PL75632B2 - - Google Patents

Description

Pierwszenstwo:_ Zgloszenie ogloszono: 30.05.1973 Opis patentowy opublikowano: 17.04.1975 75632 KI. 48b,15 00 MKP C23c 15/00 ^Zi Twórcy wynalazku: Marian Lukaszewicz, Michal Tancula, Kazimierz Wieckowski Uprawniony z patentu tymczasowego: Politechnika Wroclawska, Wroclaw (Polska) Sposób wytwarzania cienkiej warstwy platyny Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania cienkiej warstwy platyny o duzym temperaturo¬ wym wspólczynniku rezystancji mogacej znalezc zastosowanie w kontroli sredniej temperatury po¬ wierzchni cial stalych.Znanym sposobem otrzymywania cienkich warstw platyny o duzym temperaturowym wspólczynniku rezystancji jest parowanie w wysokiej prózni albo katodowe rozpylanie w atmosferze gazu chemicznie obojetnego. Po procesie nanoszenia cienka warstwe metalicznej platyny poddaje sie starzeniu w celu poprawienia jej wlasnosci metalicznych. Tempera¬ turowy wspólczynnik rezystancji warstw platyny uzyskiwanych znanymi sposobami nie przekracza wartosci 2,5 10-3 K-2 z czego wynika mala czulosc czujników do pomiaru temperatury z wykorzysta¬ niem cienkiej warstwy platyny.Celem wynalazku jest zwiekszenie temperaturo¬ wego wspólczynnika rezystancji, zas zagadnieniem technicznym wynalazku jest opracowanie sposobu wytwarzania, który doprowadzi do uzyskania cien¬ kiej warstwy platyny o duzej wartosci temperatu¬ rowego wspólczynnika rezystancji.Zagadnienie to zostalo rozwiazane przez nanie¬ sienie platyny w atmosferze gazu reaktywnego przez reaktywne katodowe rozpylanie a nastepnie wygrzanie naniesionej warstwy w temperaturze 800°K—2000°K w czasie od kilkunastu godzin do kilku sekund, najkorzystniej w temperaturze 870 K w czasie 5—30 minut. 10 15 25 2 Zasadnicza korzyscia techniczna wynikajaca ze stosowania sposobu wytwarzania cienkiej warstwy platyny wedlug wynalazku jest uzyskanie duzej wartosci temperaturowego wspólczynnika rezystan¬ cji, a zatem mozliwosc wykonania platynowego czujnika cienkowarstwowego o duzej czulosci.Sposób otrzymywania cienkiej warstwy platyny wedlug wynalazku jest objasniony w przykladach wykonania.Przyklad I. Na podlozu z ceramiki alundowo- cyrkonowej nanosi sie cienka warstwe metoda roz¬ pylania platyny w systemie diodowym w atmosfe¬ rze powietrza. Warunki rozpylania cisnienie powie¬ trza i0_1Tr, prad wyladowania 20 mA, napiecie 1700 V, osiowe pole magnetyczne 4 103A/m. Elek¬ troda z blachy platynowej 50X60X0,2 mm umiesz¬ czona jest w odleglosci 55 mm od podlozy. Szybkosc nanoszenia wynosi 0,25 mm/s, a czas nanoszenia 25 minut. Bezposrednio po napyleniu otrzymuje sie warstwy o rezystancji powierzchniowej 750 /KW i ujemnym temperaturowym wspólczynniku rezy¬ stancji —4 lO^K-1. Warstwy wygrzewa sie w po¬ wietrzu o temperaturze 870°K w ciagu 15 min. Po wygrzaniu rezystancja powierzchniowa wynosi 5,5 /KW, a temperaturowy wspólczynnik rezystancji osiaga dodatnia wartosc 3,5 10-^K-1.Warstwy zabezpiecza sie warstwa SiO o grubo¬ sci 2 m. Po stabilizacji w powietrzu o temperaturze 650 K wykazuja w czasie 150 godzin wygrzewania 75 63275 632 3 w temperaturze 620 K w powietrzu zmiany rezy¬ stancji mniejsze od 0,5%.Przyklad II. Warstwy na tym samym podlozu nanosi sie jak w przykladzie I. Naniesiona warstwe o rezystancji powierzchniowej 750 /KW i tempera¬ turowym wspólczynniku rezystancji —4 10-3 K-1 wygrzewa sie w powietrzu o temperaturze 1800 K w czasie 20 sek. Po wygrzaniu rezystancja po¬ wierzchniowa wynosi 5,8/KW, a temperaturowy wspólczynnik rezystancji osiaga dodatnia wartosc 3 10-3 K-1. 10 PL PL

Claims (1)

1. Zastrzezenie patentowe Sposób wytwarzania cienkiej warstwy platyny o duzym temperaturowym wspólczynniku rezystancji polegajacy na wytworzeniu przez reaktywne kato¬ dowe rozpylanie warstwy platyny na dielektrycz¬ nym podlozu, znamienny tym, ze platyne nanosi sie w atmosferze gazu reaktywnego, a nastepnie naniesiona warstwe poddaje sie wygrzewaniu w temperaturze 800 K—200 K w czasie od kilkunastu do kilku sekund, najkorzystniej w temperaturze 870 K w czasie 5—30 min. ERRATA Lam 4, wiersz 10 Jest: 800 K-200K powinno byc: 800 K- 2 000 K PZG Bydg. zam. 58/75, nakl. 120 egz. Cena 10 zl PL PL