PL31719B1 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
PL31719B1
PL31719B1 PL31719A PL3171939A PL31719B1 PL 31719 B1 PL31719 B1 PL 31719B1 PL 31719 A PL31719 A PL 31719A PL 3171939 A PL3171939 A PL 3171939A PL 31719 B1 PL31719 B1 PL 31719B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
metal
conductor
ark
cathode
insulator
Prior art date
Application number
PL31719A
Other languages
English (en)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of PL31719B1 publication Critical patent/PL31719B1/pl

Links

Description

Wj% Przy rozpylaniu katodowym material, przeznaczony do rozpylania, umieszcza sie na ujemnym biegunie zródla wysokiego na¬ piecia. Musi on byc elektrycznie izolowa¬ ny i gazoszczelnie zamkniety w naczyniu do rozpylania. Z licznych publikacji z za¬ kresu rozpylania katodowego znane jest, ze odizolowanie i odekranowanie doprowa¬ dzenia elektrodowego, zwlaszcza katodo¬ wego, napotyka na trudnosci. O ile w ce¬ lu uzyskania duzej gestosci pradu stosuje sie napiecia wyzsze od 2 — 3 tysiecy wol¬ tów, to w krótkim czasie izolacja ulega uszkodzeniu, wyladowania wystepuja prze¬ waznie na doprowadzeniu, tworza sie szko¬ dliwe gazy, które barwia wytworzony osad metalowy, czyniac go niezdatnym do uzyt¬ ku. Przy niedokladnym wyregulowaniu napiecia rozpylania i cisnienia gazu, wy¬ pelniajacego naczynie, wykonana rob ota idzie na marne. Zdarza sie to szczególnie wtedy, gdy naczynie do rozpylania kato¬ dowego' jest wykonane z metalu.Wady te usuwa niniejszy wynalazek w zupelnosci i pozwala obciazac gazowe przerwy wyladowcze dowolnie wykona¬ nych urzadzen takimi mocami elektryczny¬ mi, jakie uznane byly dotad za niemozliwe do stosowania.Wynalazek dotyczy urzadzenia do roz¬ pylania katodowego, którego scianki sa wy¬ konane z metalu, a doprowadzenie elektro¬ dy przechodzi przez scianke metalowa i jest od niej odizolowane, polega zas na tym, ze przewód katodowy, w celu ochrony izolacji, jest otoczony oslona w takiej od-leglosci i o takiej dlugosci, ze nosniki la¬ dunków wyladowan jarzacych nie docho¬ dza do izolacji.Przewodnik ten jest zaopatrzony mia¬ nowicie w oslone siegajaca najlepiej do komory do rozpylania i otaczajaca prze¬ wodnik w niewielkiej od niego odleglosci.Odstep pomiedzy przewodnikiem a oslo¬ na obiera sie przy tym mniejszym od gru¬ bosci poswiaty jarzenia, tworzacej sie do¬ okola elektrod rozpylajacych i przewodni¬ ka. Odleglosc oslony od przewodnika waha sie w zaleznosci od rodzaju cisnienia i temperatury gazu w granicach od okolo 0,1 do 20 mm, najlepiej w granicach 0,5 do 5 mm, przy czym dlugosc oslony do¬ biera sie tak, by swiatlo jarzenia i nosniki ladunku ze z.jonizowanej atmosfery, jak pary metalów, nie dosiegaly dlo materialu izolujacego i uszczelniajacego. Oslona moze byc wykonana z metalu lub materia¬ lu izolujacego. Izolowana metalowa oslo¬ na w zjonizowanej przestrzeni gazowej po¬ siada potencjal dodatni. Oslona ta moze byc polaczona elektrycznie ze sciankami komory do rozpylania katodowego, o ile scianki te nie stanowia katody, jak: rów¬ niez moze byc uziemiona. Metalowa oslo¬ na doprowadzenia moze byc tez z korzy¬ scia odizolowana zarówno od przewodni¬ ka, jak i od scianek naczynia i moze byc polaczona z napieciem, odmiennym niz na¬ piecie scianek wzglednie napiecie przewo¬ dnika. Ksztalt oslony i przewodnika do¬ prowadzenia powinien byc taki, by nie po¬ siadal ostrych krawedzi i wierzcholków.Odizolowanie i uszczelnienie przewo¬ dnika najlepiej jest wykonac na zewnatrz aparatu do rozpylania katodowego, aby ulatwic dostep do izolacji i uszczelnien.Przewodnik doprowadzenia najlepiej jest wykonac w postaci obrotowej bryly wy¬ drazonej, której scianki wewnetrzne mo¬ glyby byc chlodzone chlodziwem, jak po¬ wietrze, olej, woda itd. Oslona i przewo¬ dnik moga byc tak uksztaltowane, by za¬ wieraly pomiedzy soba przestrzen labiryn¬ towa, wskutek czego utrudnia sie dostep nosnikom ladunku i parom metali do izo¬ lacji. Metalowa oslona moze posiadac na koncu kolpak, zaopatrzony w otwór, przez który przechodzi przewodnik. Kolpak ten moze byc tez polaczony z przewodnikiem i w tym przypadku obejmuje oslone, przy czym jest rzecza konieczna, by odstep kol¬ paka od oslony nie byl wiekszy niz odstep oislony od przewodnika. Kolpak, poza ce¬ lem utworzenia drogi labiryntowej dla nos¬ ników ladunku i par metali, posiada jesz¬ cze zajdanie ochraniania izolacji przed opadaniem na nia czastek metalowych, od¬ padajacych z elektrod i materialu zarzo¬ nego. Izolacje najlepiej jest umiescic po¬ miedzy kolnierzem przewodnika i ze¬ wnetrzna scianka naczynia. Izolacja moze tez stanowic jednoczesnie i uszczelnienie, o ile jest sporzadzona z elastycznie od¬ ksztalcajacego sie materialu. Izolacja mo¬ ze byc zrobiona z materialu nieelastyczne¬ go, jak szklo, kwarc, porcelana, bursztyn, mika, ebonit, pertinaks, sztuczna zywica itd. i moze byc uszczelniona na powierzch¬ niach styku tarczami z gumy lub z metali, jak olów, miedz, glin, a wiec takich metali, które pod cisnieniem daja sie latwo od¬ ksztalcac.Scianki komory w miejscach przylega¬ nia do nich uszczelnien i izolacji moga byc równiez zaopatrzone w urzadzenie chlo¬ dzace. Równiez i oslona przewodnika mo¬ ze byc wydrazona i zaopatrzona w urza¬ dzenie chlodzace. Chlodzenie ma te za¬ lete, ze przy stosowaniu go tworzy sie pyl metalowy, przewaznie obojetny, który osa¬ dzajac sie na chlodzonej oslonie lub prze¬ wodniku nie podaza za biegiem pola elek¬ trycznego, a wiec nie moze dosiegnac izo¬ lacji.Wykonanie doprowadzenia wedlug wy¬ nalazku pozwala na obciazenie komory pieca prózniowego wielka moca przy wyso¬ kim napieciu nawet przy duzym wywiazy- — 2 —waniu sie ciepla na elektrodach bez obawy o nieprawidlowe dzialania komory do roz¬ pylania.Opisane doprowadzenia urzadzen do katodowego rozpylania mozna z korzyscia stosowac przy wszelkiego rodzaju napie¬ ciach, doprowadzanych do komory do roz¬ pylania, niezaleznie od tego, czy dopro¬ wadzenia te sa przeznaczone dla katody, anody czy tez elektrod pomocniczych.Równiez zastosowane w obwodach pomoc¬ niczych np. urzadzen napedowych lub za¬ rzeniowych doprowadzenia te umozliwia¬ ja doplyw energii elektrycznej o kazdej zadanej mocy i przy dowolnym napieciu bez obawy o niepozadane skutki. Dopro¬ wadzenia te zachowuja swe zalety zarówno przy stosowaniu pradu stalego jak i zmien¬ nego lub wyprostowanego pradu zmienne¬ go, a takze nadaja sie do stosowania pirzy napieciach dowolnie wielkiej czestotli¬ wosci.Poza tym, ze daje duza niezawodnosc pracy przy duzych mocach i wysokich tem¬ peraturach rozpylanych katod, oslona za¬ pobiega rozpylaniu wszystkich czesci, slu¬ zacych do przewodzenia pradu, a wyko¬ nanych nie z materialu, przeznaczonego do rozpylania.Prócz tego wedlug wynalazku izolator moze przykrywac calkowicie kolnierz prze¬ wodnika od strony komody prózniowej.Jest przy tym rzecza korzystna, by izo¬ lator posiadal wyzlobienie, w które wcho¬ dzi szczelnie metalowa oslona, otaczajaca w niewielkiej odleglosci doprowadzenie pradowe.Wreszcie izolator moze wchodzic cze¬ sciowo w otworze scianki naczynia pomie¬ dzy scianke otworu a metalowa oslone i oddzielac w ten sposób oslone od scianki naczynia. Oslona ta moze byc przy tym wykonana jako podzielna.Poza tym wedlug wynalazku przewod¬ nik doprowadzenia moze byc otoczony kil¬ koma ustawionymi wspólsrodkowo w nie¬ wielkiej od siebie odleglosci metalowymi oslonami, odizolowanymi od siebie i od przewodnika. Oslony te moga posiadac rózne napiecia wzgledem siebie i wzgledem przewodnika. Do podzialu napiecia na me¬ talowych oslonach stosuje sie najlepiej kondensatory lub opory lub kondensatory i opory jednoczesnie. Kolnierze oslon w celu ochrony izolatora moga byc zaopatrzo¬ ne w urzadzenia chlodzace.Daje to te korzysc, ze dzieki stopniowa¬ niu napiec pomiedzy poszczególnymi oslo¬ nami metalowymi w naczyniach próznio¬ wych mozna zupelnie niezawodnie stoso¬ wac wysokie napiecia przy duzych mocach.Urzadzenie takie daje mianowicie szczegól¬ ne korzysci przy doprowadzeniach elek¬ trod, do których napiecie doprowadza sie poprzez metalowe scianki naczynia. Przy tym zarówno do przewodnika, jak i do scianek naczynia moze byc przylaczone na¬ piecie ujemne. Równiez i przy stosowaniu pradu zmiennego doprowadzenie takie po¬ siada te same zalety.Wynalazek moze byc tez zastosowany, gdy przewodnikiem doprowadzenia jest podstawa katody. Wówczas metalowa podstawa katody jest otoczona w niewiel¬ kiej odleglosci metalowa oslona. W ten sposób metalowa oslona, otaczajaca pod¬ stawe katody w odleglosci mniejszej od grubosci poswiaty jarzenia, wytwarzajacej sie dookola katody, chroni sama podsta¬ we katody przed rozpyleniem. Najodpo¬ wiedniejsza odlegloscia oslony od podsta¬ wy okazala sie w praktyce odleglosc 1,5 — 3 mm.Metalowa podstawa katody moze byc tez wydrazona i chlodzona, aby cieplo od¬ prowadzane nie ogrzewalo materialu izola¬ cyjnego. Korzystnie jest równiez, gdy izola¬ tor jest umieszczony pomiedzy zewnetrz¬ na scianka komory do rozpylania a pod¬ stawa katody.Do gromadzenia i kierowania rozpylo¬ nych czastek moze sluzyc pole magnetycz- — 3 —ne, przy czym katoda miesci sie w obrebie pola sil.Uzywajac takiego doprowadzenia moz¬ na stosowac napiecia do 10000 V i wyzsze oraz moce do kilkuset watów bez obawy, ze przy dluzszej pracy urzadzenia czesci izolujace ulegna uszkodzeniu lub znisz¬ czeniu.Jezeli oslona wykonana jest z materia¬ lu izolujacego, to jako taki nadaje sie naj¬ lepiej material trudnotopliwy, topiacy sie np. powyzej 1200°C, jak kwarc, porcela¬ na, ciala z gliny, tlenku cyrkonu, tlenku toru, tlenku magnezu, tlenku berylu itd.Moze ona miec np. postac rury kwar¬ cowej.Wynalazek mozna równiez stosowac do takich urzadzen, w których scianki wlaczo¬ ne sa jako katoda, a przewód przechodzi przez scianke i jest od niej odizolowany.Wynalazek zostal wyjasniony szczegó¬ lowo na podstawie rysunku przedstawia¬ jacego kilka przykladów wykonania.Fig. 1—8 przedstawiaja rózne posta¬ cie wykonania dbprowadzenia elektrodo¬ wego naczynia do katodowego rozpylania z oslona przewodnika w ksztalcie tulei me¬ talowej wedlug wynalazku, fig. 9 przedsta¬ wia przekrój drugiej odmiany, a fig. 10 — trzeciej odmiany doprowadzenia, fig. 11 — przekrój przez doprowadzenie wraz z elektrycznym ukladem oporników i kon¬ densatorów, fig. 12 — przekrój przez urza¬ dzenie do katodowego' rozpylania z oslo¬ nieta podstawa katody i wreszcie fig. 13 — 19 przedstawiaja przekroje przez rózne in¬ ne doprowadzenia urzadzenia do rozpyla¬ nia katodowego.Na fig. 1, przedstawiajacej doprowa¬ dzenie do komory prózniowej 1 urzadzenia do rozpylania katodowego, cyfra 2 ozna¬ czona jest scianka np. metalowa komory prózniowej do rozpylania katodowego, do której przez otwór w tej sciance wprowa¬ dzony jest np. wydrazony od srodka prze¬ wodnik 3, który moze byc chlodzony chlo* dziwem, jak woda, olej lub powietrze. Chlo¬ dziwo doprowadza sie rura 4 a odprowadza rura 5. Przewodnik 3 jest otoczony w nie¬ wielkiej odleglosci rozszerzajaca sie na koncu cylindryczna metalowa tuleja 6, wy¬ stajaca w komorze prózniowej 1 tak dale¬ ko, by w zadnym przypadku wyladowania nie mogly przejsc przez waska pierscienio¬ wa szczeline pomiedzy przewodnikiem 3 a tuleja 6 do izolacji i uszczelnien, znaj¬ dujacych sie poza komora prózniowa. Izo¬ lator 7, wykonany np. z materialu cera¬ micznego, jest w celu uszczelnienia zaopa¬ trzony pomiedzy scianka 2 naczynia i kol¬ nierzem 10 przewodnika 3 w dwa pierscie¬ nie uszczelniajace 8 i 9, wykonane np, z olowiu, miedzi lub glinu. Pierscien 11 z materialu izolacyjnego mocno dociska kolnierz 10 przewodnika 3 za pomoca srub 12. Liczba 13 oznaczona jest koncówka przewodnika 3, a liczba 14 — kabel wioda¬ cy do przewodnika 3.Doprowadzenie wedlug fig. 2 rózni sie od przedstawionego na fig. 1 przede wszystkim tym, ze metalowa tuleja 6 po¬ siada na górnym swym koncu kolpak 15, utrudniajacy dojscie nosnikom ladunku i czastkom metalowym do waskiej prze¬ strzeni pierscieniowej pomiedzy przewo¬ dnikiem 3 a metalowa tuleja 6. Poza tym pomiedzy izolatorem 7 a przewodnikiem 3 znajduje sie w przedluzeniu szczeliny, po¬ miedzy metalowa tuleja 6 i przewodnikiem 3, przestrzen 16, która przedluza droge pradów pelzajacych. Cyframi 8 i 9 ozna¬ czone sa dwa pierscienie uszczelniajace wykonane np. z gumy. Na fig. 2 nie uwi¬ doczniono srub 12, dociskajacych pierscien 11 z materialu izolacyjnego.Doprowadzenie wedlug fig. 3 rózni sie od przedstawionego na fig. 2 tym, ze po¬ laczony z kablem 14 przewodnik 3 posia¬ da kolpak 15', który obejmuje górny ko¬ niec metalowej tulei 6, nie stykajac sie z nia. W ten sposób równiez zamyka sie dostep nosnikom ladunku i czastkom par — 4 -metali do przestrzeni pomiedzy przewod¬ nikiem a tuleja metalowa.Doprowadzenie wedlug fig. 4 odznacza sie tym, ze jego przewodnik 3' i metalowa oslona 6' sa schodkowe, dzieki czemu za¬ wieraja pomiedzy soba przestrzen labiryn¬ towa 17, uniemozliwiajaca dostep nosni¬ kom ladunku i czastkom par metalu do izolacji 7. Przewodnik 3' moze byc chlo¬ dzony. Cyfra 8 oznaczony jest pierscien metalowy, uszczelniajacy oslone 6' przy sciance 2 naczynia. Oslona 6' moze byc tez spojona na stale ze scianka naczynia.Przy dostatecznie duzej grubosci scianki 2 schodkowe wyzlobienia moga byc wyko¬ nane przez bezposrednia obróbke mecha¬ niczna samej scianki.Doprowadzenie wedlug fig. 5 odznacza sie tym, ze jego metalowa oslona 6" jest wykonana w postaci wydrazonego chlo¬ dzonego plaszcza, do którego doprowadza chlodziwo rura 18, a odprowadza rura 39.W doprowadzeniu wedlug fig. 6 meta¬ lowa oslona przewodnika 3 jest utworzo¬ na z wezownicy chlodzacej 20, zaopatrzo¬ nej w rure wlotowa 21 i wylotowa 22. Ru¬ ry 21 i 22 sa przeprowadzone gazoszczel¬ nie przez dno 2 pieca prózniowego.Urzadzenie wedlug fig. 7 odznacza sie tym, ze scianka 2 jego naczynia próznio¬ wego jest zaopatrzona w kanal chlodza¬ cy 23, do którego chlodziwo wprowadza sie rura 24, Rura 24% sluzy do odprowa¬ dzenia chlodziwa. W tym przypadku scianka pieca prózniowego stanowi jedno¬ czesnie metalowa oslone przewodnika 3.Urzadzenie wedlug fig. 8 jest znamien¬ ne tym, ze scianka 2 komory posiada cy¬ lindryczne wydluzenie 25, wewnatrz któ¬ rego osadzony jest izolator 26 i uszczel¬ nienie 27 z gumy. Pierscien dociskajacy IV z materialu izolacyjnego dociska za posrednictwem nakretki 28 izolator i uszczelnienie do scianki komory. Liczba 13 oznaczona jest koncówka, a cyfra 4 ru¬ ra doprowadzajaca chlodziwo. Przewod¬ nik 3" jest otoczony w niewielkiej odle¬ glosci metalowa tuleja oslaniajaca 6.W razie potrzeby przewodnik 3" moze byc przeprowadzony przez cale naczynie prózniowe, przy czym wtedy równiez i na drugim swym koncu zewnatrz naczynia jest zabezpieczony analogicznym urzadze¬ niem oslaniajacym, izolujacym i uszczel¬ niajacym.Urzadzenie wedlug fig. 9 rózni sie od urzadzenia wedlug fig. 2 tym, ze izolator 7 posiada zlobek 30, w którym osadzona jest tuleja metalowa 6, otaczajaca w niewiel¬ kiej odleglosci przewodnik 3. Osiaga sie przez to te korzysc, ze przy wysokim na¬ pieciu unika sie iskrzenia krawedzi tulei oslaniajacej, ukrytych calkowicie w izola¬ torze.Urzadzenie wedlug fig. 10 rózni sie od urzadzenia wedlug fig. 9 tym, ze izolator posiada czesc 31, wchodzaca w przestrzen pomiedzy scianka otworu, wykonanego w naczyniu, a tuleja oslaniajaca, Czesc ta oddziela tuleje od scianki naczynia 2 i w ten sposób izoluje. Tuleja oslaniajaca moj ze skladac sie z kilku czesci 32, 33, 34, wskutek czego przerywa sie przeplyw ciepla przez tuleje. Liczba 35 oznaczona jest tuleja oslonna, oslaniajaca izolator.Wedlug fig. 11 przewodnik 3 jest oto¬ czony wieloma, np. czterema, cylindrycz¬ nymi metalowymi tulejami 6a, 6b, 6c, 6d.Tuleje te na jednych koncach posiadaja kolnierze, podczas gdy drugie ich konce wystaja w komorze 1 do rozpylania tak daleko, ze ani wyladowania, ani czastki metalu z komory pieca nie moga sie prze¬ dostac przez waska przestrzen pierscie¬ niowa pomiedzy przewodnik 3 a tuleje 6a, jak i przez przestrzenie miedzy pozostaly¬ mi tulejami do izolacji i uszczelnien, umieszczonych na zewnatrz komory próz¬ niowej rpieca. Izolacje tworza pierscienie 7a, 7b, 7c, 7d. Liczbami 36 — 39 oznaczo¬ ne sa stale lub zmienne oporniki, a liczba¬ mi 40 — 43 stale lub zmienne kondensa- - 5 —tory, przeznaczone do podzialu napiec tu- lei oslaniajacych. Opisane doprowadzenie znosi bez szkody dla izolacji napiecia do kilkudziesieciu tysiecy woltów, nawet przy wysokich temperaturach wewnatrz naczynia prózniowego.Wedlug fig. 12 na dnie 2 komory do rozpylania katodowego spoczywa gazo¬ szczelnie zdejmowalna czesc górna 44 na¬ czynia. Anoda 45 i katoda 46 sa zasilane ze zródla pradu, nie uwidocznionego na rysunku. Liczba 47 oznaczony jest przed¬ miot, przeznaczony do napylenia, liczba 48 — podstawa, na której osadzona jest katoda 46. Podstawa 48 jest wprowadzo¬ na do komory do rozpylania przez otwór w dnie 2, odizolowana, np. za pomoca gu¬ mowej plyty izolacyjnej 49, i umocowana za pomoca srub 12, posrednich czesci me¬ talowych 50 i 51 i izolatorów 52 i 53. Pod¬ stawa 48 moze byc wydrazona i zaopa¬ trzona w rury 4 i 5, doprowadzajaca i od¬ prowadzajaca chlodziwo. Liczba 54 ozna¬ czony jest króciec umieszczony w dnie na¬ czynia i sluzacy do polaczenia z pompa prózniowa, a liczba 55 — króciec do do¬ prowadzania do naczynia gazu.Wedlug wynalazku w niewielkiej od¬ leglosci od podstawy 48 umieszczona jest metalowa tuleja 56 np. w postaci rury me¬ talowej, posiadajaca na swym górnym koncu metalowa zdejmowana pokrywe 57, zaopatrzona w otwór. Metalowa tuleja wzglednie rura 56 jest umocowana w na¬ czyniu za pomoca izolatora 58. Mozna tez nie stosowac izolatora 58 i w tym przy¬ padku metalowa rura 56 jest umocowana bezposrednio np. w metalowym dnie 2 na¬ czynia. Metalowa rura 56 moze byc pola¬ czona z dodatnim biegunem zródla pradu.Mozna tez dodatni biegun napiecia przy¬ laczyc np. do plyty 2, w której umocowa¬ na jest tuleja metalowa 56, albo tez do scianek naczynia do rozpylania, o ile jest ono wykonane z metalu. Liczba 59 ozna¬ czona jest cewka, przez która przeplywa prad, wytwarzajac pole magnetyczne kie¬ rujace rozpylanymi czastkami i osadzaja¬ ce je.Wedlug fig. 13 przewodnik 3 jest oto¬ czony izolatorem 60 np. w postaci rury kwarcowej, przy czym pomiedzy izolato¬ rem a przewodnikiem znajduje sie szcze¬ lina 61, tak waska, ze nie moze w niej po¬ wstac samoczynne wyladowanie jarzace.Czesci 8 i 9 sa pierscieniami uszczelniaja¬ cymi izolator 7. Liczba 11 oznaczony jest pierscien izolujacy i dociskajacy, dociska¬ ny izolowanymi srubami 12. Sruby 12 sa otoczone izolacja 62. Rura kwarcowa 60 jest otoczona w swej dolnej czesci chlo¬ dzona metalowa scianka 2' naczynia próz¬ niowego. Przewodnik 3 posiada nasrubo- wany metalowy kolpak 15", który cze¬ sciowo otacza w niewielkiej odleglosci swa czescia 63 izolator 60, np. w postaci rury kwarcowej, tak ze szczelina 64 wraz ze szczelina 61 tworza labirynt.Doprowadzenie wedlug fig. 14 rózni sie od opisanego w zwiazku z fig. 13 tylko tym, ze izolator, np. w postaci rury kwar¬ cowej 60, jest chlodzony za pomoca chlod¬ nicy 65, do której doprowadza sie chlodzi¬ wo przez rure 66, a odprowadza przez ru¬ re 67. Chlodnica 65 otacza przy tym rure kwarcowa i przylega do niej oraz posiada wewnatrz scianke 68 kierujaca chlodzi¬ wem.Doprowadzenie wedlug fig. 15 rózni sie od opisanego w zwiazku z fig. 14 tylko tym, ze rura kwarcowa 60 jest oddzielona od chlodzacej scianki 2' waska szczeli¬ na 69.Na fig. 16 przewodnik 3 jest otoczony izolatorem 70 np. z porcelany, który don dookola przylega, a pomiedzy izolatorem i górna czescia 3' przewodnika 3 znajduje sie waska przestrzen 71 np. o ksztalcie czaszy. Izolator 70 jest przymocowany do doprowadzenia za pomoca elastycznego kitu. Liczbami 72 i 73 oznaczone sa czesci z olowiu lub miedzi, zastosowane w celu — 6 —równomiernego rozlozenia naprezen w izolatorze.Pomiedzy izolatorem 70 i chlodzona metalowa scianka pieca znajduje sie druga szczelina ochronna 74. Liczba 75 oznaczo¬ ny jest inny izolator, liczba 76 — szczeli¬ wo np. z gumy, liczba 77 — pierscien izo¬ lujacy, a liczba 78 —- gwintowany pier¬ scien metalowy.Wedlug fig. 17 przewodnik 3 anodowe¬ go doprowadzenia jest otoczony scianka 2 naczynia prózniowego, stanowiaca katode.Pomiedzy przewodnikiem 3 a scianka 2 znajduje sie waska szczelina pierscienio¬ wa 79, uchodzaca do wnetrza naczynia prózniowego. Przewodnik doprowadzenia anodowego jest wewnatrz wydrazony.Izolator 7 posiada uskok 16, stanowiacy przedluzenie szczeliny 79, Doprowadzenie anodowe wedlug fig. 18 odznacza sie tym, ze pomiedzy chlo¬ dzonym przewodnikiem 3 a chlodzona scianka 2 naczynia, stanowiaca katode, znajduje sie izolowana metalowa posred¬ nia oslona 80, o napieciu anody lub elek¬ trycznie obojetna, odgrodzona z obu stron szczelinami 81 i 82. W przypadku, gdy metalowa posrednia oslona 80 stanowi anode, przewodnik 3 moze pozostac elek¬ trycznie obojetny. Liczbami 83 i 84 ozna¬ czone sa metalowe pokrywy, które two¬ rza odpowiednie szczeliny. Liczba 85 oznaczony jest kolpak wykonany z metalu wzglednie z materialu izolacyjneigo. Cyfra 8 oznaczone sa pierscienie uszczelniajace, liczbami 86 i 87 — pierscienie izola¬ cyjne. Liczbami 88 — 91 oznaczone sa pierscienie centrujace, wykonane np. z metalu.Doprowadzenie anodowe wedlug fig. 19 odznacza sie tym, ze izolator 92 przy¬ lega do chlodzonej scianki 2 naczynia, tworzacego katode, a pomiedzy nim i przewodnikiem powstaje waska szczeli¬ na 93- W tym przypadku izolator chlodzi sie od scianki naczynia. PL

Claims (30)

  1. Zastrzezenia patentowe. 1. Urzadzenie do katodowego rozpyla¬ nia o sciance metalowej, przez która prze¬ chodzi odizolowany od niej przewód do¬ prowadzajacy prad do elektrody, zna¬ mienne tym, ze w celu ochrony izolacji (7) przewodnik katodowy (3) jest otoczony oslona (6 wzglednie 60) w takiej odleglo¬ sci i o takiej dlugosci, aby nosniki ladun¬ ków wyladowan jarzeniowych nie mogly docierac do izolacji.
  2. 2. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, zna¬ mienne tym, ze odleglosc pomiedzy prze¬ wodnikiem katodowym (3) i oslona (6 wzglednie 60} jest mniejsza od odleglo¬ sci brzegu poswiaty jarzenia od katody.
  3. 3. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, 2, zna¬ mienne tym, ze oslona (6 wzglednie 60) jest metalowa.
  4. 4. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 — 3, znamienne tym, ze przewodnik katodowy (3) ma postac ciala wydrazonego i jest ewentualnie zaopatrzony wewnatrz w urzadzenie chlodzace.
  5. 5. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 — 4, znamienne tym, ze szczelina miedzy oslo¬ na i przewodnikiem jest labiryntowa.
  6. 6. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 — 5, znamienne tym, ze oslona (6 Wzglednie 60) posiada przy jednym koncu kolpak (15, 15\ 15"), zaopatrzony w otwór.
  7. 7. Urzadzenie wedlug zastrz. 6, zna¬ mienne tym, ze kolpak (15\ 15") jest po¬ laczony z przewodnikiem katodowym (3) doprowadzenia i obejmuje koniec oslony (6, 60) nie stykajac sie z nia (fig. 3, 13).
  8. 8. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 — 7, znamienne tym, ze izolator (7) jest umieszczony pomiedzy kolnierzem (10) przewodnika katodowego (3) a zewnetrz¬ na strona scianki (2) komory (1).
  9. 9. Urzadzenie wedlug zastrz. 8, zna¬ mienne tym, ze izolator (7) stanowi jed¬ noczesnie uszczelke gazoszczelna.
  10. 10. Urzadzenie wedlug zastrz. 8, 9, — 7 —znamienne tym, ze izolator (7) jest wyko- liany z materialu nieelastycznego, jak szklo, kwarc, porcelana, mika* ebonit, pertinaks, sztuczna zywica itd. i posiada na powierzchniach styku tarcze uszczel¬ niajace (8, 9) z materialów odksztalcaja¬ cych sie latwo pod wplywem cisnienia, a wiec z gumy lub z metali, jak olów, miedz, glin itd.
  11. 11. Urzadzenie wedlug zastrz. 8 — 10, znamienne tym, ze równiez i scianki ko¬ mory (1)9 w miejscach przylegania do nich uszczelnien i izolacji, posiadaja urzadzenia chlodzace (fig. 7, 14).
  12. 12. ^ Urzadzenie wedlug zastrz. 1 —r 11* znamienne tym, ze równiez i oslona (6", 60) przewodnika katodowego (3) jest za¬ opatrzona w urzadzenia chlodzace (fig. 5, 14).
  13. 13. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 — 12, znamienne tym, ze izolator (7) zakrywa calkowicie od strony komory (1) kolnierz (10) przewodnika katodowego (3), zwlasz¬ cza, jezeli przewodnik prowadzi do kato¬ dy (fig. 9).
  14. 14. Urzadzenie wedlug zastrz. 13, zna¬ mienne tym, ze izolator (7) posiada zlo¬ bek (30), w który szczelnie wchodzi me¬ talowa oslona (6) (fig. 9),
  15. 15. Urzadzenie wedlug zastrz. 13, 14, znamienne tym, ze izolator (7) wchodzi czesciowo pomiedzy scianke otworu a oslone metalowa i odgradza oraz izoluje w ten sposób oslone od scianki (2) komo- ry (1) (fig. 10).
  16. 16. Urzadzenie wedlug zastrz. 13 — 15, znamienne tym, ze oslona metalowa sklada sie z kilku czesci (32 — 34).
  17. 17. Urzadzenie wedlug zastrz. 13 — 16, znamienne tym, ze oslona metalowa jest otoczona tuleja ochronna (35).
  18. 18. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 — 17, znamienne tym, ze przewodnik katodo¬ wy (3) doprowadzenia jest otoczony kil¬ koma wspólsrodkowymi metalowymi oslo¬ nami (6a —• 6d), odizolowanymi od siebie oraz od przewodnika (3) (fig. 11).
  19. 19. Urzadzenie wedlug zastrz. 18, zna¬ mienne tym, ze metalowe oslony (6a — 6d) sa przylaczone do róznych napiec elektrycznych.
  20. 20. Urzadzenie wedlug zastrz. 18, 19, znamienne tym, ze posiada kondensatory (40 ^ 43) lub oporniki (36 — 39) wzgled¬ nie kondensatory i oporniki do podzialu i regulacji napiecia pomiedzy metalowymi oslonami (6a — 6d).
  21. 21. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 — 20, znamienne tym, ze metalowa oslona (3) doprowadzenia, bedacego podstawa kato¬ dy (46)y jest polaczona galwanicznie z ko¬ mora do rozpylania.
  22. 22. Urzadzenie wedlug zastrz 21, zna¬ mienne tym, ze metalowa oslone tworza j metalowe scianki komory (1).
  23. 23. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 — 22, znamienne tym, ze zawiera urzadzenie wytwarzajace pole magnetyczne do kiero¬ wania i osadzania czastek rozpylonych z katody.
  24. 24. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, zna¬ mienne tym, ze oslona izolacyjna (60) jest wykonana z trudnotopliwego materialu, topiacego sie najlepiej powyzej 1200° C, jak kwarc, porcelana, ciala z gliny, tlenku cyrkonu, tlenku toru, tlenku magnezu, tlenku berylu itd.
  25. 25. Urzadzenie wedlug zastrz. 24, zna¬ mienne tym, ze oslona izolacyjna jest cze^ sciowo otoczona przewodnikiem (fig. 13,16).
  26. 26. Urzadzenie wedlug zastrz. 24, 25, znamienne tym, ze oslona izolacyjna jest otoczona calkowicie lub czesciowo meta¬ lowa oslona (63, 3').
  27. 27. Urzadzenie wedlug zastrz. 26, zna¬ mienne tym, ze metalowa oslona (63, 3') jest izolowana.
  28. 28. Urzadzenie wedlug zastrz. 26, 27, znamienne tym, ze metalowa oslona (63t — 8 —y) jest przylaczona do napiecia przeciw¬ nego znaku niz przewodnik katodowy (3).
  29. 29. , Urzadzenie wedlug zastrz. 24 — 28, znamienne tym, ze pomiedzy oslona izo¬ lacyjna (60) a metalowa scianka (2) na¬ czynia (1) znajduje sie równiez waska szczelina ochronna.
  30. 30. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, zna¬ mienne tym, ze grubosc szczeliny pomie¬ dzy przewodnikiem katodowym (3) a oslona izolacyjna (60) jest mniejsza od 10 mm i najkorzystniej wynosi 0,1 do 3 mm. Bernhard Berghaus Zastepca: inz, Cz, Raczynski rzecznik patentowy Staatsdrluckerei Warschau — Nr. 12854/43.Do opisu patentowego Nr 31719 Ark. 1 t^/cr. / A/ rs&3Do opisu patentowego Nr 31719 Ark. 2 ¦*&• f^/y. <$ -H22Do opisu patentowego Nr 31719 Ark. 3Do opisu patentowego Nr 31719 Ark. 4Do opisu patentowego Nr 31719 Ark. 5 ^ //Do opisu patentowego Nr 31719 Ark. 6 fZDo opisu patentowego Nr 31719 Ark. 7 £~/j. /3 TO-/2 7J%Do opisu patentowego Nr 31719 Ark. 8 Fiy./4 67Do opisu patentowego Nr 31719 Ark. 9 rs9. /6Do opisu patentowego Nr 31719 Ark. 10 C7 '?' /5Do opisu patentowego Nr 31719 Ark. 11 ^¦/y. /7Do opisu patentowego Nr 31719 Ark. 12 r&/3 €SDo opisu patentowego Nr 31719^ Ark. 13 / /9 PL
PL31719A 1939-03-22 PL31719B1 (pl)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL31719B1 true PL31719B1 (pl) 1943-05-31

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR890003654B1 (ko) 오존 발생장치
CN104078299B (zh) 用于离子注入装置的高电压电极的绝缘结构
US2219614A (en) Electrical discharge apparatus
JPS62120472A (ja) 電弧蒸着方法及び装置
US20110280774A1 (en) Ozone generating apparatus
CA1241704A (en) Plasma torch
TWI625755B (zh) Insulation structure, ion source device, ion implantation device and insulation method
US4622122A (en) Planar magnetron cathode target assembly
JPH0416279B2 (pl)
US2219611A (en) Leading-in insulator
GB506123A (en) Improvements in or relating to gas- or vapour-filled electric discharge devices
JP2017509299A (ja) 電力供給ユニット
PL31719B1 (pl)
FI100679B (fi) Tasavirtavalokaariuuni sekä menetelmä sen käyttämiseksi
KR100711529B1 (ko) 아크-프리 전자총
US4540868A (en) Plasma gun that reduces cathode contamination
US4879017A (en) Multi-rod type magnetron sputtering apparatus
US1011160A (en) Mercury-rectifier.
US2762945A (en) Passing an electric conductor through the bounding walls of discharge vessels
SE427251B (sv) Anordning for strenggjutning av trad
US3671703A (en) Device for crucible-free, floating zone melting a crystalline
US3381158A (en) Apparatus for reducing the extent to which a metal electrode is consumed in an apparatus which operates with an electric arc
CN100533642C (zh) 具有改进气体传输的离子源
US3129351A (en) Multielectrode arc assembly
JP2765300B2 (ja) イオン源