PL64341B1 - - Google Patents

Description

Miedzy elektronowa soczewka 1 i elektro¬ nowym zwierciadlem 2 umieszczony jest stygmator 4 kompensujacy astygmatyzm spowodowany nieosiowym przebiegiem wiazki.lub innymi czynnikami.Poniewaz powiekszenia elektronowej soczewki 1 i i elektronowego zwierciadla 2 zwiazane sa warunkiem kompensacji aberacji sferycznej ukladu, powiekszenie wypadkowe ukladu nie moze byc zmieniane w sposób dowolny. Zmiane wypadkowego powiekszenia ukladu umozliwiaja umieszczone w odmianach ukladu krótko- ogniskowe zespoly o regulowanym powiekszeniu w po¬ staci elektronowego zwierciadla 6 lub elektronowej so¬ czewki 7. PL

Claims (1)

1. Zastrzezenie patentowe Elektronooptyczny uklad odwzorowujacy o powiek- 35 szeniu mniejszym od jednosci ze skorygowana aberacja sferyczna, skladajacy sie z wyrzutni elektronowej, ze¬ spolu optycznego o regulowanym powiekszeniu stygma¬ tora znamienny tym, ze koncowym elementem ukladu, tworzacym obraz rzeczywisty w uzytecznej plaszczyznie 40 obrazowej jest elektronowa soczewka (1) o wspólczynni¬ ku aberacji sferycznej mniejszym od zera, dajaca po¬ wiekszenie liniowe mniejsze od jednosci lub bliskie jed¬ nosci, zas przed elektronowa soczewka (1) umieszczone jest elektronowe zwierciadlo (2) o wspólczynniku abe- 45 racji sferycznej wiekszym od zera, a wielkosc wspól¬ czynników aberacji sferycznej i powiekszenia elektrono¬ wej soczewki (1) i elektronowego zwierciadla (2) sa tak dobrane by doprowadzic do kompensacji aberacji sfe¬ rycznej calego ukladu.KI. 21 g, 37/20 64341 MKPH01j,3/18KI. 21 g, 37/20 64341 MKP H 01 j, 3/18 Cena zl 10.— WDA-l. Zam. 2190, naklad 195 egz. PL