PL413986A1 - Sposób magnetronowego nanoszenia powłok na powierzchnie zrolowanych w kręgi blach oraz zestaw urządzeń do stosowania tego sposobu - Google Patents

Abstract

Przedmiotem zgłoszenia jest sposób magnetronowego nanoszenia powłok na powierzchnie zrolowanych w kręgi blach, zwłaszcza powłok metalicznych, tlenkowych, azotowych i węglikowych metodą impulsowego rozpylania magnetronowego w atmosferze gazowej który charakteryzuje się tym, że zwiniętą w krąg blachę (16) umieszcza się w próżniowej komorze głównej (1) osadzając ją na wale (6) bębna obrotowego (4) i częściowo rozwija się jeden koniec tej blachy przeprowadzając go przez szczeliny dwóch komór plazmowych (11 i 12) oraz przez szczeliny umieszczonej pomiędzy tymi komorami komory magnetronowej (8), zaczepiając koniec tej blachy o wał (7) drugiego bębna obrotowego (5), po czym dokonuje się odpowietrzenia komory głównej (1) za pomocą pomp odpowietrzających (2) oraz przewijania kręgu blachy (16) z bębna (4) na bęben obrotowy (5), w czasie którego odpompowuje się tymi pompami powietrze zawarte pomiędzy zwojami tej blachy, a następnie dokonuje się odwrotnego przewijania tego odpowietrzonego kręgu blachy (16) na bęben obrotowy (4), w czasie którego dokonuje się czyszczenia plazmowego jednej lub obu powierzchni rozwijanej blachy (17) w atmosferze gazowej z wykorzystaniem impulsowego wzbudzania plazmy w obu komorach plazmowych (11 i 12), po czym tak oczyszczone powierzchnie blachy (17) zwinięte w krąg na bębnie obrotowym (4) przewija się ponownie na bęben obrotowy (5) uruchamiając równocześnie magnetron (9) w komorze magnetronowej (8) przy wprowadzonym do komory głównej (1) w jej części magnetronowej gazie technologicznym w czasie którego na powierzchnie rozwijanej blachy (17) nanoszona jest żądana powłoka. Przedmiotem zgłoszenia jest także zestaw urządzeń do magnetycznego nanoszenia powłok na powierzchnię zrolowanej w kręgi blachy, zwłaszcza powłok metalicznych.