PL61819B1 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
PL61819B1
PL61819B1 PL125601A PL12560168A PL61819B1 PL 61819 B1 PL61819 B1 PL 61819B1 PL 125601 A PL125601 A PL 125601A PL 12560168 A PL12560168 A PL 12560168A PL 61819 B1 PL61819 B1 PL 61819B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
furnace
chamber
electron gun
cathode
ring
Prior art date
Application number
PL125601A
Other languages
English (en)
Inventor
Barwicz Wieslaw
Pietrzak Czeslaw
Original Assignee
Przemyslowy Instytut Elektroniki
Filing date
Publication date
Application filed by Przemyslowy Instytut Elektroniki filed Critical Przemyslowy Instytut Elektroniki
Publication of PL61819B1 publication Critical patent/PL61819B1/pl

Links

Description

Pierwszenstwo: Opublikowano: 20.XI.1970 i 61819 KI. 21 h,16/60 MKP H 05 b, 11/00 Wspóltwórcy wynalazku: Wieslaw Barwicz, Czeslaw Pietrzak Wlasciciel patentu: Przemyslowy Instytut Elektroniki, Warszawa (Pol¬ ska) Elektronowy piec do spawania i topienia metali Przedmiotem wynalazku jest elektronowe urza¬ dzenie do spawania lub topienia metali za pomoca wiazki elektronów.Urzadzenia tego rodzaju znane w technice pod nazwa pieców elektronowych sa zaopatrzone w wy¬ rzutnie elektronowa osadzona w hermetycznej obu¬ dowie w ten siposób, ze emituje ona wzdluz osi ukladu elektronooptycznego wiazke elektronowa.Elektrony wiazki uderzaja z duza predkoscia w obrabiany metal umieszczony najczesciej na drodze wiazki w tej samej obudowie Pod wplywem duzej energii elektronów metal zo¬ staje rozgrzany do temperatury topnienia. W ten sposób zaleznie od sposobu przeprowadzenia proce¬ su, a zwlaszcza czasu i energii, z jaka elektrony wiazki uderzaja w obrabiany metal, mozna spawac luib przetapiac 'metale.W celu uzyskania prawidlowego przebiegu pro¬ cesu /spawania lub topienia metali nalezy wypom¬ powac powietrze z przestrzeni miedzy wyrzutnia elektronowa i obrabianym metalem. Uzyskuje sie to za pomoca ukladu pomp prózniowych dolaczonych z zewnatrz do obudowy pieca, Lktóce zapewniaja uzyskanie wystarczajaco wysokiej prózni.Jednakze nawet przy najstaranniejszyim odpom- powaniu w komorze pieca pozostaja resztki (powie¬ trza, a poza tym podczas topienia sie metali wy¬ dzielaja sie gazy, które podobnie jak i -zjonizowane czastki powietrza nie wypompowanego moga od¬ dzialywac niszczaco na rozgrzana termokatode.'W celu unikniecia skutków niszczacego oddzialy¬ wania zjonizowanych gazów na katode stosuje sie rózne konstrukcje zabezpieczajace, na przyklad w niektórych rozwiazaniach zamiast jednej komory 5 wspólnej idla wyrzutni elektronowej i metalu ob¬ rabianego stosuje sie dwie, a nawet trzy komory oddzielone od siebie przeslonami ustawionymi na drodze przeplywu wiazki, przy czym w kazdej prze¬ slonie wykonuje sie niewielki otworek, umozliwia¬ lo jacy przeplyw wiazki elektronowej od wyrzutni elektronowej do przedmiotu obrabianego. Przeslony umieszcza sie w poblizu soczewek elektromagne¬ tycznych iskupiajacych wiazki elektronów, co umoz¬ liwia przejscie wiazek przez male otworki w prze- 15 slonach.!W takich irozwiazaniach stosuje sie dwa lub trzy zespoly pomp prózniowych dolaczonych z zewnatrz do kazdej z tych komór, utrzymujace niskie cisnie¬ nie prawie niezaleznie w kazdej komorze. 20 w znanych rozwiazaniach pompy prózniowe umieszcza sie na konstrukcji wsporczej ustawionej obok urzadzenia. Do prawidlowej pracy pompy prózniowe oraz niektóre zespoly pieca, jak na przy¬ klad anoda, wymagaja chlodzenia woda, która do- 25 prowadza sie do poszczególnych zespolów chlodzo¬ nych rurami lub Wezem gumowym z centralnego rozdzielacza, umieszczonego, zwylkle obok konstruk¬ cji pieca, co ma te niedogodnosc, ze dlugie prze¬ wody wodne komplikuja konstrukcje i przeszka- 30 dzaja w obsludze pieca* 61819 \61819 W procesach obróbki metali w piecu elektrono¬ wym zachodzi czesto potrzeba otwarcia komory roboczej, w której jest umieszczony obrabiany przedmiot, na przyklad w celu wymiany wsadu czy (tez przedmiotu obrabianego, co powoduje prze¬ dostawanie sie powietrza atmosferycznego do wne¬ trza tej komory. W cefliu zabezpieczenia pozostalych komor, a zwlaszcza komory zawierajacej wyrzutnie elektronowa, przed przedostawaniem sie powietrza podczas otwarcia komory roboczej pieca stosuje sie zawory wykonane zwykle w postaci zasuwy ste¬ rowanej recznie iLujb mechanicznie, zamykajacej otwór w przeslonie oddzielajacej komore robocza od wyrzutni elektronowej. Podczas pracy pieca stosun¬ kowo duzy otwór w przeslonie umozliwia swobod¬ ny przeplyw wiazki elektronowej, natomiast dla re¬ sztek gazów usilujacych przedostac sie z komory roboczej do komory wyrzutni elektronowej jest on otworem dlawiacym. Jecjmakze w przypadku, gdy cisnienie gazów w komorze, w której znajduje sie obrabiany przedmiot, przekracza dopuszczalne gra¬ nice, jak równiez wówczas, gdy katoda przestaje emitowac, duza ilosc powstalych i zjonrzowanych w polu wysokiego napiecia czasteczek gazów moze przedostac sie do komory wyrzutni''elektronowej i uszkodzic rozgrzana katode.Azeby tego uniknac, zasuwa powinna zamykac otwór'w przeslonie natychmiast po wylaczeniu na¬ piecia przyspieszajacego elektrony wiazka.Wczesniejsze zamkniecie zasuwy przed ustaniem przeplywu wiazki moze prowadzic do przetopienia zasuwy.Przy recznym, a nawet mechanicznym napedzie zasuwy wlasciwy moment zamkniecia otworu jest niemoefliwy do (ustalenia.Stosowanie * przeslon, zaopatrzonych w male otworki do oddzielenia poszczególnych komór pieca elktronowego, wymaga bardzo dokladnego ustawie¬ nia osi wyrzutni elektronowej wzgledem otworków w przeslonach oraz dokladnego przestrzegania wy¬ miarów wiazki elektronowej w plaszczyznie kazdej przeslony, gdyz w przeciwnym razie czesc wiazki elektronów, padajaca na przeslone moze ja uszko¬ dzic.W celu skupienia wiazki elekronowej przyklada sie odpowiednio dobrane potencjaly do poszczegól¬ nych przeslon na drodze wiazki, a obok przeslon umieszcza sie soczewki elektromagnetyczne skupia¬ jace wiazke elektronów, a ponadto katode albo cala wyrzutnie elektronowa umieszcza sie w urzadzeniu umozliwiajacym regulacje odleglosci od anody, na przyklad w niektórych znanych konstrukcjach do umocowania wyrzutni elektronowej na obudowie pieca stosuje sie mieszki elastyczne, które jedynie umozliwiaja przesuwanie umocowanej wewnatrz mieszka katody, lub calej wyrzutni elektronowej, wzdluz osi urzadzenia, a tym samym umozliwiaja regulacje odleglosci 'miedzy katoda wyrzutni elek¬ tronowej i nieruchoma anoda umocowana w kor¬ pusie pieca.Dazeniem konstruktorów pieców elektronowych jest uzyskanie wiazki o duzej gestosci mocy i o równomiernym rozkladzie elektronów w przekroju wiazki. W tym celu katody wyrzutni elektronowych wykonuje sie z materialów o duzym wspólczynni¬ ku emisji oraz dazy sie do Uzyskania z katody po¬ mocniczej wiazki elektronowej o równomiernym rozkladzie elektronów i o odpowiednim rozkladzie gestosci mocy. 5 Na przyklad w znanych urzadzeniach katody po¬ mocnicze buduje sie w ksztalcie spirali plaskich lub stozkowych albo nadaje im sie ksztalty wal¬ ców. Wada tych konstrukcji jest trudnosc .uzyskania ¦ równomiernego rozkladu temperatur wzdluz calej 10 katody i mozliwosc zwisu zwojów katody po roz¬ grzaniu pod wplywem wlasnego ciezaru, co utrud¬ nia uzyskanie jednorodnej^ wiazki elektronowej.Oelem wynalazku jest uzyskanie latwego w ob¬ sludze pieca elektronowego odznaczajacego sie rów- ]5 nomierna wiazka elektronowa o duzej gestosci emisji oraz zmniejszenie mozliwosci /niszczacego dzialania tej wiazki na elementy wyrzutni elektro- .'¦¦ nowej, na przyklad na anode, a w przypadku uszkodzenia anody umozliwienie latwej jej wymia¬ ny, jak tez unikniecie innych niedogodnosci wy¬ stepujacych w znanych konstrukcjach pieców elek¬ tronowych.Cel ten osiagnieto wedlug wynalazku przez opira- ,. cowanie konstrukcji elektronowego^pieca przezna- 25 czónelgó do spawania lub topienia metali skladaja¬ cego sie z dwóch komór prózniowych, z których jedna zawiera wyrzutnie elektronowa, a druga — obrabiany przedmiot, polegajacej na tym, ze kato¬ de wyrzutni elektronowej i katode pomocnicza 30 umieszczono wewnatrz zamknietego walca, którego powierzchnie boczna tworzy mieszek przymocowa¬ ny brzegiem do pierscienia osadzonego na korpusie pieca, a na zewnatrz mieszka znajduje sie urzadze¬ nie do korygowania i centrowania polozenia kato¬ dy, przy czym pomocniczej katodzie wyrzutni elek¬ tronowej nadano ksztalt okraglej wypuklej spirali zlozonej z dwóch uzwojen, których zwoje wzdluz calej dlugosci sa ulozone równolegle wzgledem sie¬ bie i. zlaczone koncami lezacymi w srodku spirali, a anode wykonano z dwóch czesci, z których jedna 40 w ksztalcie pierscienia nagwintowanego na zew¬ netrznej powierzchni jest wkrecona w korpus ko¬ mory wyrtznitni, a druga, w ksztalcie tulejki z kali* browanym otworem na koncu ma srednice zew-*- netrzna dokladnie dopasowana do srednicy wew¬ netrznej pierscienia i jest wcisnieta jednym kon¬ cem w czesc o ksztalcie pierscienia w ten sposób, ze nie wcisniety koniec tulejki zaopatrzony w kali¬ browany otwór skierowany jest w kierunku kato¬ dy wyrzutni elektronowej, przy czym anoda od- 50 dziela komore zawierajaca obrabiany przedmiot od komory wyrzutni elektronowej, w której w poblizu pomocniczej katody jest umocowany czujnik próz¬ ni sprzezony z umieszczona ponizej komory wy¬ rzutni elektronowej zasuwa odcinajaca komore wy- 55 rzutni elektronowej w przypadku pogarszania sie prózni w tej *komorze, a ponadto piec jest zaopa¬ trzony w dwa zeicpoly pomp prózniowych, z któ¬ rych jeden jest dolaczony do komory wyrzutni elektronowej, a drugi do komory zawierajacej ob- 60 rabiany przedmiot, a poza tym piec jest ustawiony na konsoli wcpantej na rurze doprowadzajacej wo¬ de chlodzaca do koszulek wodnych w obudowie pieca i w obudowach pomp prózniowych lub wspar¬ tej na rurze odprowadzajacej wode chlodzaca Lub 65 na obydwóch tych rurach, a zespoly pomp próznio- /61819 15 20 wych sa zawieszone na konstrukcjach wsporczych zamocowanych bezposrednio na rurze doprowadza¬ jacej wode chlodzaca oraz na mirze odprowadzaja¬ cej wode chlodzaca z koszulek wodnych obudowy pieca i prózniowychpomp. 5 Urzadzenie do korygowania i centrowania poloze¬ nia katody* umieszczone na zewnatrz mieszka elas¬ tycznego sklada sie z dwóch plaskich pierscieni, z których jeden jest osadzony przesuwnie na kor¬ pusie urzadzenia, a drugi, korygujacy, jest przymo- cowany do pierscienia przesuwanego za pomoca nagwintowanych wsporników rozmieszczonych na jego obwodzie. Wysokosc wsporników jest tak do¬ brana, ze pierscien korygujacy obejmuje górna czesc mieszka, w którym (umocowany jest zespól wyrzut¬ ni. Przez pokrecanie nakretek na wspornikach moz¬ na regulowac kat nachylenia katody wzgledem osi urzadzenia oraz jej odleglosc od anody przyspie¬ szajacej. Za pomoca wkretów umieszczonych w bocznej scianie komory wyrzutni elektronowej re¬ guluje sie polozenie pierscienia, który wywiera nacisk na dolna czesc mieszka i powoduje przesu¬ niecie osi elektronooptycznej wyrzutni elektrono¬ wej równolegle do osi urzadzenia. W ten sposób mozna regulowac polozenie katody wzgledem ano¬ dy wzdluz trzech osi ukladu przestrzennego oraz regulowac kat nachylenia katody . wzgledem osi urzadzenia.Katode pomocnicza w urzadzeniu wedlug wyna¬ lazku wykonano w ksztalcie okraglej, wypuklej spirali, przy czym sklada sie ona z dwóch spiral- 30 nych uzwojen, których zwoje wzdluz calej dlu¬ gosci ulozone sa równolegle wzgledem siebie, a wewnetrzne konce spirali, znajdujace sie w srod¬ kowej czesci katody, sa ze soba zlaczone.Katoda pomocnicza wedlug wynalazku odznacza 35 sie duza sztywnoscia konstrukcji i mala podatnos¬ cia na zwis pod wplywem wlasnego ciezaru, a przy tym dwie spirale ulatwiaja uzyskanie równomier¬ nego rozkladu potencjalu napiecia, a zaitem rów¬ nomiernego rozkladu temperatury na katodzie, i 40 tworza powierzchnie umozliwiajaca uzyskanie wiazki elektroriowej o duzej gestosci emisji.Dzieki takiej konstrukcji katoda wedlug wyna¬ lazku pozbawiona jest wad, jakie wystepuja w zna¬ nych konstrukcjach katod stosowanych w urzadze- 45 niach z wiazka elektronowa.W urzadzeniu wedlug wynalazku anoda wykonana jest z dwóch czesci, z których jedna, w ksztalcie pierscienia nagwintowanego na zewnetrznej po¬ wierzchni, wkrecona jest w korpus urzadzenia, a 50 druga, w ksztalcie tulejki o kalibrowanym otwo¬ rze na koncu, wcisnieta jest drugim koncem w czesc o ksztalcie pierscienia w ten sposób,' ze nie wcis¬ niety koniec tulejki zaopatrzony w kalibrowany otwór jest skierowany w .strone katody. Wiazka 55 elektronowa z katody przeplywa przez otwór w tulejce, a w przypadku rozogniskowania wiazki lub niedokladnego ustawienia katody w osi wyrzutni elektronowej ulega uszkodzeniu jedynie latwo wy¬ mienna tulska anody, dostepna po odjeciu piers- «0 cienia, na którym osadzony jest mieszek wraz z umieszczona w nim katoda pomocnicza i katoda wlasciwa^ 00 umozliwia latwy dostep do komory wyrzutni elektronowej pieca i pozwala na latwa wymiane uszkodzonej anody albo na poprawienie 65 zamocowania katody lub dokonanie innych zabie¬ gów. W tym celu pierscien na korpusie pieca jest ulozony na pró&nioszczelnej uszczelce i przymoco¬ wany do korpusu set pomoca kilku wkretów.W komorze polozonej ponizej anody umieszczono zasuwe sprzezona z czujnikiem prózni, którego son¬ da jest umocowana w komorze wyrzutni elektrono¬ wej. W przypadku wzrostu cisnienia w komorze wyrzutni elektronowej zasuwa, której naped uru¬ chamiany jest automatycznie przez czujnik próz¬ ni, odcina komore przedmiotu obrabianego od ko¬ mory wyrzutni elektronowej. -Zasuwa jest zaopa¬ trzona w wyiajc&iik, który równoczesnie z zamknie¬ ciem komory wyrzutni elektronowej odlacza wy¬ sokie napiecie zasilajace wyrzutnie elektronowa, a tym samym przerywa przeplyw wiazki elektro¬ nowej i zapobiega zniszczeniu zasuwy.Konstrukcja pieca wedlug wynalazku bedzie wy¬ jasniona blizej na podstawie rysunku, na którym fig. 1 przedstawia pdec w przekroju, fig. 2 — urza¬ dzenie do centrowania i korygowania polozenia ka¬ tody oraz sposób zamocowania mieszka, fig. 3 — konstrukcje katody .pomocniczej, a fig. 4 — kon¬ strukcje anody.Mieszek 1 jest przymocowany do pierscienia 2 osadzonego na korpusie 3 komory wyrzutni elek¬ tronowej. Na zewnatrz mieszka 1 osadzony jest przesuwny pierscien 4, do którego przymocowane sa nagwintowane wsporniki 5. Na wspornikach 5 spoczywa korygujacy pierscien 6, obejmujacy gór¬ ne czesc mieszka i.Nakretki 7 sluza do ustalania polozenia pierscie¬ nia 6, który wywiera nacisk na górna czesc miesz¬ ka 1 i tym .samym ustala polozenie katody 8 po¬ laczonej na stale z pierscieniem korygujacym 6.Wkrety 9 sluza do ustalania polozenia przesuwne¬ go pierscienia 4, umozliwiajacego korekcje poloze¬ nia katody 8 wzgledem anody.Wewnatrz mieszka 1 oprócz katody 8 umocowana jest pomocnicza katoda 10 o ksztalcie spirali stoz¬ kowej zlozonej z dwóch równoleglych uzwojen.Wiazka elektronowa 11 emitowana przez katode 8 przeplywa przez otworek 12 w tulejce 13, stano¬ wiacej górna czesc lanody wsunieta w pierscien 14. stanowiacy dolna czesc anody. Pierscien 14 jest nagwintowany na zewnetrznej powierzchni i wkre¬ cony w korpus 3 urzadzenia.IPonizej anody znajduje sie zespól soczewek 15 skupiajacych wiazke elektronowa U i komora 16, której wylot jest zamykany zasuwa 17 napedzana napedem 18, uruchamianym przez czujnik prózni 19, którego sonda jest umieszczona w komorze wy¬ rzutni elektronowej w poblizu katody 8. (Przedmiot obraibiany 20, na który pada wiazka elektronów 11, umieszczony jest w uchwycie 21.Anoda pieca elektronowego oraz czesc korpusu,, przez który przeplywa wiazka elektronów, sa chlo¬ dzone woda. W tym celu w korpusie pieca przewi¬ dziano koszulki wodne 22. Poza (tym z piecem elek¬ tronowym wspólpracuje zespól pomp prózniowych,, do których równiez doprowadza sie wode chlo¬ dzaca.W urzadzeniu wedlug wynalazku zastosowano dwa zespoly pomp prózniowych 24 i 25, z których jeden 24 jest dolaczony do komory wyrzutni elek-61819 7 tronowe}, a drugi 25 dolaczany jest do komory za¬ wierajacej dorabiany przedmiot Piec elektronowy jest 'umieszczony ma konsoli 23 wspartej na mrze 26, doprowadzajacej wode chlodzaca do koszulek wodnych w obudowie pieca i w obudowie pomp 5 prózniowych, oraz na rurze 27, odprowadzajacej wode chlodzaca. Zespoly pomp 24 i 25 zawieszono na konstrukcjach wsporczych zamocowanych bez¬ posrednio na rurze 26 doprowadzajacej 1 rurze 27 odprowadzajacej wode, chlodzaca, co umozliwia io znaczne skrócenie i uproszczenie konstrukcji prze¬ wodów wodnych.Rura 26 doprowadzajaca wode jest zaopatrzona w zawory 28 umozliwiajace regulacje doplywu wo¬ dy chlodzacej do (poszczególnych zespolów urza- 15 dzenia* a rura 27 odprowadzajaca wode zaopatrzo- na jest w czujniki 29 reagujace na obecnosc wody uruchamiajace sygnal optyczny 30 i akustyczny 31 w przypadku braiku lub zaniku wody chlodzacej w krtóiymkolwiek z zespolów chlodzonych. 2'o PL PL

Claims (4)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Elektronowy piec do spawania i topienia metali, skladajacy sie z dwóch komór prózniowych, z któ- 25 rych jedna zawiera wyrzutnie elektronowa, a druga obrabiany przedmiot, znamienny tym, ze katoda <8) wyrzutni elektronowej i katoda pomocnicza (10) umieszczone sa wewnaitrz zamknietego walca, które¬ go powierzchnie boczna tworzy mieszek (1) przy- so mocowany brzegiem do pierscienia (2) osadzonego na korpusie pieca, a na zewnatrz mieszka (1) znaj¬ duje sie urzadzenie do korygowania i cenitrowania polozenia katody (8), przy czyni pomocnicza katoda (10) wyrzutni elektronowej ma ksztalt okraglej 35 wypuklej spirali zlozonej z dwóch uzwojen, których zwoje wzdluz calej dlugosci sa ulozone równolegle wzgledem siebie i zlaczone koncami lezacymi w srodku spirali, a anoda wykonana jest z dwóch czesci (13 i 14), z których jedna, w ksztalcie piers- 43 cienia (14) nagwintowanego na zewnetrznej po¬ wierzchni, jest wkrecona w korpus (3) komory wy¬ rzutni, a druga, w ksztalcie tulejki (13) z kalibro¬ wanym, otworem na koncu, ma srednice zewnetrz¬ na dokladnie dopasowana do srednicy wewnetrznej 45 pierscienia w czesc o ksztalcie pierscienia (14) w ten sposób, ze nie wcisniety koniec tulejki (13) zaopatrzony w kalibrowany otwór skierowany jest w kierunku katody (8) wyrzutni elektronowej, przy czym ano- 50 8 da oddziela komore zawierajaca obrabiany przed¬ miot od komory wyrzutni elektronowej, w ktcrej w poblizu pomocniczej katody umocowany jest czuj¬ nik (19) prózni sprzezony z umieszczona ponizej komory wyrzutni elektronowej zasuwa (17) odci¬ najaca komore wyrzutni elektronowej w przypadku pogorszenia sie prózni, a ponadto piec jest zaopa¬ trzony w dwa zespoly pomp prózniowych (24 i 25), z których jeden.(24) jest dolaczony do komory wy¬ rzutni elektronowej, a drugi (25) do komory za¬ wierajacej obrabiany przedmiot, a poza tym piec jest ustawiony na konsoli (23) wspartej, na rurze (26) doprowadzajacej wode chlodzaca do koszulek wodnych w obudowie pieca i w obudowach pomp prózniowych lub wspartej na rurze (27) odprowa¬ dzajacej wode chlodzaca lub na obydwóch tych ru¬ rach, a zespoly pomp (24 i 25) prózniowych sa za¬ wieszone na konstrukcjach wsporczych zamocowa¬ nych bezposrednio - na rurze (26) doprowadzajacej wode chlodzaca oraz na rurze (27) odprowadzajacej wode chlodzaca z koszulek wodnych obudowy pie¬ ca i pomp prózniowych (24 i 2S).
2. Elektronowy piec wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze urzadzenie do korygowania i centrowania polozenia katody jest -zlozone z dwóch plaskich pierscieni (4 i 6), z których jeden <4) osadzony przesuwnie na korpusie (3) komory wyrzutni elek¬ tronowej w ten sposób, ze obejmuje dolna czesc mieszka (1) jest przesuwany za pomoca wkretów (9), wkreconych, w boczna scianke korpusu (3), a drugi, korygujacy pierscien (6) przymocowany jest do pierscienia pnzesuwanegio (4) za pomoca roz¬ mieszczonych na jego obudowie wsporników , (5), których wysokosc jest tak dobrana, ze korygujacy pierscien (6) obejmuje mieszek (1) w. jego górnej czesci.
3. ^ Elektronowy piec wedlug zastrz. 1 i 2, zna¬ mienny tym, ze zasuwa (17) ma naped sterowany przez urzadzenie pomiarowe prózni i jest zaopa¬ trzona w wylacznik odlaczajacy wysokie napiecie zasilajace anode wyrzutni elektronowej równoczes¬ nie z. zamknieciem komory wyrzutni.
4. Elektronowy piec wedlug zastrz. 1, 2 i 3, zna¬ mienny tym, ze rura (26) doprowadzajaca wode chlodzaca, jest zaopatrzona w zawór (28) umozli¬ wiajacy regulacje doplywu wody, a rura (27) odpro¬ wadzajaca wode chlodzaca jest zaopatrzona w czuj¬ nik (29) reagujacy na obecnosc wody, uruchamiaja¬ cy sygnal optyczny (30) i akustyczny (31) w przy¬ padku braku lub zaniku wody chlodzacej.KI. 21 h,16/60 61819 MKP H 05 b, 11/00 . 7777777777777777777777777777777m777777777777777777777777777777777777777t figiKI. 21 h, 16/60 61819 MKP H 05 b, 11/00 *' ZG „Ruch" W-wa, zam. 1179-70 nakl. 250 egz. PL PL
PL125601A 1968-03-04 PL61819B1 (pl)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL61819B1 true PL61819B1 (pl) 1970-10-25

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2023410C (en) Device for generating x-radiation with a plasma source
US7488962B2 (en) Arrangement for the generation of intensive short-wavelength radiation based on a gas discharge plasma
DK0784417T3 (da) Plasmaaccelerator med lukket elektronstrøm
US2807506A (en) Gas-discharge nozzle for use in furnaces
PL61819B1 (pl)
ES8306307A1 (es) Un tubo acelerador de neutrones
EP0957402A3 (en) Lithographic device
US10222287B2 (en) Cold cathode ionization gauge and cold cathode ionization gauge cartridge
CN112628099A (zh) 一种高功率离子推力器羽流屏蔽外壳及其制作方法
RU2555264C1 (ru) Узел катода магнетронного распылителя
US3949230A (en) Ion beam source
JPH06162979A (ja) 磁界界浸型電子銃
JP2008053116A (ja) イオンガン、及び成膜装置
RU2280709C2 (ru) Установка для нанесения покрытий
US3614510A (en) Nonthermionic cathode discharge devices
KR20170069969A (ko) 오존 공급 장치, 오존 공급 방법, 및 하전 입자빔 묘화 시스템
JPH0498746A (ja) 荷電粒子線装置
RU2296038C2 (ru) Электронно-лучевая установка
US20240212969A1 (en) Charged particle optical system and charged particle apparatus
SU1647697A1 (ru) Газоразр дна электронна пушка дл термообработки цилиндрических изделий
RU2740146C1 (ru) Ионный источник (ионная пушка)
UA93625C2 (uk) Газорозрядна електронна гармата
JP4228187B2 (ja) 電子ビーム照射装置
CN205464690U (zh) 氢气高频钎焊防爆装置
SU1712984A1 (ru) Выносной анод рентгеновской трубки