Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Elektronowej
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii ElektronowejfiledCriticalSieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Elektronowej
Priority to PL435019ApriorityCriticalpatent/PL241027B1/en
Publication of PL435019A1publicationCriticalpatent/PL435019A1/en
Publication of PL241027B1publicationCriticalpatent/PL241027B1/en
Przedmiotem wynalazku jest złożona struktura półprzewodnikowa, zwłaszcza struktura tranzystora mocy. Struktura posiada podłoże, w postaci objętościowego monokrystalicznego azotku galu, które pokryte jest na jednej ze stron warstwami epitaksjalnymi. W strukturze tej przez podłoże (1), i przez warstwy epitaksjalne (2) przechodzi co najmniej jeden otwór przelotowy. Na powierzchni warstwy epitaksjalnej (2) może znajdować się element aktywny (3), element bierny, ścieżka przewodząca (4) lub układ elektroniczny złożony z wielu elementów aktywnych i biernych połączonych ścieżkami przewodzącymi.The invention relates to a complex semiconductor structure, in particular a power transistor structure. The structure has a substrate in the form of bulk monocrystalline gallium nitride, which is covered on one side with epitaxial layers. In this structure, at least one through-hole passes through the substrate (1) and through the epitaxial layers (2). On the surface of the epitaxial layer (2) there may be an active element (3), a passive element, a conducting track (4) or an electronic circuit composed of a number of active and passive elements connected by conducting tracks.
INTEGRATED CIRCUITS (ICs) EMPLOYING FRONT SIDE (FS) BACK END-OF-LINE (BEOL) INPUT/OUTPUT (I/O) ROUTING AND BACK SIDE (BS) BEOL (BS-BEOL) POWER ROUTING FOR CURRENT FLOW ORGANIZATION, AND RELATED METHODS
Complementary metal oxide semiconductor (mos) (cmos) standard cell circuits employing metal lines in a first metal layer used for routing, and related methods