Wj% Przy rozpylaniu katodowym material, przeznaczony do rozpylania, umieszcza sie na ujemnym biegunie zródla wysokiego na¬ piecia. Musi on byc elektrycznie izolowa¬ ny i gazoszczelnie zamkniety w naczyniu do rozpylania. Z licznych publikacji z za¬ kresu rozpylania katodowego znane jest, ze odizolowanie i odekranowanie doprowa¬ dzenia elektrodowego, zwlaszcza katodo¬ wego, napotyka na trudnosci. O ile w ce¬ lu uzyskania duzej gestosci pradu stosuje sie napiecia wyzsze od 2 — 3 tysiecy wol¬ tów, to w krótkim czasie izolacja ulega uszkodzeniu, wyladowania wystepuja prze¬ waznie na doprowadzeniu, tworza sie szko¬ dliwe gazy, które barwia wytworzony osad metalowy, czyniac go niezdatnym do uzyt¬ ku. Przy niedokladnym wyregulowaniu napiecia rozpylania i cisnienia gazu, wy¬ pelniajacego naczynie, wykonana rob ota idzie na marne. Zdarza sie to szczególnie wtedy, gdy naczynie do rozpylania kato¬ dowego' jest wykonane z metalu.Wady te usuwa niniejszy wynalazek w zupelnosci i pozwala obciazac gazowe przerwy wyladowcze dowolnie wykona¬ nych urzadzen takimi mocami elektryczny¬ mi, jakie uznane byly dotad za niemozliwe do stosowania.Wynalazek dotyczy urzadzenia do roz¬ pylania katodowego, którego scianki sa wy¬ konane z metalu, a doprowadzenie elektro¬ dy przechodzi przez scianke metalowa i jest od niej odizolowane, polega zas na tym, ze przewód katodowy, w celu ochrony izolacji, jest otoczony oslona w takiej od-leglosci i o takiej dlugosci, ze nosniki la¬ dunków wyladowan jarzacych nie docho¬ dza do izolacji.Przewodnik ten jest zaopatrzony mia¬ nowicie w oslone siegajaca najlepiej do komory do rozpylania i otaczajaca prze¬ wodnik w niewielkiej od niego odleglosci.Odstep pomiedzy przewodnikiem a oslo¬ na obiera sie przy tym mniejszym od gru¬ bosci poswiaty jarzenia, tworzacej sie do¬ okola elektrod rozpylajacych i przewodni¬ ka. Odleglosc oslony od przewodnika waha sie w zaleznosci od rodzaju cisnienia i temperatury gazu w granicach od okolo 0,1 do 20 mm, najlepiej w granicach 0,5 do 5 mm, przy czym dlugosc oslony do¬ biera sie tak, by swiatlo jarzenia i nosniki ladunku ze z.jonizowanej atmosfery, jak pary metalów, nie dosiegaly dlo materialu izolujacego i uszczelniajacego. Oslona moze byc wykonana z metalu lub materia¬ lu izolujacego. Izolowana metalowa oslo¬ na w zjonizowanej przestrzeni gazowej po¬ siada potencjal dodatni. Oslona ta moze byc polaczona elektrycznie ze sciankami komory do rozpylania katodowego, o ile scianki te nie stanowia katody, jak: rów¬ niez moze byc uziemiona. Metalowa oslo¬ na doprowadzenia moze byc tez z korzy¬ scia odizolowana zarówno od przewodni¬ ka, jak i od scianek naczynia i moze byc polaczona z napieciem, odmiennym niz na¬ piecie scianek wzglednie napiecie przewo¬ dnika. Ksztalt oslony i przewodnika do¬ prowadzenia powinien byc taki, by nie po¬ siadal ostrych krawedzi i wierzcholków.Odizolowanie i uszczelnienie przewo¬ dnika najlepiej jest wykonac na zewnatrz aparatu do rozpylania katodowego, aby ulatwic dostep do izolacji i uszczelnien.Przewodnik doprowadzenia najlepiej jest wykonac w postaci obrotowej bryly wy¬ drazonej, której scianki wewnetrzne mo¬ glyby byc chlodzone chlodziwem, jak po¬ wietrze, olej, woda itd. Oslona i przewo¬ dnik moga byc tak uksztaltowane, by za¬ wieraly pomiedzy soba przestrzen labiryn¬ towa, wskutek czego utrudnia sie dostep nosnikom ladunku i parom metali do izo¬ lacji. Metalowa oslona moze posiadac na koncu kolpak, zaopatrzony w otwór, przez który przechodzi przewodnik. Kolpak ten moze byc tez polaczony z przewodnikiem i w tym przypadku obejmuje oslone, przy czym jest rzecza konieczna, by odstep kol¬ paka od oslony nie byl wiekszy niz odstep oislony od przewodnika. Kolpak, poza ce¬ lem utworzenia drogi labiryntowej dla nos¬ ników ladunku i par metali, posiada jesz¬ cze zajdanie ochraniania izolacji przed opadaniem na nia czastek metalowych, od¬ padajacych z elektrod i materialu zarzo¬ nego. Izolacje najlepiej jest umiescic po¬ miedzy kolnierzem przewodnika i ze¬ wnetrzna scianka naczynia. Izolacja moze tez stanowic jednoczesnie i uszczelnienie, o ile jest sporzadzona z elastycznie od¬ ksztalcajacego sie materialu. Izolacja mo¬ ze byc zrobiona z materialu nieelastyczne¬ go, jak szklo, kwarc, porcelana, bursztyn, mika, ebonit, pertinaks, sztuczna zywica itd. i moze byc uszczelniona na powierzch¬ niach styku tarczami z gumy lub z metali, jak olów, miedz, glin, a wiec takich metali, które pod cisnieniem daja sie latwo od¬ ksztalcac.Scianki komory w miejscach przylega¬ nia do nich uszczelnien i izolacji moga byc równiez zaopatrzone w urzadzenie chlo¬ dzace. Równiez i oslona przewodnika mo¬ ze byc wydrazona i zaopatrzona w urza¬ dzenie chlodzace. Chlodzenie ma te za¬ lete, ze przy stosowaniu go tworzy sie pyl metalowy, przewaznie obojetny, który osa¬ dzajac sie na chlodzonej oslonie lub prze¬ wodniku nie podaza za biegiem pola elek¬ trycznego, a wiec nie moze dosiegnac izo¬ lacji.Wykonanie doprowadzenia wedlug wy¬ nalazku pozwala na obciazenie komory pieca prózniowego wielka moca przy wyso¬ kim napieciu nawet przy duzym wywiazy- — 2 —waniu sie ciepla na elektrodach bez obawy o nieprawidlowe dzialania komory do roz¬ pylania.Opisane doprowadzenia urzadzen do katodowego rozpylania mozna z korzyscia stosowac przy wszelkiego rodzaju napie¬ ciach, doprowadzanych do komory do roz¬ pylania, niezaleznie od tego, czy dopro¬ wadzenia te sa przeznaczone dla katody, anody czy tez elektrod pomocniczych.Równiez zastosowane w obwodach pomoc¬ niczych np. urzadzen napedowych lub za¬ rzeniowych doprowadzenia te umozliwia¬ ja doplyw energii elektrycznej o kazdej zadanej mocy i przy dowolnym napieciu bez obawy o niepozadane skutki. Dopro¬ wadzenia te zachowuja swe zalety zarówno przy stosowaniu pradu stalego jak i zmien¬ nego lub wyprostowanego pradu zmienne¬ go, a takze nadaja sie do stosowania pirzy napieciach dowolnie wielkiej czestotli¬ wosci.Poza tym, ze daje duza niezawodnosc pracy przy duzych mocach i wysokich tem¬ peraturach rozpylanych katod, oslona za¬ pobiega rozpylaniu wszystkich czesci, slu¬ zacych do przewodzenia pradu, a wyko¬ nanych nie z materialu, przeznaczonego do rozpylania.Prócz tego wedlug wynalazku izolator moze przykrywac calkowicie kolnierz prze¬ wodnika od strony komody prózniowej.Jest przy tym rzecza korzystna, by izo¬ lator posiadal wyzlobienie, w które wcho¬ dzi szczelnie metalowa oslona, otaczajaca w niewielkiej odleglosci doprowadzenie pradowe.Wreszcie izolator moze wchodzic cze¬ sciowo w otworze scianki naczynia pomie¬ dzy scianke otworu a metalowa oslone i oddzielac w ten sposób oslone od scianki naczynia. Oslona ta moze byc przy tym wykonana jako podzielna.Poza tym wedlug wynalazku przewod¬ nik doprowadzenia moze byc otoczony kil¬ koma ustawionymi wspólsrodkowo w nie¬ wielkiej od siebie odleglosci metalowymi oslonami, odizolowanymi od siebie i od przewodnika. Oslony te moga posiadac rózne napiecia wzgledem siebie i wzgledem przewodnika. Do podzialu napiecia na me¬ talowych oslonach stosuje sie najlepiej kondensatory lub opory lub kondensatory i opory jednoczesnie. Kolnierze oslon w celu ochrony izolatora moga byc zaopatrzo¬ ne w urzadzenia chlodzace.Daje to te korzysc, ze dzieki stopniowa¬ niu napiec pomiedzy poszczególnymi oslo¬ nami metalowymi w naczyniach próznio¬ wych mozna zupelnie niezawodnie stoso¬ wac wysokie napiecia przy duzych mocach.Urzadzenie takie daje mianowicie szczegól¬ ne korzysci przy doprowadzeniach elek¬ trod, do których napiecie doprowadza sie poprzez metalowe scianki naczynia. Przy tym zarówno do przewodnika, jak i do scianek naczynia moze byc przylaczone na¬ piecie ujemne. Równiez i przy stosowaniu pradu zmiennego doprowadzenie takie po¬ siada te same zalety.Wynalazek moze byc tez zastosowany, gdy przewodnikiem doprowadzenia jest podstawa katody. Wówczas metalowa podstawa katody jest otoczona w niewiel¬ kiej odleglosci metalowa oslona. W ten sposób metalowa oslona, otaczajaca pod¬ stawe katody w odleglosci mniejszej od grubosci poswiaty jarzenia, wytwarzajacej sie dookola katody, chroni sama podsta¬ we katody przed rozpyleniem. Najodpo¬ wiedniejsza odlegloscia oslony od podsta¬ wy okazala sie w praktyce odleglosc 1,5 — 3 mm.Metalowa podstawa katody moze byc tez wydrazona i chlodzona, aby cieplo od¬ prowadzane nie ogrzewalo materialu izola¬ cyjnego. Korzystnie jest równiez, gdy izola¬ tor jest umieszczony pomiedzy zewnetrz¬ na scianka komory do rozpylania a pod¬ stawa katody.Do gromadzenia i kierowania rozpylo¬ nych czastek moze sluzyc pole magnetycz- — 3 —ne, przy czym katoda miesci sie w obrebie pola sil.Uzywajac takiego doprowadzenia moz¬ na stosowac napiecia do 10000 V i wyzsze oraz moce do kilkuset watów bez obawy, ze przy dluzszej pracy urzadzenia czesci izolujace ulegna uszkodzeniu lub znisz¬ czeniu.Jezeli oslona wykonana jest z materia¬ lu izolujacego, to jako taki nadaje sie naj¬ lepiej material trudnotopliwy, topiacy sie np. powyzej 1200°C, jak kwarc, porcela¬ na, ciala z gliny, tlenku cyrkonu, tlenku toru, tlenku magnezu, tlenku berylu itd.Moze ona miec np. postac rury kwar¬ cowej.Wynalazek mozna równiez stosowac do takich urzadzen, w których scianki wlaczo¬ ne sa jako katoda, a przewód przechodzi przez scianke i jest od niej odizolowany.Wynalazek zostal wyjasniony szczegó¬ lowo na podstawie rysunku przedstawia¬ jacego kilka przykladów wykonania.Fig. 1—8 przedstawiaja rózne posta¬ cie wykonania dbprowadzenia elektrodo¬ wego naczynia do katodowego rozpylania z oslona przewodnika w ksztalcie tulei me¬ talowej wedlug wynalazku, fig. 9 przedsta¬ wia przekrój drugiej odmiany, a fig. 10 — trzeciej odmiany doprowadzenia, fig. 11 — przekrój przez doprowadzenie wraz z elektrycznym ukladem oporników i kon¬ densatorów, fig. 12 — przekrój przez urza¬ dzenie do katodowego' rozpylania z oslo¬ nieta podstawa katody i wreszcie fig. 13 — 19 przedstawiaja przekroje przez rózne in¬ ne doprowadzenia urzadzenia do rozpyla¬ nia katodowego.Na fig. 1, przedstawiajacej doprowa¬ dzenie do komory prózniowej 1 urzadzenia do rozpylania katodowego, cyfra 2 ozna¬ czona jest scianka np. metalowa komory prózniowej do rozpylania katodowego, do której przez otwór w tej sciance wprowa¬ dzony jest np. wydrazony od srodka prze¬ wodnik 3, który moze byc chlodzony chlo* dziwem, jak woda, olej lub powietrze. Chlo¬ dziwo doprowadza sie rura 4 a odprowadza rura 5. Przewodnik 3 jest otoczony w nie¬ wielkiej odleglosci rozszerzajaca sie na koncu cylindryczna metalowa tuleja 6, wy¬ stajaca w komorze prózniowej 1 tak dale¬ ko, by w zadnym przypadku wyladowania nie mogly przejsc przez waska pierscienio¬ wa szczeline pomiedzy przewodnikiem 3 a tuleja 6 do izolacji i uszczelnien, znaj¬ dujacych sie poza komora prózniowa. Izo¬ lator 7, wykonany np. z materialu cera¬ micznego, jest w celu uszczelnienia zaopa¬ trzony pomiedzy scianka 2 naczynia i kol¬ nierzem 10 przewodnika 3 w dwa pierscie¬ nie uszczelniajace 8 i 9, wykonane np, z olowiu, miedzi lub glinu. Pierscien 11 z materialu izolacyjnego mocno dociska kolnierz 10 przewodnika 3 za pomoca srub 12. Liczba 13 oznaczona jest koncówka przewodnika 3, a liczba 14 — kabel wioda¬ cy do przewodnika 3.Doprowadzenie wedlug fig. 2 rózni sie od przedstawionego na fig. 1 przede wszystkim tym, ze metalowa tuleja 6 po¬ siada na górnym swym koncu kolpak 15, utrudniajacy dojscie nosnikom ladunku i czastkom metalowym do waskiej prze¬ strzeni pierscieniowej pomiedzy przewo¬ dnikiem 3 a metalowa tuleja 6. Poza tym pomiedzy izolatorem 7 a przewodnikiem 3 znajduje sie w przedluzeniu szczeliny, po¬ miedzy metalowa tuleja 6 i przewodnikiem 3, przestrzen 16, która przedluza droge pradów pelzajacych. Cyframi 8 i 9 ozna¬ czone sa dwa pierscienie uszczelniajace wykonane np. z gumy. Na fig. 2 nie uwi¬ doczniono srub 12, dociskajacych pierscien 11 z materialu izolacyjnego.Doprowadzenie wedlug fig. 3 rózni sie od przedstawionego na fig. 2 tym, ze po¬ laczony z kablem 14 przewodnik 3 posia¬ da kolpak 15', który obejmuje górny ko¬ niec metalowej tulei 6, nie stykajac sie z nia. W ten sposób równiez zamyka sie dostep nosnikom ladunku i czastkom par — 4 -metali do przestrzeni pomiedzy przewod¬ nikiem a tuleja metalowa.Doprowadzenie wedlug fig. 4 odznacza sie tym, ze jego przewodnik 3' i metalowa oslona 6' sa schodkowe, dzieki czemu za¬ wieraja pomiedzy soba przestrzen labiryn¬ towa 17, uniemozliwiajaca dostep nosni¬ kom ladunku i czastkom par metalu do izolacji 7. Przewodnik 3' moze byc chlo¬ dzony. Cyfra 8 oznaczony jest pierscien metalowy, uszczelniajacy oslone 6' przy sciance 2 naczynia. Oslona 6' moze byc tez spojona na stale ze scianka naczynia.Przy dostatecznie duzej grubosci scianki 2 schodkowe wyzlobienia moga byc wyko¬ nane przez bezposrednia obróbke mecha¬ niczna samej scianki.Doprowadzenie wedlug fig. 5 odznacza sie tym, ze jego metalowa oslona 6" jest wykonana w postaci wydrazonego chlo¬ dzonego plaszcza, do którego doprowadza chlodziwo rura 18, a odprowadza rura 39.W doprowadzeniu wedlug fig. 6 meta¬ lowa oslona przewodnika 3 jest utworzo¬ na z wezownicy chlodzacej 20, zaopatrzo¬ nej w rure wlotowa 21 i wylotowa 22. Ru¬ ry 21 i 22 sa przeprowadzone gazoszczel¬ nie przez dno 2 pieca prózniowego.Urzadzenie wedlug fig. 7 odznacza sie tym, ze scianka 2 jego naczynia próznio¬ wego jest zaopatrzona w kanal chlodza¬ cy 23, do którego chlodziwo wprowadza sie rura 24, Rura 24% sluzy do odprowa¬ dzenia chlodziwa. W tym przypadku scianka pieca prózniowego stanowi jedno¬ czesnie metalowa oslone przewodnika 3.Urzadzenie wedlug fig. 8 jest znamien¬ ne tym, ze scianka 2 komory posiada cy¬ lindryczne wydluzenie 25, wewnatrz któ¬ rego osadzony jest izolator 26 i uszczel¬ nienie 27 z gumy. Pierscien dociskajacy IV z materialu izolacyjnego dociska za posrednictwem nakretki 28 izolator i uszczelnienie do scianki komory. Liczba 13 oznaczona jest koncówka, a cyfra 4 ru¬ ra doprowadzajaca chlodziwo. Przewod¬ nik 3" jest otoczony w niewielkiej odle¬ glosci metalowa tuleja oslaniajaca 6.W razie potrzeby przewodnik 3" moze byc przeprowadzony przez cale naczynie prózniowe, przy czym wtedy równiez i na drugim swym koncu zewnatrz naczynia jest zabezpieczony analogicznym urzadze¬ niem oslaniajacym, izolujacym i uszczel¬ niajacym.Urzadzenie wedlug fig. 9 rózni sie od urzadzenia wedlug fig. 2 tym, ze izolator 7 posiada zlobek 30, w którym osadzona jest tuleja metalowa 6, otaczajaca w niewiel¬ kiej odleglosci przewodnik 3. Osiaga sie przez to te korzysc, ze przy wysokim na¬ pieciu unika sie iskrzenia krawedzi tulei oslaniajacej, ukrytych calkowicie w izola¬ torze.Urzadzenie wedlug fig. 10 rózni sie od urzadzenia wedlug fig. 9 tym, ze izolator posiada czesc 31, wchodzaca w przestrzen pomiedzy scianka otworu, wykonanego w naczyniu, a tuleja oslaniajaca, Czesc ta oddziela tuleje od scianki naczynia 2 i w ten sposób izoluje. Tuleja oslaniajaca moj ze skladac sie z kilku czesci 32, 33, 34, wskutek czego przerywa sie przeplyw ciepla przez tuleje. Liczba 35 oznaczona jest tuleja oslonna, oslaniajaca izolator.Wedlug fig. 11 przewodnik 3 jest oto¬ czony wieloma, np. czterema, cylindrycz¬ nymi metalowymi tulejami 6a, 6b, 6c, 6d.Tuleje te na jednych koncach posiadaja kolnierze, podczas gdy drugie ich konce wystaja w komorze 1 do rozpylania tak daleko, ze ani wyladowania, ani czastki metalu z komory pieca nie moga sie prze¬ dostac przez waska przestrzen pierscie¬ niowa pomiedzy przewodnik 3 a tuleje 6a, jak i przez przestrzenie miedzy pozostaly¬ mi tulejami do izolacji i uszczelnien, umieszczonych na zewnatrz komory próz¬ niowej rpieca. Izolacje tworza pierscienie 7a, 7b, 7c, 7d. Liczbami 36 — 39 oznaczo¬ ne sa stale lub zmienne oporniki, a liczba¬ mi 40 — 43 stale lub zmienne kondensa- - 5 —tory, przeznaczone do podzialu napiec tu- lei oslaniajacych. Opisane doprowadzenie znosi bez szkody dla izolacji napiecia do kilkudziesieciu tysiecy woltów, nawet przy wysokich temperaturach wewnatrz naczynia prózniowego.Wedlug fig. 12 na dnie 2 komory do rozpylania katodowego spoczywa gazo¬ szczelnie zdejmowalna czesc górna 44 na¬ czynia. Anoda 45 i katoda 46 sa zasilane ze zródla pradu, nie uwidocznionego na rysunku. Liczba 47 oznaczony jest przed¬ miot, przeznaczony do napylenia, liczba 48 — podstawa, na której osadzona jest katoda 46. Podstawa 48 jest wprowadzo¬ na do komory do rozpylania przez otwór w dnie 2, odizolowana, np. za pomoca gu¬ mowej plyty izolacyjnej 49, i umocowana za pomoca srub 12, posrednich czesci me¬ talowych 50 i 51 i izolatorów 52 i 53. Pod¬ stawa 48 moze byc wydrazona i zaopa¬ trzona w rury 4 i 5, doprowadzajaca i od¬ prowadzajaca chlodziwo. Liczba 54 ozna¬ czony jest króciec umieszczony w dnie na¬ czynia i sluzacy do polaczenia z pompa prózniowa, a liczba 55 — króciec do do¬ prowadzania do naczynia gazu.Wedlug wynalazku w niewielkiej od¬ leglosci od podstawy 48 umieszczona jest metalowa tuleja 56 np. w postaci rury me¬ talowej, posiadajaca na swym górnym koncu metalowa zdejmowana pokrywe 57, zaopatrzona w otwór. Metalowa tuleja wzglednie rura 56 jest umocowana w na¬ czyniu za pomoca izolatora 58. Mozna tez nie stosowac izolatora 58 i w tym przy¬ padku metalowa rura 56 jest umocowana bezposrednio np. w metalowym dnie 2 na¬ czynia. Metalowa rura 56 moze byc pola¬ czona z dodatnim biegunem zródla pradu.Mozna tez dodatni biegun napiecia przy¬ laczyc np. do plyty 2, w której umocowa¬ na jest tuleja metalowa 56, albo tez do scianek naczynia do rozpylania, o ile jest ono wykonane z metalu. Liczba 59 ozna¬ czona jest cewka, przez która przeplywa prad, wytwarzajac pole magnetyczne kie¬ rujace rozpylanymi czastkami i osadzaja¬ ce je.Wedlug fig. 13 przewodnik 3 jest oto¬ czony izolatorem 60 np. w postaci rury kwarcowej, przy czym pomiedzy izolato¬ rem a przewodnikiem znajduje sie szcze¬ lina 61, tak waska, ze nie moze w niej po¬ wstac samoczynne wyladowanie jarzace.Czesci 8 i 9 sa pierscieniami uszczelniaja¬ cymi izolator 7. Liczba 11 oznaczony jest pierscien izolujacy i dociskajacy, dociska¬ ny izolowanymi srubami 12. Sruby 12 sa otoczone izolacja 62. Rura kwarcowa 60 jest otoczona w swej dolnej czesci chlo¬ dzona metalowa scianka 2' naczynia próz¬ niowego. Przewodnik 3 posiada nasrubo- wany metalowy kolpak 15", który cze¬ sciowo otacza w niewielkiej odleglosci swa czescia 63 izolator 60, np. w postaci rury kwarcowej, tak ze szczelina 64 wraz ze szczelina 61 tworza labirynt.Doprowadzenie wedlug fig. 14 rózni sie od opisanego w zwiazku z fig. 13 tylko tym, ze izolator, np. w postaci rury kwar¬ cowej 60, jest chlodzony za pomoca chlod¬ nicy 65, do której doprowadza sie chlodzi¬ wo przez rure 66, a odprowadza przez ru¬ re 67. Chlodnica 65 otacza przy tym rure kwarcowa i przylega do niej oraz posiada wewnatrz scianke 68 kierujaca chlodzi¬ wem.Doprowadzenie wedlug fig. 15 rózni sie od opisanego w zwiazku z fig. 14 tylko tym, ze rura kwarcowa 60 jest oddzielona od chlodzacej scianki 2' waska szczeli¬ na 69.Na fig. 16 przewodnik 3 jest otoczony izolatorem 70 np. z porcelany, który don dookola przylega, a pomiedzy izolatorem i górna czescia 3' przewodnika 3 znajduje sie waska przestrzen 71 np. o ksztalcie czaszy. Izolator 70 jest przymocowany do doprowadzenia za pomoca elastycznego kitu. Liczbami 72 i 73 oznaczone sa czesci z olowiu lub miedzi, zastosowane w celu — 6 —równomiernego rozlozenia naprezen w izolatorze.Pomiedzy izolatorem 70 i chlodzona metalowa scianka pieca znajduje sie druga szczelina ochronna 74. Liczba 75 oznaczo¬ ny jest inny izolator, liczba 76 — szczeli¬ wo np. z gumy, liczba 77 — pierscien izo¬ lujacy, a liczba 78 —- gwintowany pier¬ scien metalowy.Wedlug fig. 17 przewodnik 3 anodowe¬ go doprowadzenia jest otoczony scianka 2 naczynia prózniowego, stanowiaca katode.Pomiedzy przewodnikiem 3 a scianka 2 znajduje sie waska szczelina pierscienio¬ wa 79, uchodzaca do wnetrza naczynia prózniowego. Przewodnik doprowadzenia anodowego jest wewnatrz wydrazony.Izolator 7 posiada uskok 16, stanowiacy przedluzenie szczeliny 79, Doprowadzenie anodowe wedlug fig. 18 odznacza sie tym, ze pomiedzy chlo¬ dzonym przewodnikiem 3 a chlodzona scianka 2 naczynia, stanowiaca katode, znajduje sie izolowana metalowa posred¬ nia oslona 80, o napieciu anody lub elek¬ trycznie obojetna, odgrodzona z obu stron szczelinami 81 i 82. W przypadku, gdy metalowa posrednia oslona 80 stanowi anode, przewodnik 3 moze pozostac elek¬ trycznie obojetny. Liczbami 83 i 84 ozna¬ czone sa metalowe pokrywy, które two¬ rza odpowiednie szczeliny. Liczba 85 oznaczony jest kolpak wykonany z metalu wzglednie z materialu izolacyjneigo. Cyfra 8 oznaczone sa pierscienie uszczelniajace, liczbami 86 i 87 — pierscienie izola¬ cyjne. Liczbami 88 — 91 oznaczone sa pierscienie centrujace, wykonane np. z metalu.Doprowadzenie anodowe wedlug fig. 19 odznacza sie tym, ze izolator 92 przy¬ lega do chlodzonej scianki 2 naczynia, tworzacego katode, a pomiedzy nim i przewodnikiem powstaje waska szczeli¬ na 93- W tym przypadku izolator chlodzi sie od scianki naczynia. PL