PL150288B1 - Urządzenie do wytwarzania warstw powierzchniowych na metalach - Google Patents
Urządzenie do wytwarzania warstw powierzchniowych na metalachInfo
- Publication number
- PL150288B1 PL150288B1 PL26367187A PL26367187A PL150288B1 PL 150288 B1 PL150288 B1 PL 150288B1 PL 26367187 A PL26367187 A PL 26367187A PL 26367187 A PL26367187 A PL 26367187A PL 150288 B1 PL150288 B1 PL 150288B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- working chamber
- screen
- chamber
- heating
- cathode
- Prior art date
Links
Landscapes
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
Description
OPIS PATENTOWY
150 288
RZECZPOSPOLITA
POLSKA
CZYTELNIA
URZĄD
PATENTOWY
RP
Patent dodatkowy do patentu nr--Zgłoszono: θ? θ1 1θ (P. 263671)
Pierwszeństwo Urzędu Patentowego hipisi t| Liaml
Int. Cl.5 C23C 8/36
Zgłoszenie ogłoszono: 88 09 15 Opis patentowy opublikowano: 1990 10 31
Twórcy wynalazku: Tadeusz Wierzchoń, Jerzy Michalski, Tadeusz Karpiński Uprawniony z patentu: Politechnika Warszawska, Warszawa (Polska)
URZĄDZENIE DO WYTWARZANIA WARSTW POWIERZCHNIOWYCH NA METALACH
Przedmiotem wynalazku jest urządzenie do wytwarzania warstw powierzchniowych na metalach stosowane w procesach obróbki cieplno-chemicznej w warunkach wyładowania jarzeniowego.
Znane z polskiego opisu patentowego nr 112 135 urządzenie do wytwarzania dyfuzyjnych warstw powierzchniowych w wyładowaniu jarzeniowym przedmiotów obrabianych, stanowi komorę roboczą o ścianach chłodzonych wodą, przystosowaną do napełniania środowiskiem gazowym oraz zaopatrzone w zasilacz napięcia stałego. Wewnątrz komory roboczej umieszczony jest metalowy cylindryczny ekran zaopatrzony w przewód do doprowadzania środowiska gazowego, zaś obrabiany przedmiot jest umieszczony w przestrzeni otoczonej ekranem, który stanowi anodę, natomiast przedmiot obrabiany stanowi katodę.
Znane z polskiego opisu patentowego nr 147 600 urządzenie do wytwarzania dyfuzyjnych warstw powierzchniowych, wyposażone w przepust prądowy, poprzez który jest połączona katoda wraz z przedmiotami obrabianymi umiesżczonymi na wsporniku.
Obróbka cieplno-chemiczna przedmiotów metalowych przeprowadzana z wykorzystaniem zjawiska wyładowania jarzeniowego, polega na tym, źe przedmioty obrabiane, stanowiące katodę ogrzewane są w środowisku gazowym w wyładowaniu jarzeniowym, charakteryzującym się w szczególności istnieniem strefy spadku potencjału w sąsiedztwie katody. W tej właśnie strefie tworzone są jony aktywne, które ulegając przyspieszeniu ku katodzie ogrzewają ją,a następnie reagują tworząc dyfuzyjną warstwę powierzchniową na przedmiocie obrabianym.
Urządzenie według wynalazku wyróżnia się tym, że komora robocza wyposażona jest w usytuowany na wewnętrznym obwodzie, pomiędzy pokrywą górną i pokrywą dolną tej komory, ekran grzewczy o regulowanej i stabilizowanej temperaturze oraz o wspólnym potencjale elektrycznym z komorą roboczą stanowiąc anodę.
150 288
150 288
Korzystne jest jeśli elementy grzejne są hermetycznie osadzone w ekranie grzewczym.
Zgodnie z wynalazkiem uzyskano kontrolę przebiegu reakcji chemicznych zachodzących podczas procesu wytwarzania dyfuzyjnych warstw w warunkach wyładowania jarzeniowego, umożliwiającego dostarczenie aktywnych cząstek pierwiastka tworzącego warstwę, poprzez eliminację osadzania się niektórych produktów reakcji na chłodzonych powierzchniach komory. Ponadto rozwiązanie według wynalazku umożliwia efektywniejsze wykorzystanie cząstek reaktywnych środowiska gazowego w tworzeniu się warstwy oraz ułatwia realizację właściwej cyrkulacji gazu reaktywnego w komorze roboczej.
Przedmiot wynalazku jest uwidoczniony w przykładzie wykonania na rysunku, który przedstawia przekrój osiowy urządzenia z ekranem grzewczym w komorze roboczej w ujęciu schematycznym.
Urządzenie stanowi komora robocza 1 zaopatrzona w pokrywę górną 2 i pokrywę dolną 2/ przy czym ścianki boczne komory 1 są chłodzone wodą. W komorze 1 osadzony jest wewnętrzny ekran grzewczy 3 z hermetycznie osadzonymi oporowymi elementami grzejnymi 4, zabezpieczonymi przed wpływem środowiska gazowego. Ekran 3 ma wspólny potencjał elektryczny z komorą 1 i stanowi anodę, zaś elementy grzejne 4 są połączone elektrycznie z układem zasilania i stabilizacji temperatury 5· W pokrywie górnej 2 umieszczony jest wylot 6 środowiska gazowego, zaś w pokrywie dolnej 2* umieszczony wlot 7, którym doprowadzone jest bezpośrednio do przestrzeni otoczonej ekranem 3 środowisko gazowe. Przedmiot obrabiany 8 jest umieszczony wewnątrz przestrzeni ekranu 3 i stanowi katodę połączoną poprzez przepust prądowy 9 z ujemnym biegunem zasilacza napięcia stałego 10, którego dodatni biegun jest połączony z komorą roboczą 1 i ekranem 3 stanowiącymi anodę.
W przestrzeni otoczonej ekranem 3 w dolnym obszarze komory 1 usytuowany jest generator reaktywnego środowiska gazowego 11, zaopatrzony w górnej części w wylot 12 reaktywnego środowiska gazowego. V dolnej części, generator 11 zaopatrzony jest we wlot 13 środowiska gazowego. Generator 11 ogrzewany jest elektrycznie oporowo i wyposażony jest w wylot 14, który jest łączony z pompą próżniową nie uwidocznioną na rysunku.
Urządzenie działa w sposób niżej opisany. Środowisko gazowe zawierające pary chlorku tytanu TiCl^ w mieszaninie z wodorem H2 i azotem N2, aktywuje się termicznie w generatorze reaktywnego środowiska gazowego 11, które po podgrzaniu oporowo-elektrycznym posiadają temperaturę 920°C, po czym przez wylot 12 reaktywne środowisko wprowadza się w bezpośrednie otoczenie przedmiotu obrabianego 8 wykonanego ze stali 45· Przedmiot 8 jest ogrzewany w warunkach wyładowania jarzeniowego przy zasilaniu anody i katody z zasilacza 1C do temperatury około 600°C, przy ciśnieniu w komorze 1 w zakresie do 13 hPa, przy czym ekran grzewczy 3, stanowiący anodę jest ogrzewany oporowo do temperatury 700°C, co zapobiega osadzaniu się chlorków tytanu takich jak TiCl3 i TiCl^ na ściankach ekranu 3, zapewniając efektywniejsze wykorzystanie gazu reaktywnego . Układ 5 zapewnia stałą temperaturę ekranu 3·
Claims (2)
- Zastrzeżenia patentowe1. Urządzenie do wytwarzania warstw powierzchniowych na metalach w wyładowaniu jarzeniowym przedmiotów obrabianych, stanowiące komorę roboczą zaopatrzoną w pokrywę górną i dolną, przystosowane do napełniania środowiskiem gazowym, o ściankach chłodzonych wodą, w którym przedmiot obrabiany osadzony wewnątrz komory roboczej stanowi katodę, połączoną elektrycznie poprzez przepust prądowy z zasilaczem napięcia stałego, znamienne tym, że komora robocza (1) wyposażona jest w usytuowany na wewnętrznym obwodzie pomiędzy pokrywą górną (2) i pokrywą dolną (2*) tej komory (1) ekran grzewczy (3) stanowiący gorącą anodę o regulowanej i stabilizowanej temperaturze oraz wspólnym potencjale elektrycznym z komorą roboczą (1).
- 2. Urządzenie według zastrz. 1, znamienne ty m, że elementy grzejne są hermetycznie osadzone w ekranie grzewczym (3).150 28Θ
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL26367187A PL150288B1 (pl) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | Urządzenie do wytwarzania warstw powierzchniowych na metalach |
| DE19873706482 DE3706482A1 (de) | 1986-02-28 | 1987-02-27 | Verfahren und vorrichtungen zur herstellung von diffusionsoberflaechenschichten auf metallenen werkstuecken durch glimmentladung |
| GB08704831A GB2187478A (en) | 1986-02-28 | 1987-03-02 | Producing diffusion layers on metals by glow discharge |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL26367187A PL150288B1 (pl) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | Urządzenie do wytwarzania warstw powierzchniowych na metalach |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL263671A1 PL263671A1 (en) | 1988-09-15 |
| PL150288B1 true PL150288B1 (pl) | 1990-05-31 |
Family
ID=20034619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL26367187A PL150288B1 (pl) | 1986-02-28 | 1987-01-16 | Urządzenie do wytwarzania warstw powierzchniowych na metalach |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL150288B1 (pl) |
-
1987
- 1987-01-16 PL PL26367187A patent/PL150288B1/pl unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL263671A1 (en) | 1988-09-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4623400A (en) | Hard surface coatings for metals in fluidized beds | |
| EP0240536B1 (en) | Method and apparatus for thermal treatment | |
| EP0872569A1 (en) | Nitriding process and nitriding furnace thereof | |
| US11746415B2 (en) | Method for applying a carbon layer to a substrate comprising introducing a process gas into a deposition chamber via a gas inlet and gas activation element | |
| JP3727878B2 (ja) | 金属膜作製装置 | |
| JP2019183225A (ja) | 熱処理方法及び熱処理治具 | |
| PL150288B1 (pl) | Urządzenie do wytwarzania warstw powierzchniowych na metalach | |
| US7546840B2 (en) | Method for cleaning reaction container and film deposition system | |
| JPS61163195A (ja) | ダイヤモンド気相合成法及びその装置 | |
| WO2022072382A1 (en) | Coated conductor for heater embedded in ceramic | |
| JPH08333681A (ja) | 活性ガスを用いた平らなサンプルの表面化学処理装置 | |
| KR101755033B1 (ko) | 하드코팅 형성 장치용 증발기 | |
| PL158555B1 (pl) | Sposób wytwarzania warstw dyfuzyjnych na powierzchniach metali i pólprzewodników wjonowych procesach obróbki cieplno-chemicznej i urzadzenie do wytwarzania warstw dyfuzyjnych na powierzchniach metali i pólprzewodników w jonowych procesach obróbkicieplno-chemicznej PL | |
| WO2004042106A1 (en) | Process for nitriding articles in bulk | |
| JP6836858B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| JPH05109654A (ja) | 成膜処理装置 | |
| GB2187478A (en) | Producing diffusion layers on metals by glow discharge | |
| JPH03130366A (ja) | 炭化珪素膜製造装置 | |
| RU220188U1 (ru) | Газоэлектрическая электролизная ванна для получения алюминия из глинозема | |
| PL157025B1 (pl) | Sposób i urzadzenie do jonowej obróbki cieplno-chemicznej przedmiotów metalowych PL | |
| JP3516804B2 (ja) | イオン浸炭炉、及び搬送治具 | |
| PL147847B1 (en) | Method of and apparatus for producing cases on metal surfaces | |
| JPH04350170A (ja) | 成膜処理装置 | |
| JP2022074158A (ja) | 熱処理装置 | |
| JP2021073423A (ja) | 熱処理装置 |