PL423539A1 - Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro- i nanoskali z ostrzem diamentowym - Google Patents
Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro- i nanoskali z ostrzem diamentowymInfo
- Publication number
- PL423539A1 PL423539A1 PL423539A PL42353917A PL423539A1 PL 423539 A1 PL423539 A1 PL 423539A1 PL 423539 A PL423539 A PL 423539A PL 42353917 A PL42353917 A PL 42353917A PL 423539 A1 PL423539 A1 PL 423539A1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- micro
- diamond
- grain
- chamber
- fib device
- Prior art date
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Abstract
Przedmiotem zgłoszenia jest sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro- i nanoskali, w którym wykonuje się płaską belkę (4) z półprzewodnika lub metalu, który zawiera następujące etapy: umieszczenia płaskiej belki (4) oraz proszku składającego się z mikroziaren diamentu w komorze urządzenia FIB; przymocowania igły manipulatora w komorze urządzenia FIB do wybranego mikroziarna diamentu za pomocą metalicznej spoiny; przetransportowania tego mikroziarna diamentu do krawędzi płaskiej belki (4) na swobodnym jej końcu, od strony skanującej materiał badany sondą, przy użyciu manipulatora w komorze urządzenia FIB; połączenia mikroziarna diamentu z belką (4) poprzez nałożenie metalicznej spoiny w miejscu styku belki (4) i jednej z powierzchni bocznych mikroziarna diamentu w komorze urządzenia FIB; odcięcie igły manipulatora od mikroziarna diamentu przy użyciu zogniskowanej wiązki jonów; ukształtowanie mikroziarna diamentu w postaci ostrosłupa lub stożka (7) oraz precyzyjne ostrzenie wierzchołka (8) ukształtowanego mikroziarna diamentu do rozmiarów nanometrowych przy użyciu zogniskowanej wiązki jonów.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PL423539A PL234013B1 (pl) | 2017-11-22 | 2017-11-22 | Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro-i nanoskali z ostrzem diamentowym |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PL423539A PL234013B1 (pl) | 2017-11-22 | 2017-11-22 | Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro-i nanoskali z ostrzem diamentowym |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
PL423539A1 true PL423539A1 (pl) | 2019-06-03 |
PL234013B1 PL234013B1 (pl) | 2019-12-31 |
Family
ID=66649205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PL423539A PL234013B1 (pl) | 2017-11-22 | 2017-11-22 | Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro-i nanoskali z ostrzem diamentowym |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
PL (1) | PL234013B1 (pl) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050247886A1 (en) * | 2004-05-04 | 2005-11-10 | Shixin Wang | Lift-out probe having an extension tip, methods of making and using, and analytical instruments employing same |
WO2009086534A1 (en) * | 2007-12-28 | 2009-07-09 | Veeco Instruments Inc. | Method of fabricating a probe device for a metrology instrument and probe device produced thereby |
US20100138964A1 (en) * | 2008-11-26 | 2010-06-03 | The Regents Of The University Of California | Probes for enhanced magnetic force microscopy resolution |
JP2010276617A (ja) * | 2010-08-31 | 2010-12-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | プローブの作製方法およびプローブ、ならびに走査プローブ顕微鏡 |
-
2017
- 2017-11-22 PL PL423539A patent/PL234013B1/pl unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050247886A1 (en) * | 2004-05-04 | 2005-11-10 | Shixin Wang | Lift-out probe having an extension tip, methods of making and using, and analytical instruments employing same |
WO2009086534A1 (en) * | 2007-12-28 | 2009-07-09 | Veeco Instruments Inc. | Method of fabricating a probe device for a metrology instrument and probe device produced thereby |
US20100138964A1 (en) * | 2008-11-26 | 2010-06-03 | The Regents Of The University Of California | Probes for enhanced magnetic force microscopy resolution |
JP2010276617A (ja) * | 2010-08-31 | 2010-12-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | プローブの作製方法およびプローブ、ならびに走査プローブ顕微鏡 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
PL234013B1 (pl) | 2019-12-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Hosseinian et al. | Quantitative in situ TEM tensile fatigue testing on nanocrystalline metallic ultrathin films | |
Cho et al. | Young's modulus, Poisson's ratio and failure properties of tetrahedral amorphous diamond-like carbon for MEMS devices | |
CN103267661B (zh) | Sem/tem样品的定位方法 | |
PL423539A1 (pl) | Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro- i nanoskali z ostrzem diamentowym | |
CN102983049A (zh) | 透射电镜样品承载装置 | |
CN103954487A (zh) | 用于透射电镜的原位拉伸试样的制备方法 | |
PL423540A1 (pl) | Sposób wytwarzania sondy pomiarowej umożliwiającej bezpośredni podgląd miejsca pomiaru metodami mikroskopii ze skanującą sondą | |
PL423541A1 (pl) | Sposób wytwarzania heterogenicznej sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro- i nanoskali z pionowym ostrzem | |
TW201404711A (zh) | 掃描式顯微鏡探針的加工方法及加工製品 | |
CN103837079A (zh) | 一种基于激光跟踪仪的手持式便携测量工具及其测量方法 | |
Yan et al. | A robust in situ TEM experiment for characterizing the fracture toughness of the interface in nanoscale multilayers | |
JP6804758B2 (ja) | 金属探針の製造方法、金属探針及びデバイス | |
GB2494467B (en) | Test probe for materials testing apparatus | |
WO2018044164A3 (en) | Method for measuring damage of a substrate caused by an electron beam | |
Merson et al. | The quantitave analysis of fracture using the confocal laser scanning microscopy | |
Kitamura et al. | Experimental approach to fracture mechanics in nanometer scale | |
CN203629909U (zh) | 金属纳米粉末刮浆工具 | |
Ageev et al. | Formation of High Aspect Ratio Nanostructures using Focused Ion Beam Induced Deposition of Carbon | |
Darnbrough et al. | Micro-scale cantilever testing of linear elastic and elastic-plastic materials | |
Jeon et al. | Mechanical nano machining of Si wafer by quantitative determination of ductile/brittle-machining transition point | |
Meher et al. | Probing the Crystallography of Ordered Phases by coupling Orientation Microscopy and Atom Probe Tomography | |
JP2012078294A (ja) | 微小硬度測定装置及び微小硬度測定方法 | |
Alraziqi et al. | A new metric to assess the tip condition of AFM probes based on three-dimensional data | |
Lawrence | The Dualbeam (FIB/SEM) and its applications-Nanoscale sample preparation and modification | |
Tuyakova et al. | Single crystal diamond probes for atomic-force microscopy |