PL418450A1

PL418450A1 - Method for measuring angular micro-deviations relative to a laser beam, preferably rotation errors of machines and the interferometer for measurements of angular micro-deviations relative to a laser beam, preferably rotation errors of machines

Info

Publication number: PL418450A1
Application number: PL418450A
Authority: PL
Inventors: Marek Dobosz
Original assignee: Politechnika Warszawska
Priority date: 2016-08-24
Filing date: 2016-08-24
Publication date: 2018-02-26
Also published as: PL230512B1

Abstract

Zgodnie ze sposobem pomiaru laserową wiązkę światła rozdziela się na dwie wiązki, które doprowadza się do odbić od powierzchni odbijających w ilości różniącej się o liczbę nieparzystą w układzie dwuwiązkowego interferometru z układem powierzchni odbijających, utworzonych przez pryzmat narożny (13) i pryzmat prostokątny (6), w którym laserową wiązkę światła rozdziela się na dwie wiązki (4, 5). Po odbiciu od układu powierzchni odbijających obie wiązki (4, 5) łączy się ponownie we wspólnym kierunku propagacji tak, że interferują ze sobą, tworząc obraz prążków interferencyjnych padający na fotodetektor (12) czuły na zmianę okresu prążków. Odchylenie kątowe wyznacza się na podstawie zarejestrowanej przez fotodetektor zmiany okresu prążków utworzonych przez interferujące ze sobą wiązki i za pomocą pryzmatu prostokątnego (6) odbijającego pierwszą wiązkę (4) odchyla się ją kątowo wokół osi (Y) prostopadłej do płaszczyzny zawierającej dwusieczną kąta pomiędzy płaszczyznami odbijającymi (7, 8) pryzmatu (6) oraz oś przecięcia się płaszczyzn odbijających pryzmatu (7, 8). Interferometr jest wyposażony w dwuwiązkowy układ optyczny z układem powierzchni odbijających (3, 13, 7, 8), usytuowanych między laserem (1) a polaryzatorem (11), za którym znajduje się fotodetektor (12), których liczba jest różna o liczbę nieparzystą od ilości powierzchni odbijających znajdujących się na drodze drugiej wiązki (5). Ma też pryzmat prostokątny (6) odbijający wiązkę, który jest oddzielony ot pozostałych elementów układu optycznego, obracający się wokół osi (Y) prostopadłej do płaszczyzny zawierającej dwusieczną kąta pomiędzy płaszczyznami odbijającymi (7, 8) pryzmatu (6) oraz oś przecięcia się płaszczyzn odbijających pryzmatu (7, 8). Między pryzmatem prostokątnym (6) a elementem światłodzielącym (3) znajduje się klin optyczny, odchylający wiązkę wokół osi Y.According to the measurement method, the laser beam of light is divided into two beams, which are reflected to the reflecting surfaces in an amount different by an odd number in the system of a two-beam interferometer with the arrangement of reflecting surfaces formed by a corner prism (13) and a rectangular prism (6) in which the laser light beam is split into two beams (4, 5). After reflection from the system of reflecting surfaces, both beams (4, 5) are combined again in a common propagation direction so that they interfere with each other, creating an image of interference bands incident on the photodetector (12) sensitive to a change in the period of the bands. The angular deviation is determined on the basis of the change in fringe period recorded by the photodetector created by the interfering beams and using a rectangular prism (6) reflecting the first beam (4) it is deflected angularly around the axis (Y) perpendicular to the plane containing the bisector of the angle between the reflecting planes (7, 8) of the prism (6) and the axis of intersection of the reflecting planes of the prism (7, 8). The interferometer is equipped with a two-beam optical system with a system of reflecting surfaces (3, 13, 7, 8), located between the laser (1) and the polarizer (11), behind which there is a photodetector (12), the number of which is different from an odd number from the amount of reflecting surfaces in the path of the second beam (5). It also has a rectangular prism (6) reflecting the beam, which is separated from other elements of the optical system, rotating around an axis (Y) perpendicular to the plane containing the bisector of the angle between the reflecting planes (7, 8) of the prism (6) and the axis of intersection of the reflecting planes prism (7, 8). There is an optical wedge between the rectangular prism (6) and the light splitting element (3) that deflects the beam around the Y axis.