PL137017B1 - Method of manufacture of rods of polycrystalline silicon - Google Patents
Method of manufacture of rods of polycrystalline silicon Download PDFInfo
- Publication number
- PL137017B1 PL137017B1 PL23716082A PL23716082A PL137017B1 PL 137017 B1 PL137017 B1 PL 137017B1 PL 23716082 A PL23716082 A PL 23716082A PL 23716082 A PL23716082 A PL 23716082A PL 137017 B1 PL137017 B1 PL 137017B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- rods
- hydrogen
- furnace
- polycrystalline silicon
- directed
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 18
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 14
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 claims description 3
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 claims description 2
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Description
Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania pretów krzemu polikrystalicznego na drodze redukcji wodorem zwiezku zawierajecego krzem w piecach redukcyjnych.Piece redukcyjne maje postac gazoszczelnej komory wykonanej z metalu lub kwarcu.W dnia komory pieca umieszczone se elektrody, w których koncówkach zamocowane se krzemowe prety osadcze. Prety te grzane oporowo osiegaje temperature 1000-1200 C.Przez komore plynie mieszanina zwiezku zawierajecego krzem np. trójchlorosilenu i wo¬ doru. Na powierzchni pretów osadczych wydziela sie. zredukowany krzem. W zaleznosci od typu pieca i wymaganej koncowej grubosci pretów krzemu polikrystalicznego proces trwa od 50 do 500 godzin.Przebieg i rodzaj reakcji zachodzecych w komorze pieca redukcyjnego zalezy od ezaregu czynników, miedzy innymi od skladu mieszanki wprowadzanej do pieca, ale gló¬ wnie od temperatury. Konieczna jest zatem kontrola tego parametru. Stosuje sie opty¬ czne kontrole temperatury. W tym celu piec redukcyjny zaopatrzony jest w wzierniki.Zwykle umiejscawia sie wziernik w sciance bocznej komory pieca i w jego podstawie.Przez te wzierniki mierzona jest temperatura i wzrost pretów.W poczetkowej fezie procesu róznica temperatury miedzy powierzchnie pretów, a po¬ zostale przestrzenie komory pieca, glównie scianami jest dostateczni* wysoka, aby wy¬ dzielanie krzemu odbywalo 6ie tylko na pretach. W miare jednak wzrostu ich srednicy rosnie temperatura scianek komory i na ich powierzchni a takze na powierzchni wzier¬ nika zachodzi wydzielanie krzemu, co uniemozliwia dokonanie pomiaru temperatury.W piecu redukcyjnym oprócz wydzielania krzemu zachodze takze inne reakcje chemi¬ czne. Biegne one w calej objetosci komory pieca, w ezerokim zakresie temperetur.W ich wyniku powsteje polisilany i chloropolisilany, zwiezki które w nizszych tempe¬ raturach, na przyklad przy podstawie komory pieca ulegaje kondensacji i pokrywaje2 137 017 wziernik umieszczony w podstawie piece. Po okolo 150 godzinach przebiegu proceeu re¬ dukcji pomiar temperatury pretów przez ten wziernik staje eie niemozliwy.Znanym na przyklad z polskiego opisu patentowego nr 115 365 srodkiem zaradczym Jest umiejscowienie wziernika tylko w podstawie pieca z tym, i© okienko wzlerne umo¬ cowane jest we wprowadzonym do wnetrza komory pieca tubusie, w pewnej odleglosci od Jego konca. Nie chroni to jednak skutecznie okienka wziernika przed utrate przejrzy¬ stosci.Stwierdzono, ze niedogodnosci tych mozna uniknec sposobem wedlug wynalazku. Pole¬ ga on na tym, ze czesc wodoru kieruje eie do pieca redukcyjnego poza strumieniem mie¬ szaniny reakcyjnej, na wewnetrzne powierzchnie okienek wzierników. Na wziernik umie¬ szczony w sciance bocznej pieca kieruje sie taka. Ilosc wodoru, aby zapewnic przy po¬ wierzchni okienka wziernika obnizenie stezenie zwlezku zawierajecego krzem, wyklucza¬ jace reakcje Jego redukcji do krzemu. Natomiast na wziernik w podstawie pieca kieru¬ je sie wodór w takiej Ilosci, aby przy powierzchni okienka wziernika nie dopuscic do wykroplenia polisilenów i chloropolisilanów lub zapewnic ich odparowanie. Ustalono, ze werunki te ee spelnione, jezeli na powierzchnie kazdego wziernika kieruje sie 1-1,5 % objetosciowych calosci wodoru.Przyklad. Do pieca redukcyjnego wyposazonego w dwa wzierniki do optycz¬ nej kontroli temperatury i wzrostu pretów umieszczone w sciance bocznej pieca 1 w je¬ go podstawie, wprowadzano 5000 litrów na godzine mieszaniny trójchlorosilenu 1 wodoru o skladzie: 800 litrów SlHCl i 4200 litrów H^. Osobno wprowadzano do pieca wodór kierujec go na wewnetrzne powierzchnie okienek wzierników. Na kazdy wziernik kiero¬ wano po 50 litrów na godzine. Proces prowadzono przoz 400 godzin. Przez caly czes, bez trudu obserwowano przez oba wzierniki wzrost pretów polikrysztalu krzemu 1 bada¬ no temperature proceeu. Po ukonczeniu procesu otrzymano prety polikrysztalu krzemu o grubosci 130 mm.Zastrzezenia patentowe 1. Sposób wytwarzanie pretów krzemu polikrystalicznego na drodze redukcji zwlezku zawierajecego krzem wodorem, w piecu redukcyjnym zaopatrzonym w wzierniki do optycz¬ nej kontroli przebiegu procesu, znamienny tym, ze czesc wodoru kieruje sie do plsca poza strumieniem mieszaniny reakcyjnej na wewnetrzne powierzchnie okie¬ nek wzierników. 2. Sposób wedlug zastrzc %9 r. n « m i a n n y t y me ze na kazdy wziernik kieruje eie 1 - 1,5 % objetosciowych calosci wodoru.Pracownia Poligraficzna UP PRL. Naklad 100 egz.Cena 100 zl. PL
Claims (2)
- Zastrzezenia patentowe 1. Sposób wytwarzanie pretów krzemu polikrystalicznego na drodze redukcji zwlezku zawierajecego krzem wodorem, w piecu redukcyjnym zaopatrzonym w wzierniki do optycz¬ nej kontroli przebiegu procesu, znamienny tym, ze czesc wodoru kieruje sie do plsca poza strumieniem mieszaniny reakcyjnej na wewnetrzne powierzchnie okie¬ nek wzierników.
- 2. Sposób wedlug zastrzc %9 r. n « m i a n n y t y me ze na kazdy wziernik kieruje eie 1 - 1,5 % objetosciowych calosci wodoru. Pracownia Poligraficzna UP PRL. Naklad 100 egz. Cena 100 zl. PL
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL23716082A PL137017B1 (en) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | Method of manufacture of rods of polycrystalline silicon |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL23716082A PL137017B1 (en) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | Method of manufacture of rods of polycrystalline silicon |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL237160A1 PL237160A1 (en) | 1984-01-02 |
| PL137017B1 true PL137017B1 (en) | 1986-04-30 |
Family
ID=20013191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL23716082A PL137017B1 (en) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | Method of manufacture of rods of polycrystalline silicon |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL137017B1 (pl) |
-
1982
- 1982-06-29 PL PL23716082A patent/PL137017B1/pl unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL237160A1 (en) | 1984-01-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Han et al. | Sr2+/Y3+ co-doped MgO-Al2O3-SiO2-based glasses and transparent glass-ceramics: crystallization, structure and properties | |
| Fujikura et al. | Influence of strontium substitution on structure and crystallisation of Bioglass® 45S5 | |
| Carta et al. | Sol–gel synthesis of the P 2 O 5–CaO–Na 2 O–SiO 2 system as a novel bioresorbable glass | |
| Clayden et al. | Solid state 29Si and 31P NMR study of gel derived phosphosilicate glasses | |
| Yuan et al. | Effect of glass network modifier R2O (R= Li, Na and K) on upconversion luminescence in Er3+/Yb3+ co-doped NaYF4 oxyfluoride glass-ceramics | |
| Alhalawani et al. | The effect of ZnO↔ Ta2O5 substitution on the structural and thermal properties of SiO2-ZnO-SrO-CaO-P2O5 glasses | |
| Lugo et al. | Material processing of a new calcium silicophosphate ceramic | |
| Soulié et al. | Development of a new family of monolithic calcium (pyro) phosphate glasses by soft chemistry | |
| US4482380A (en) | Hardener for water glass cements | |
| Cherbib et al. | Structure properties relationship in calcium sodium metaphosphate and polyphosphate glasses | |
| PL137017B1 (en) | Method of manufacture of rods of polycrystalline silicon | |
| Shah et al. | Effect of B2O3 addition on microhardness and structural features of 40Na2O-10BaO-xB2O3-(50-x) P2O5 glass system | |
| Martinek et al. | Subsolidus Equilibria in the System ZrO2‐WO3‐P2O5 | |
| Vogel et al. | Effect of composition changes on the structure and properties of phosphate glasses in the pyrophosphate region | |
| Brown et al. | Constitution of Copper‐Red Glazes | |
| Koudelka et al. | Structure and properties of lead tungstate phosphate glasses | |
| KR19980019482A (ko) | 전자부품 제조 공정 폐수의 슬러지를 이용한 벽돌의 제조방법(A Process for Preparing Bricks Using Sludges of Waste Water Originating from Electronic Elements Manufacturing Plants) | |
| Er-Rafai et al. | Effect of molybdenum oxide on structural characteristics, thermal properties, and chemical dissolution of (50-x) K2O-xMoO3-50P2O5 phosphate glasses | |
| Arriagada et al. | The influence of the water content on absorption and dispersion behaviour of calcium metaphosphate glasses | |
| CA2295687C (en) | Soluble acid polyphosphates and device for their production | |
| US993913A (en) | Silicon-oxygen product. | |
| CZ22494A3 (en) | Violet zirconium-vanadium pigments, process of their preparation and use | |
| Moutataouia et al. | Structural Investigation of Bi2o3-P2o5-B2o3-V2o5 Quaternary Glass System by Raman, Ftir and Thermal Analysis | |
| Ledoux et al. | Mechanism of the wettability of alumina by polyphosphate glasses | |
| SU763280A1 (ru) | Сырьева смесь дл изготовлени облицовочного материала |