PL423539A1 - Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro- i nanoskali z ostrzem diamentowym - Google Patents

Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro- i nanoskali z ostrzem diamentowym

Info

Publication number
PL423539A1
PL423539A1 PL423539A PL42353917A PL423539A1 PL 423539 A1 PL423539 A1 PL 423539A1 PL 423539 A PL423539 A PL 423539A PL 42353917 A PL42353917 A PL 42353917A PL 423539 A1 PL423539 A1 PL 423539A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
micro
diamond
grain
chamber
fib device
Prior art date
Application number
PL423539A
Other languages
English (en)
Other versions
PL234013B1 (pl
Inventor
Adam Łaszcz
Paweł Janus
Andrzej CZERWIŃSKI
Original Assignee
Instytut Tech Elektronowej
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Instytut Tech Elektronowej filed Critical Instytut Tech Elektronowej
Priority to PL423539A priority Critical patent/PL234013B1/pl
Publication of PL423539A1 publication Critical patent/PL423539A1/pl
Publication of PL234013B1 publication Critical patent/PL234013B1/pl

Links

Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)

Abstract

Przedmiotem zgłoszenia jest sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro- i nanoskali, w którym wykonuje się płaską belkę (4) z półprzewodnika lub metalu, który zawiera następujące etapy: umieszczenia płaskiej belki (4) oraz proszku składającego się z mikroziaren diamentu w komorze urządzenia FIB; przymocowania igły manipulatora w komorze urządzenia FIB do wybranego mikroziarna diamentu za pomocą metalicznej spoiny; przetransportowania tego mikroziarna diamentu do krawędzi płaskiej belki (4) na swobodnym jej końcu, od strony skanującej materiał badany sondą, przy użyciu manipulatora w komorze urządzenia FIB; połączenia mikroziarna diamentu z belką (4) poprzez nałożenie metalicznej spoiny w miejscu styku belki (4) i jednej z powierzchni bocznych mikroziarna diamentu w komorze urządzenia FIB; odcięcie igły manipulatora od mikroziarna diamentu przy użyciu zogniskowanej wiązki jonów; ukształtowanie mikroziarna diamentu w postaci ostrosłupa lub stożka (7) oraz precyzyjne ostrzenie wierzchołka (8) ukształtowanego mikroziarna diamentu do rozmiarów nanometrowych przy użyciu zogniskowanej wiązki jonów.
PL423539A 2017-11-22 2017-11-22 Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro-i nanoskali z ostrzem diamentowym PL234013B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL423539A PL234013B1 (pl) 2017-11-22 2017-11-22 Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro-i nanoskali z ostrzem diamentowym

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL423539A PL234013B1 (pl) 2017-11-22 2017-11-22 Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro-i nanoskali z ostrzem diamentowym

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL423539A1 true PL423539A1 (pl) 2019-06-03
PL234013B1 PL234013B1 (pl) 2019-12-31

Family

ID=66649205

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL423539A PL234013B1 (pl) 2017-11-22 2017-11-22 Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro-i nanoskali z ostrzem diamentowym

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL234013B1 (pl)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050247886A1 (en) * 2004-05-04 2005-11-10 Shixin Wang Lift-out probe having an extension tip, methods of making and using, and analytical instruments employing same
WO2009086534A1 (en) * 2007-12-28 2009-07-09 Veeco Instruments Inc. Method of fabricating a probe device for a metrology instrument and probe device produced thereby
US20100138964A1 (en) * 2008-11-26 2010-06-03 The Regents Of The University Of California Probes for enhanced magnetic force microscopy resolution
JP2010276617A (ja) * 2010-08-31 2010-12-09 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> プローブの作製方法およびプローブ、ならびに走査プローブ顕微鏡

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050247886A1 (en) * 2004-05-04 2005-11-10 Shixin Wang Lift-out probe having an extension tip, methods of making and using, and analytical instruments employing same
WO2009086534A1 (en) * 2007-12-28 2009-07-09 Veeco Instruments Inc. Method of fabricating a probe device for a metrology instrument and probe device produced thereby
US20100138964A1 (en) * 2008-11-26 2010-06-03 The Regents Of The University Of California Probes for enhanced magnetic force microscopy resolution
JP2010276617A (ja) * 2010-08-31 2010-12-09 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> プローブの作製方法およびプローブ、ならびに走査プローブ顕微鏡

Also Published As

Publication number Publication date
PL234013B1 (pl) 2019-12-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Hosseinian et al. Quantitative in situ TEM tensile fatigue testing on nanocrystalline metallic ultrathin films
Cho et al. Young's modulus, Poisson's ratio and failure properties of tetrahedral amorphous diamond-like carbon for MEMS devices
CN103267661B (zh) Sem/tem样品的定位方法
PL423539A1 (pl) Sposób wytwarzania sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro- i nanoskali z ostrzem diamentowym
CN102983049A (zh) 透射电镜样品承载装置
CN103954487A (zh) 用于透射电镜的原位拉伸试样的制备方法
PL423540A1 (pl) Sposób wytwarzania sondy pomiarowej umożliwiającej bezpośredni podgląd miejsca pomiaru metodami mikroskopii ze skanującą sondą
PL423541A1 (pl) Sposób wytwarzania heterogenicznej sondy pomiarowej do precyzyjnych pomiarów powierzchni materiału w mikro- i nanoskali z pionowym ostrzem
TW201404711A (zh) 掃描式顯微鏡探針的加工方法及加工製品
CN103837079A (zh) 一种基于激光跟踪仪的手持式便携测量工具及其测量方法
Yan et al. A robust in situ TEM experiment for characterizing the fracture toughness of the interface in nanoscale multilayers
JP6804758B2 (ja) 金属探針の製造方法、金属探針及びデバイス
GB2494467B (en) Test probe for materials testing apparatus
WO2018044164A3 (en) Method for measuring damage of a substrate caused by an electron beam
Merson et al. The quantitave analysis of fracture using the confocal laser scanning microscopy
Kitamura et al. Experimental approach to fracture mechanics in nanometer scale
CN203629909U (zh) 金属纳米粉末刮浆工具
Ageev et al. Formation of High Aspect Ratio Nanostructures using Focused Ion Beam Induced Deposition of Carbon
Darnbrough et al. Micro-scale cantilever testing of linear elastic and elastic-plastic materials
Jeon et al. Mechanical nano machining of Si wafer by quantitative determination of ductile/brittle-machining transition point
Meher et al. Probing the Crystallography of Ordered Phases by coupling Orientation Microscopy and Atom Probe Tomography
JP2012078294A (ja) 微小硬度測定装置及び微小硬度測定方法
Alraziqi et al. A new metric to assess the tip condition of AFM probes based on three-dimensional data
Lawrence The Dualbeam (FIB/SEM) and its applications-Nanoscale sample preparation and modification
Tuyakova et al. Single crystal diamond probes for atomic-force microscopy