PL413837A1 - Układ optyczny czujnika konfokalnego z podglądem wizualnym - Google Patents

Układ optyczny czujnika konfokalnego z podglądem wizualnym

Info

Publication number
PL413837A1
PL413837A1 PL413837A PL41383715A PL413837A1 PL 413837 A1 PL413837 A1 PL 413837A1 PL 413837 A PL413837 A PL 413837A PL 41383715 A PL41383715 A PL 41383715A PL 413837 A1 PL413837 A1 PL 413837A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
visual
branch
lens
spectrometric
illuminator
Prior art date
Application number
PL413837A
Other languages
English (en)
Other versions
PL227532B1 (pl
Inventor
Dariusz Litwin
Tadeusz Kryszczyński
Jacek Galas
Adam Czyżewski
Jerzy Mikucki
Stefan Sitarek
Original Assignee
Instytut Optyki Stosowanej Im. Prof. Maksymiliana Pluty
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Instytut Optyki Stosowanej Im. Prof. Maksymiliana Pluty filed Critical Instytut Optyki Stosowanej Im. Prof. Maksymiliana Pluty
Priority to PL413837A priority Critical patent/PL227532B1/pl
Priority to EP15460124.9A priority patent/EP3139126A1/en
Publication of PL413837A1 publication Critical patent/PL413837A1/pl
Publication of PL227532B1 publication Critical patent/PL227532B1/pl

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052—Optical details of the image generation
    • G02B21/0064—Optical details of the image generation multi-spectral or wavelength-selective arrangements, e.g. wavelength fan-out, chromatic profiling
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
    • G01B2210/50—Using chromatic effects to achieve wavelength-dependent depth resolution

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

Układ składa się z gałęzi spektrometrycznej do pomiaru odległości roboczej i gałęzi wizualnej do obserwacji wizualnej, które są wyposażone we wspólny obiektyw czołowy (1) o korekcji apochromatycznej, pryzmatyczny dzielnik wiązek (2) realizujący podział na gałęzie oświetlacz, soczewki formujące wiązkę światła w gałęzi spektrometrycznej, oraz sprzęgacz optyczny (5) wprowadzający światło białe oraz odprowadzający światło rozczepionie przez zmienną odległość roboczą do spektrofotometru (6). Gałąź spektrometryczna zawiera pomiędzy pryzmatycznym dzielnikiem wiązek (2) a sprzęgaczem optycznym (5) quasi lunetkę chromatyczną (3) i dodatkowy obiektyw nadawczo-odbiorczy (4) o korekcji apochromatycznej, którego apertura numeryczna jest taka sama jak apertura numeryczna obiektywu czołowego (1). Gałąź wizualna zawiera obiektyw tubusowy (8) i dodatkowy dzielnik wiązek (9) pomiędzy obiektywem tubusowym (8) a oświetlaczem wizualnym (10), przy czym obiektyw tubusowy (8) jest umieszczony pomiędzy pryzmatycznym dzielnikiem wiązek (2) a dodatkowym dzielnikiem wiązek (9) przepuszczającym wiązkę światła białego z oświetlacza wizualnego (10) i odbijającego wiązkę wysyłaną z obiektywu tubusowego (8), a na drodze wiązki odbitej jest umieszczony nastawny obiektyw (11).
PL413837A 2015-09-05 2015-09-05 Układ optyczny czujnika konfokalnego z podglądem wizualnym PL227532B1 (pl)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL413837A PL227532B1 (pl) 2015-09-05 2015-09-05 Układ optyczny czujnika konfokalnego z podglądem wizualnym
EP15460124.9A EP3139126A1 (en) 2015-09-05 2015-12-20 Optical system of confocal sensor with visual inspection

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL413837A PL227532B1 (pl) 2015-09-05 2015-09-05 Układ optyczny czujnika konfokalnego z podglądem wizualnym

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL413837A1 true PL413837A1 (pl) 2017-03-13
PL227532B1 PL227532B1 (pl) 2017-12-29

Family

ID=55299182

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL413837A PL227532B1 (pl) 2015-09-05 2015-09-05 Układ optyczny czujnika konfokalnego z podglądem wizualnym

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP3139126A1 (pl)
PL (1) PL227532B1 (pl)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111208633B (zh) * 2020-01-09 2020-10-23 华中科技大学 一种色散共焦显微镜的特性参量的优化方法
CN113483692B (zh) * 2021-06-23 2023-08-29 苏州中科全象智能科技有限公司 一种孔检测光学系统

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7477401B2 (en) * 2004-11-24 2009-01-13 Tamar Technology, Inc. Trench measurement system employing a chromatic confocal height sensor and a microscope
JP5068121B2 (ja) 2007-08-27 2012-11-07 株式会社ミツトヨ 顕微鏡および三次元情報取得方法
DE202007014435U1 (de) * 2007-10-16 2009-03-05 Gurny, Eric Optischer Sensor für eine Messvorrichtung
US8212997B1 (en) * 2011-02-23 2012-07-03 Mitutoyo Corporation Chromatic confocal point sensor optical pen with extended measuring range

Also Published As

Publication number Publication date
EP3139126A1 (en) 2017-03-08
PL227532B1 (pl) 2017-12-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
PH12018500928A1 (en) Reticle for optical sighting devices
PH12017501062A1 (en) High efficiency optical combiner for multiple non-coherent light sources
BR112016029782A2 (pt) câmera de matriz de óptica dobrada utilizando prismas refrativos
BR112018010708A2 (pt) fibra óptica tendo afunilamento proximal para iluminação cirúrgica oftálmica
PH12019550102A1 (en) Composite Prism For Multi-Functional Telescope, And Binocular Telescopic Optical System For Same
ATE486295T1 (de) Binokulares fernglas mit entfernungsmesser
WO2011087337A3 (ko) 기판 검사장치
WO2018091991A4 (en) Vitreous visualization system and method
EP3899352A4 (en) LASER INDUCED AND FIBER EMITTED WHITE LIGHT SYSTEM
WO2012018674A3 (en) Optics symmetrization for metrology
MX2013006384A (es) Tomografia de coherencia optica e iluminacion que utiliza una fuente de luz comun.
BR112015026575A2 (pt) sistema para reduzir reflexões de display eletrônico
WO2020127758A3 (de) Vorrichtung und verfahren zur optischen vermessung einer innenkontur einer brillenfassung
WO2013036049A3 (ko) 공초점 형광 현미경
PL413837A1 (pl) Układ optyczny czujnika konfokalnego z podglądem wizualnym
TW200636214A (en) Method for improving display brightness of laser rangefinder
BR112012020108A2 (pt) dispositivo de filtro de fibra ótica e método para fabricação do mesmo.
WO2019025557A3 (de) Zielfernrohr, insbesondere für eine handfeuerwaffe
TWM534347U (en) Binoview eyepiece assembly for telescope and binoview telescope
WO2016025831A3 (en) System for uniformly illuminating target to reduce speckling
CN202720190U (zh) 光干涉气体检测装置光路系统
WO2012051383A3 (en) An adjustable total internal reflectance microscopy (tirfm) illuminator apparatus
RU2562930C1 (ru) Телескопическая оптическая система типа галилея
WO2020026206A3 (en) Shack-hartmann wavefront detector for wavefront error measurement of higher numerical aperture optical systems
IN2012DE00519A (pl)