PL223306B1 - Czujnik do pomiaru lepkości akustycznej cieczy oparty na monolitycznym filtrze kwarcowym - Google Patents

Czujnik do pomiaru lepkości akustycznej cieczy oparty na monolitycznym filtrze kwarcowym

Info

Publication number
PL223306B1
PL223306B1 PL391481A PL39148110A PL223306B1 PL 223306 B1 PL223306 B1 PL 223306B1 PL 391481 A PL391481 A PL 391481A PL 39148110 A PL39148110 A PL 39148110A PL 223306 B1 PL223306 B1 PL 223306B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
sensor
electrodes
viscosity
filter
plate
Prior art date
Application number
PL391481A
Other languages
English (en)
Other versions
PL391481A1 (pl
Inventor
Waldemar Soluch
Tadeusz Wróbel
Original Assignee
Inst Tech Materiałów Elektronicznych
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inst Tech Materiałów Elektronicznych filed Critical Inst Tech Materiałów Elektronicznych
Priority to PL391481A priority Critical patent/PL223306B1/pl
Publication of PL391481A1 publication Critical patent/PL391481A1/pl
Publication of PL223306B1 publication Critical patent/PL223306B1/pl

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Description

Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest czujnik do pomiaru lepkości akustycznej cieczy oparty na monolitycznym filtrze kwarcowym.
Najczęściej w pomiarach lepkości cieczy stosowany jest lepkościomierz Brookfield'a, przy zastosowaniu którego lepkość cieczy określa się przez pomiar momentu siły niezbędnego do pokonania oporu przez obrotowy cylinder zanurzony w cieczy. Do pomiaru w ten sposób wymagana jest duża objętość próbki cieczy.
Z literatury znany jest również czujnik oparty na monolitycznym filtrze kwarcowym, czyli podzespole wykonanym na piezoelektrycznej płytce kwarcowej, utworzonym przez dwa sprzężone akustycznie rezonatory z akustyczną falą objętościową. Po jednej stronie płytki kwarcowej są dwie metalowe elektrody, a po drugiej - jedna metalowa elektroda.
Czujnik ten służy do pomiaru lepkości akustycznej cieczy ąak, określanej przez zależność: hak = hd · P, gdzie: ąd - lepkość dynamiczna cieczy, ρ - gęstość cieczy.
Filtr funkcjonuje jako czujnik lepkości akustycznej po naniesieniu cieczy na t ą stronę płytki kwarcowej, gdzie jest jedna elektroda. Akus tyczne fale objętościowe oddziaływują na powierzchnię fazy ciało stałe-ciecz. Przy zmianie lepkości cieczy zmienia się rezystancja i indukcyjność dyn amiczna rezonatorów, zmienia się tłumienność wtrąceniowa filtru, co pozwala na pomiar lepkości cieczy. Tłumienność wtrąceniowa jest wprost proporcjonalna do pierwiastka kwadratowego z lepkości akustycznej.
Z publikacji M.G.Schwycr i in.. Proc. IEEE Intern. Freq. Contr. Symp., 1997, pp. 32-40, znany jest filtr monolityczny funkcjonujący jako czujnik lepkości, w którym dokładnie pod dwoma aluminiowymi elektrodami naniesionymi po jednej stronie okrągłej płytki kwarcowej usytuowana jest pojedyncza, aluminiowa elektroda po drugiej stronie płytki. Jednak filtr ten charakteryzuje się dużą tłumiennością wtrąceniową około 15 dB, co pozwala na pomiar lepkości w ograniczonym zakresie do około 55 mPa^s.
Z opisu patentowego WO 2005114138 znana jest metoda pomiaru gęstości i lepkości cieczy oparta na filtrze monolitycznym. Metoda ta wykorzystuje sygnały rezonansowych częstotliwości drgań symetrycznych i antysymetrycznych, które po przejściu przez odpowiednie układy elektroniczne są wykorzystane do określenia gęstości i lepkości cieczy. Ponadto w opisie omówiono różne sposoby wykonania pojedynczej elektrody pokrywającej w całości jedną z powierzchni płytki piezoelektrycznej.
Celem wynalazku było opracowanie takiej konstrukcji czujnika, która pozwala na osiągnięcie małej tłumienności wtrąceniowej, a tym samym umożliwia pomiar lepkości akustycznej cieczy w szerokim zakresie.
Czujnik według wynalazku, w którym filtr monolityczny ma dwie identyczne elektrody po jednej stronie płytki kwarcowej oraz jedną elektrodę pokrywającą całą powierzchnię jej drugiej strony, charakteryzuje się tym, że stosunek powierzchni płytki kwarcowej do powierzchni jednej z dwóch identycznych elektrod zawiera się w przedziale 10-30.
Wszystkie trzy elektrody po obu stronach płytki kwarcowej wykonane są korzystnie ze złota, przy czym grubość warstwy złota dwóch identycznych elektrod zawiera się najkorzystniej w przedziale 0,5-1,5 ąm. Grubość płytki kwarcowej zawarta jest korzystnie w przedziale 0,5-1 mm.
Elektroda pokrywająca w całości drugą stronę płytki jest połączona elektrycznie z masą układu pomiarowego korzystnie za pomocą silikonu przewodzącego prąd elektryczny. Impedancja wejściowa i wyjściowa filtru monolitycznego stanowiącego czujnik jest korzystnie dopasowana transformatorowo do impedancji układu pomiarowego.
Czujnik według wynalazku posiada charakterystykę amplitudową typowego filtru przepustowego o bardzo małej tłumienności wtrąceniowej poniżej 2 dB, co umożliwia pomiar lepkości w szerokim zakresie 1-1200 mP^s.
Konstrukcja czujnika według wynalazku pozwala na pomiar lepkości cieczy w układzie transm isyjnym przez określenie zależności tłumienności wtrąceniowej filtru w paśmie przepustowym filtru od lepkości cieczy.
Czujnik według wynalazku jest bliżej objaśniony w przykładzie wykonania odtworzonym na rysunku, na którym fig. 1, fig. 2, fig. 3, fig. 4 i fig. 5 przedstawiają czujnik w konkretnym przypadku jego
PL 223 306 B1 wykonania omówionym w przykładzie, przy czym fig. 1 i fig. 2 przedstawiają płytkę kwarcową z naniesionymi elektrodami odpowiednio w widoku z góry i w widoku z boku, fig. 3 przedstawia konstrukcję czwórnika pomiarowego w widoku z boku, fig. 4 - płytką kwarcową umocowaną na pokrywie czwórnika pomiarowego w widoku z boku, zaś fig. 5 przedstawia schemat elektryczny czujnika z dopasowaniem transformatorowym impedancji filtru do impedancji układu pomiarowego.
P r z y k ł a d. Czujnik przedstawiony na rysunku, ma po jednej stronie prostokątnej płytki kwarcowej K o polu powierzchni S1 = 459 mm umieszczone dwie identyczne złote elektrody E1, każda o powierzchni S2 = 24,5 mm , zaś po drugiej stronie płytki K ma umieszczoną jedną złotą elektrodę E2 pokrywającą całą powierzchnię S1 płytki K. Stosunek powierzchni S1 płytki K do powierzchni S2 jednej z elektrod E1 wynosi około 19. Grubość warstwy złota elektrod E1 wynosi 1 μm, zaś elektrody E2 - 0,1 μm.
Płytka kwarcowa K o grubości 0,5 mm zamocowana jest na pokrywie P czwórnika pomiarowego C. Płytka K umieszczona jest stroną z elektrodą E2 na zewnątrz pokrywy P na uszczelce U z silikonu przewodzącego prąd elektryczny. Uszczelka U, wykonana w kształcie ramki, przylega do krawędzi płytki K, zapewniając kontakt elektryczny elektrody E2 z układem pomiarowym, jednocześnie zabezpieczając elektrody E1 przed zalaniem przy naniesieniu badanej cieczy na elektrodę E2. Płytka K jest dociskana do pokrywy P przez ramkę metalową D. Impedancja wejściowa i wyjściowa filtru jest dop asowana do impedancji układu pomiarowego przez zastosowanie transformatorów TR o przekładni zapewniającej uzyskanie tłumienności wtrąceniowej filtru mniejszej niż 2 dB. Czujnik funkcjonuje na częstotliwości około 3,6 MHz i umożliwia pomiar lepkości w zakresie 1+1200 mPa-s.

Claims (5)

  1. Zastrzeżenia patentowe
    1. Czujnik do pomiaru lepkości akustycznej cieczy oparty na monolitycznym filtrze kwarcowym, który po jednej stronie prostokątnej płytki kwarcowej ma dwie identyczne elektrody oraz jedną elektrodę pokrywającą całą powierzchnię jej drugiej strony, znamienny tym, że stosunek powierzchni (S1) płytki kwarcowej (K) do powierzchni (S2) jednej z dwóch elektrod (E1) zawiera się w przedziale 10+30.
  2. 2. Czujnik według zastrz. 1, znamienny tym, że ma obydwie elektrody (E1) i trzecią (E2) po drugiej stronie płytki (K) ze złota, przy czym grubość warstwy złota elektrod (E1) jest korzystnie zawarta w przedziale 0,5+1,5 μm.
  3. 3. Czujnik według zastrz. 1, znamienny tym, że grubość płytki kwarcowej (K) zawarta jest w przedziale 0,5+1 mm.
  4. 4. Czujnik według zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, że elektroda (E2) jest połączona elektrycznie z układem pomiarowym za pomocą silikonu przewodzącego prąd elektryczny.
  5. 5. Czujnik według zastrz. 1, znamienny tym, że impedancja wejściowa i wyjściowa filtru monolitycznego jest dopasowana do impedancji układu pomiarowego za pomocą transformatorów (TR).
PL391481A 2010-06-11 2010-06-11 Czujnik do pomiaru lepkości akustycznej cieczy oparty na monolitycznym filtrze kwarcowym PL223306B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL391481A PL223306B1 (pl) 2010-06-11 2010-06-11 Czujnik do pomiaru lepkości akustycznej cieczy oparty na monolitycznym filtrze kwarcowym

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL391481A PL223306B1 (pl) 2010-06-11 2010-06-11 Czujnik do pomiaru lepkości akustycznej cieczy oparty na monolitycznym filtrze kwarcowym

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL391481A1 PL391481A1 (pl) 2011-12-19
PL223306B1 true PL223306B1 (pl) 2016-10-31

Family

ID=45374256

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL391481A PL223306B1 (pl) 2010-06-11 2010-06-11 Czujnik do pomiaru lepkości akustycznej cieczy oparty na monolitycznym filtrze kwarcowym

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL223306B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL391481A1 (pl) 2011-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Zamora et al. Monolithic single PMUT-on-CMOS ultrasound system with+ 17 dB SNR for imaging applications
US20230142881A1 (en) Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer
RU2382441C2 (ru) Электроакустический сенсор для сред с высоким давлением
CN102933319B (zh) 机电换能器装置和分析物信息获取设备
CN101304067B (zh) 一种压电复合材料及其制备方法
JP2021136500A (ja) フィルタおよびマルチプレクサ
EP3635382A1 (en) A surface acoustic wave resonant sensor
DE112005000037B4 (de) Piezoelektrischer elektroakustischer Wandler
EP3540422B1 (en) Monolithic gas sensor arrangement, manufacturing method and measurement method
PL223306B1 (pl) Czujnik do pomiaru lepkości akustycznej cieczy oparty na monolitycznym filtrze kwarcowym
Midtbo et al. Fabrication and characterization of CMUTs realized by wafer bonding
Zhou et al. Extracting the electromechanical coupling constant of piezoelectric thin film by the high-tone bulk acoustic resonator technique
US7288878B1 (en) Piezoelectric transducer assembly
Yaacob et al. Modeling of circular piezoelectric micro ultrasonic transducer using CuAl10Ni5Fe4 on ZnO film for sonar applications
RU73488U1 (ru) Датчик механических и электрических параметров жидкости
Lascaud et al. Investigation of ultrasonic absorption in the MHz frequency range by silicon substrates with a built-in porous silicon layer
US11811390B2 (en) Resonator devices and methods of fabricating resonator devices
Ali et al. Higher-order wine glass mode piezoelectric square resonator with improved quality factor in water
CN205945669U (zh) 一种平面结构增益补偿型saw器件
Filipiak et al. SAW delay line for vibration sensors
Gottlieb et al. High frequency copolymer annular array ultrasound transducer fabrication technology
Anisimkin et al. Characteristic features of excitation and propagation of acoustic modes in piezoelectric plates
KR20080016624A (ko) 전자음향 공진기, 필터, 듀플렉서 그리고 공진기의파라미터를 결정하기 위한 방법
Brown New extremely broadband ferroelectric polymer ultrasound transducers
Zhang et al. Enhanced sensitivity of a surface acoustic wave gyroscope