ukladach prózniowych.Stan techniki. W technice wysokiej prózni spektrometry mas stosowane do analizy gazów szczatkowych umozli¬ wiaja okreslanie skladu gazów wydzielanych podczas pro¬ cesów technologicznych.Spektrometry mas skladaja sie z trzech zasadniczych zespolów: ze zródla jonów, analizatora i z kolektora jonów..Istotnym zespolem spektrometru mas jest analizator w którym nastepuje oddzielenie jonów o okreslonym sto¬ sunku masy M do ladunku elektrycznego e.W kwadrupolowymspektrometrzemas jony sa oddzielo¬ ne w wyniku oddzialywania naladowanych czastek prze¬ chodzacych przez wytworzone w analizatorze kwadrupo- lowe pole elektryczne.Analizator kwadrupolowego spektrometru mas sklada sie z czteiech cylindrycznych elektrod wykonanych w po¬ staci pretów rozmieszczonych symetrycznie wokól osi ukladu. Przeciwlegle elektrody polaczone sa elektrycznie ze soba i tworza pary. Elektrody pretowe zasilane sa napieciem zeskladowa stalaizmienna. Napiecie to wytwa¬ rza miedzy elektrodami czterobiegunowepoleelektryczne, które oddzialuje na wprowadzane do analizatora jony.W wyniku tego oddzialywania, przy wlasciwie dobra¬ nych wielkosciach napiecia stalego i zmiennego do zasila¬ nia elektrod pretowych, tylko jony w okreslonymstosunku M/e wyznaczonym tymi wielkosciami przechodza przez obszar analizatora. Jony o innych stosunkachM/ezderzaja sie z elektrodami pretowymi i zostaja usuniete z obszaru analizatora. Jony przechodzace przez analizator docieraja do kolektora jonów. Prad jonowy mierzony w obwodzie kolektora jonów jest proporcjonalny do cisnienia czastko¬ wego gazu o masie M.Jednym z istotnych czynników wplywajacych na para¬ metry kwadrupolowego spektrometru mas jest dokladnosc wykonania elektrod pretowych i ichrozmieszczenia wzgle¬ dem osi analizatora. Dokladnosc wykonania pretów i ich ustawienia jest wymagana rzedu kilku mikrometrów.W znanych rozwiazaniach spektrometrów kwadrupolo- wych odpowiednie ustawienie pretów uzyskuje sie przez mocowanie ich do wewnetrznych powierzchni pierscieni wykonanych z ceramiki lub w otworach wykonanych w plytkach ceramicznych.Inne stosowane sposoby mocowania pretów polegajana umieszczeniu w metalowych krazkach kolków ceramicz¬ nych na które zaklada sie prety analizatora lub na moco¬ waniu pretów do ceramicznych lub szklanych ksztaltek, które sa umieszczonenawewnetrznej powierzchni metalo¬ wej oslony analizatora.Znane sposoby mocowania pretów wymagaja dokladnej obróbki trudno obrabialnej ceramiki lub szkla.Elektrody wprowadzajace jony do obszaru analizatora sa z reguly wykonane w postaci otworów w metalowych podstawach lub w pokrywach analizatorów, jak równiez w postaci oddzielnych elektrod montowanych w zespole zródla jonów. Kierunek wprowadzanych do analizatora jonów ma zasadniczywplyw naparametrykwadrupolowe¬ go spektrometru mas.Cel wynalazku. Celem wynalazku jest umozliwienie 8552885528 osadzenia pretów analizatora kwadrupolowego z doklad¬ noscia do kilku mikrometrów oraz wyeliminowania trud¬ nosci wystepujacych w znanych rozwiazaniach.Istota wynalazku. Wynalazek polega na tym, ze analiza¬ tor kwadrupolowego spektrometru mas zawiera cztery elektrody pretowe umieszczone koncami w dwóch uchwy¬ tach ceramicznych majacych ksztalt krazka ze wspólosio¬ wo wykonanym otworem,orazczteryotworysymetrycznie rozmieszczone wokól osi, w których zamocowane sacztery kolki metalowe o srednicy wiekszej niz obsada pretowej elektrody analizatora. W kolkach, za pomoca maszyny umozliwiajacej uzyskanie podzialki z dokladnoscia do kilku mikrometrów, wykonane sa otwory dla osadzenia " elektrodpretowych. f .Ponadto w otworze umieszczonym w srodku jednego z krazków znajduje sie wejsciowa elektroda wykonana w ksztalcie walca ze wspólosiowym otworem, przez który wprowadzane sa jony analizatora wzdluz jego osi.Przyklad wykonania. Budowe analizatora kwadrupolo¬ wego spektrometru mas wedlug wynalazku wyjasniono w przykladzie wykonania na zalaczonym rysunku, na którym fig. 1 przedstawia przekrój podluzny analizatora, fig. 2 - przekrój poprzeczny analizatora, a fig. 3 - widok z góry uchwytu ceramicznego.Wcylindrycznej oslonie 1 sa umieszczonecztery metalo¬ we pretowe elektrody 2, 3, 4, 5 zamocowane koncami w dwóch uchwytach ceramicznych 6 i 7 wykonanych z materialuizolujacego. ' Wspomniane uchwyty ceramiczne 6 i 7 wspólosiowo maja umieszczone otwory 8 oraz metalowe kolki 9,10,11, 12, w których wykonano otwory do mocowania konców elektrod pretowych.W otworze 8 uchwytu 6 znajduje siecylindryczna meta¬ lowa elektroda wejsciowa 13 z otworem 14 wspólosiowo usytuowanymwzgledemoslony 1 analizatora. Przez otwór 14 jony sa wprowadzane wkwadrupolowe pole wzdluz osi analizatora. PL