Opis patentowy opublikowano: 1985 12 30 130807 CZYTfcLNIA Urzedl) PoIftmo* *;;. ft!Mif« JT7..InL Cl. F04B 37/02 H01J 41/16 Twórcy wynalazku: Ryszard Cyrenski, Eugeniusz Kaufman, Leon Kabacik Uprawniony z patentu: Zaklady Telewizyjne UNITRA-POLKOLOR Osrodek Badawczo-Rozwojowy Przetworników Obrazuf Warszawa /Polska/ POMPA SUBLIMACYJNA Przednio ten wynalazku jest pompa sublimacyjna, która przy wspólpraoy z pompa prózni wstepnej w urzadzeniu prózniowym umozliwia uzyskanie wysokiej lub bardzo wysokiej prózni• Dzialanie pomp sublimacyjnych polega na pochlanianiu gazów aktywnych przez material po¬ chlaniajacy na przyklad tytan, oyrkon, molibden, ohrom, glin lub Inny, napylany podczas praoy pompy na wewnetrzna solanke obudowy pompy, który wewnatrz pompy tworzy warstwe porowata zdol¬ na do pochlaniania gazów.Rozpylanie materialu pochlaniajacego wewnatrz pompy uzyskuje sie zasadniozo dwoma sposo¬ bami. Jednym z nich jest ogrzewanie oporowe zasobników zawierajaoych material poohlaniajacy, nazywanych sublimatorami, wykonanyoh zwykle w postaci pretów zamocowanych wewnatrz pompy do przepustów elektrycznych umozliwiajacych kolejne wlaczanie w obwód pradu grzejnego poszcze¬ gólnych zasobników.Innym sposobem rozpylania materialu pochlaniajacego wewnatrz pompy jest bombardowanie zasobnika z tego materialu strumieniem elektronów uzyskiwanych z rozgrzanej katody otaczaja¬ cej zasobnik. W tym przypadku katode rozgrzewa sie oporowo a miedzy katode 1 element sublimu- jaoy, stanowiacy anode pompy przyklada sie wysokie napiecie.Rozpylanie materialu pochlaniajacego za pomoca ogrzewania oporowego mozna rozpoczynac Juz —2 od olsnienia 10 Tr uzyskiwanego za pomoca pompy prózni wstepnej, natomiast bombardowanie elektronowe zasobnika materialu pochlaniajacego moze nastepowac po osiagnieciu olsnienia 10 Tr poniewaz w zakresie wyzszych olsnien, wskutek przylozenia wysokiego napiecia moga wystepowac niszczace wyladowania. Z tych wzgledów zwykle najpierw wlaoza sie pompe ogrzewana oporowo a nastepnie po oslagnieolu wymaganej prózni pompe elektronowa. Podozas praoy pompy rozpylany material sublimacyjny, zwlaszoza aublimatora podgrzewanego oporowo wykonanego zwykle w postaci cienkiego preta, zuzywa sie stosunkowo szybko a ponadto w miare obnizania sie olsnienia w pompie prety ulegaja szybkiemu uszkodzeniu wskutek czestego wlaczania i wylaczania zasilania.2 130 807 Zachodzi wieo konleoznosc czestej wymiany pretów subllmujaoyoh co wymaga rozebrania pompy 1 pociaga za soba koniecznosc niekorzystnego zapowietrzenia wnetrza pompy.Zapobiega sie temu przez umocowanie na kolnierzu pompy zespolu zlozonego z wiekszej llozby równolegle osadzonyoh pretów subllmatora, które wlaoza sie kolejno w miare zuzywania sie podczas pracy pompy. Wielopretowy zespól sublimatora oporowego odznacza sie znacznie dluzszym czasem praoy 1 pozwala na wielokrotne uzyoie pompy bez wymiany subllmatorów a poniewaz w miare poprawiania sie stanu prózni potrzebne sa coraz mniejsze ilosci rozpy¬ lanego materialu pochlaniajacego wiec do wspólpracy z zespolem wlelopretowego subllmatora oporowego wystarcza jeden zespól podgrzewany elektronowo ze stosunkowo gruba katoda.Pompy tego rodzaju buduje sie zasadnlozo w ukladach równoleglych, w których obok zespo¬ lu subllmatorów podgrzewanych oporowo umieszcza sie subllmator bombardowany elektronowo.Na przyklad z patentu PRL nr 67 345 znana jest pompa sublimacyjna, w której na wspólnym kolnierzu stanowiacym podstawe pompy Jest umieszczony zespól pretów zawierajacych oporowo podgrzewany rozpylany material pochlaniajacy czasteczki gazów aktywnych oraz zespól zlozony z katody podgrzewanej oporowo 1 anody bombardowanej elektronowo wykonanej w postaci zasobni¬ ka z materialu pochlaniajacego.Usytuowanie zespolu anodowo-katodowego obok zespolu pretów sublimacyjnych podgrzewanych oporowo, w trakcie poczatkowej pracy pompy powoduje napylanie materialem aktywnym przepustów izolacyjnych w zespole anodowo-katodowym pompy oo znacznie zmniejsza skutecznosc dzialania tego zespolu, uruchamianego w nastepnym etapie pracy pompy. Równiez zespól anodowo-katodowy podczas praoy niekorzystnie napyla izolatory pretów subllmatora oporowego przewidzianyoh do praoy w nastepnyoh cyklach pracy pompy. Zapobiega sie temu przez stosowanie róznych oslon wewnatrz pompy, oslaniajaoyoh zwlaszcza zespól anodowo-katodowy, które Jednak sa malo sku¬ teczne a ponadto komplikuja budowe pompy. Z tyoh wzgledów w niektórych konstrukcjaoh urza¬ dzen prózniowych stosuje sie oddzielne pompy sublimacyjne z sublimatoraml podgrzewanymi opo¬ rowo 1 oddzielne z sublimatoraml bombardowanymi elektronowo, co Jednak znacznie podnosi koszt budowy tyoh urzadzen i utrudnia obsluge.Istote wynalazku stanowi pompa sublimacyjna zlozona z zespolu subllmatorów podgrzewanych oporowo i z zespolu zlozonego z katody 1 anody wykonanej z materialu rozpylanego, umocowanych na wspólnym kolnierzu w metalowej obudowiev w której wewnetrzna przestrzen pompy jest roz¬ dzielona na dwie ozesol przegroda w ksztalole tarozy osadzonej na wsporniku wykonanym w pos¬ taci rurki przy ozym przestrzen polozona bezposrednio nad kolnierzem zawiera zespól subll¬ matora oporowego osadzony na przepustach umocowanych w kolnierzu a przestrzen polozona dalej od kolnierza zawiera subllmator ogrzewany elektronowo, którego anoda jest umocowana na przepuscie próznloszczelnle osadzonym w kolnierzu 1 umleszozonym wewnatrz rurki wsporczej, który równoczesnie sluzy do doprowadzania wysokiego napiecia do anody a ponadto w górnej ozesol wystajacej ponad taroze przepust ten jest osloniety oslona w ksztalole kubka przymo¬ cowana do tarczy rozdzielajacej przestrzen pompy na dwie ozesol.Budowe pompy wedlug wynalazku wyjasniono na przykladzie wykonania przedstawionym na ry¬ sunku, który przedstawia pompe w przekroju podluznym w widoku z boku.Do obudowy 1 jest próznloszczelnle przymocowany kolnierz 2 na którym jest sztywno osa¬ dzona wsporcza rurka 3 zakonczona tarcza 4 rozdzielajaca przestrzen wewnatrz pompy na dwie ozesol* W kolnierzu 2 sa równiez osadzone Izolowane przepusty 5 i 6 na któryoh sa umocowane prety 7 18 subllmatora ogrzewanego oporowo. Drugie konoe pretów 7 i 8 sa przymocowane do pierscienia 9 zlaczonego ze wsporoza rurka 3. Wewnatrz wsporczej rurki 3 jest osadzony odizolowany przepust 10 próznloszczelnle umocowany w kolnierzu 2. Na konou przepustu 10 Jest umieszczona anoda 11 wykonana z materialu latwo rozpylanego, korzystnie z tytanu w ksztal¬ cie waloa przy ozym koniec przepustu 10 jest osloniety oslona 12 wykonana w ksztalole kubka.Ponadto w kolnierzu 2 Jest osadzony Izolowany przepust 13, na którym Jest umocowana kato¬ da 14, wykonana w ksztalcie luku otaczajacego anode 11, przy ozym drugi koniec katody 14 Jest przymocowany do tarczy 4.130 807 3 Rozdzielanie przestrzeni wewnatrz pompy ne dwie czesci pozwala nie tylko na uniknleole wzajemnego niekorzystnego oddzialywania zespolu ogrzewanego elektronowo 1 zespolu ogrzewanego oporowo ale równiez umozliwia lepsze wykorzystanie przestrzeni wewnetrznej pompy przez umieszczenie wiekszej liczby pretów podgrzewanych oporowo niz w znanych rozwiazaniach a w zespole ogrzewanym elektronowo pozwala na wykorzystanie anody zawierajacej równiez znacznie wiecej rozpylanego materialu niz w ukladach w których te zespoly sa umieszczone równolegle, Z tych wzgledów w porównaniu ze znanymi pompami sublimacyjnymi dlugotrwalosc pompy wedlug wynalazku jest znacznie zwiekszona, co ma istotne znaozenie w urzadzeniach prózniowych. PL