PL130356B2 - Method of manufacture of piezoelectric transducer from lijo 3 - Google Patents

Method of manufacture of piezoelectric transducer from lijo 3 Download PDF

Info

Publication number
PL130356B2
PL130356B2 PL1983240328A PL24032883A PL130356B2 PL 130356 B2 PL130356 B2 PL 130356B2 PL 1983240328 A PL1983240328 A PL 1983240328A PL 24032883 A PL24032883 A PL 24032883A PL 130356 B2 PL130356 B2 PL 130356B2
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
plate
electrode
buffer
lijo3
covered
Prior art date
Application number
PL1983240328A
Other languages
Polish (pl)
Other versions
PL240328A2 (en
Inventor
Krzysztof Gozdzik
Original Assignee
Wojskowa Akad Tech
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wojskowa Akad Tech filed Critical Wojskowa Akad Tech
Priority to PL1983240328A priority Critical patent/PL130356B2/en
Publication of PL240328A2 publication Critical patent/PL240328A2/en
Publication of PL130356B2 publication Critical patent/PL130356B2/en

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

Przedmiotem wynalazku jest sposób wykonania przetwornika piezoelektrycznego duzej mocy z LiJCh do modulatorów akustooptycznych.Znane sposoby wykonywania przetworników piezoelektrycznych do modulatorów akustoop¬ tycznych bazuja glównie na monokrysztalach piezoelektrycznych LiNbC3 i kwarcu. Sposoby te polegaja na laczeniu plytek monokrysztalu LiNbOalub kwarcu o odpowiedniej orientacji krystalo¬ graficznej z buforem kwarcowym lub szklanym za pomoca indu. Bufor jest to prostopadloscian wykonany z topionego kwarcu lub szkla, w którym rozchodzaca sie fala akustyczna oddzialywuje ze swiatlem.Nastepnie plytki te zeszlifowuje sie na wymagana grubosc dla osiagniecia odpowiedniej czestotliwosci pracy przetwornika i nanosi na ich powierzchnie górna elektrode sterujaca. Elek¬ trode dolna stanowi warstwa indu laczaca plytke LiNbCh lub kwarcu z buforem. Odprowadzenie ciepla z plytki piezoelektryka realizuje sie poprzez laczenie elektrody górnej ze zródlem napiecia za pomoca sprasowanego cienkiego drutu przymocowanego do chlodzonej plytki ceramicznej, zas elektrode dolna przetwornika laczy sie z obudowa modulatora.Wada przetworników z LiNb03 jest ich wysoka cena, zas przetworników z kwarcu mala sprawnosc. Równiez sposób odprowadzenia ciepla nie pozwala na obciazenie duza moca opisa¬ nych przetworników.W proponowanym rozwiazaniu konstrukcje przetworników piezoelektrycznych do modula¬ torów akustooptycznych oparto na monokrysztalach LiJO3. Jodan litu UJO3 posiada porówny¬ walne wlasnosci piezoelektryczne z niobianem litu LiNb03, jednak ze wzgledu na duza higroskopijnosc nie jest w praktyce stosowany. Zaproponowany sposób wykonania eliminuje wplyw otoczenia na UJO3, oraz zapenia bardzo skuteczne odporwadzenie ciepla z piezolektryka.Istota tego sposobu polega na nalozeniu na elektrody dolna i górna plytek miedzianych pokrytych warstwa przewodzacego kleju, a nastepnie na zalaniu plytki LiJO 3 zawiesina tlenku glinu w zywicy epoksydowej. Plytki miedziane polaczone z elektrodami na duzej powierzchni pozwalaja na maskymalne odprowadzenie ciepla z przetwornika. Natomiast zywica epoksydowa chroni plytke LiJO 3 przed szkodliwym wplywem otoczenia. Skutecznosc odprowadzenia ciepla z przetwornika zwiekszona zostala dzieki zmianie sposobu jego zasilania.2 130356 Na skutek polaczenia górnej elektrody poprzez plytke miedziana na powierzchni calego przetwornika z obudowa modulatora chlodzonego korzystnie woda, przetwornik wytrzymuje znacznie wieksze obciazenie mocy anizeli przetworniki stosowane dotychczas.Rysunek przedstawia schemat modulatora akustopotycznego z elementami przetwornika z LiJC3 i kolejnosc ich nakladania. Na powierzchnie buforu kwarcowego 2 i plytke UJO3 1 o gladkosci A14 nanosi sie metoda naparowania prózniowego warstwe indu 3 o grubosci 0,1-0,2 "m, a nastepnie dociska do siebie z sila 40-50 kg/cm2 w celu uzyskania trwalego polaczenia. Plytke UJO3 zeszlifowuje sie do zadanej grubosci i na jej oczyszczona powierzchnie naparowuje sie w prózni przez maske srebrna elektrode górna 6. Na elektrody 3 i 6 nakleja sie plytki miedziane 4 za pomoca pasty srebrowej 5. Elektrode górna 6 poprzez plytke miedziana 4 laczy sie z obudowa modulatora i masa gniazda zasilajacego typu BNC, zas elektrode dolna bezposrednio z wewnetr¬ znym przewodem tego gniazda.Zastrzezenia patentowe 1. Sposób wykonania przetwornika piezoelektrycznego z UJO3 polegajacy na naniesieniu metody naparowania prózniowego na powierzchnie monokrystalicznej plytki LUO3, oraz buforu, korzystnie kwarcowego warstwy indu, która stanowi równoczesnie dolna elektrode zasilajaca i polaczeniu tych powierzchni w prózni pod cisnieniem, a nastepnie na zeszlifowaniu polaczonej z buforem plytki LiJChdo grubosci zapewniajacej uzyskanie wymaganej czestotliwosci pracy przet¬ wornika i naniesieniu na zeszlifowana powierzchnie LiJO3 górnej elektrody zasilajacej, znamienny tym, ze na elektrody (3 i 6) naklada sie plytki miedziane (4) pokryte warstwa przewodzacego prad elektryczny kleju (5), a plytke LiJO3 (1) zalewa sie zawiesina tlenku glinu w zywicy epoksydowej. 2. Sposób wedlug zastrzezenia 1, znamienny tym, ze elektrode górna (6) laczy sie poprzez plytke miedziana (4) z obudowa urzadzenia, która chlodzi sie korzystnie woda, zas elektrode dolna (3) laczy sie z przewodem wewnetrznym gniazda zasilajacego. 1=1 y g ^_ 3 2 Pracownia Poligraficzna UP PRL. Naklad 100 egz.Cena 100 zl PLThe subject of the invention is a method of making a high-power LiNbCh piezoelectric transducer for acousto-optic modulators. Known methods of making piezoelectric transducers for acousto-optic modulators are based mainly on LiNbC3 piezoelectric monocrystals and quartz. These methods consist in joining LiNbO or quartz single crystal plates of appropriate crystallographic orientation with a quartz or glass buffer with indium. The buffer is a cuboid made of fused quartz or glass, in which the propagating acoustic wave interacts with the light. These plates are then ground to the required thickness to achieve the appropriate frequency of the transducer operation and applied to their surfaces by an upper control electrode. The lower electrode is an indium layer connecting the LiNbCh or quartz plate to the buffer. Heat dissipation from the piezoelectric plate is achieved by connecting the upper electrode to the voltage source with a compressed thin wire attached to a cooled ceramic plate, while the lower electrode of the transducer connects to the modulator housing. The disadvantage of LiNb03 transducers is their high price, while quartz transducers have low efficiency . Also, the method of heat dissipation does not allow to load a large power of the described transducers. In the proposed solution, the construction of piezoelectric transducers for acousto-optical modulators was based on LiJO3 monocrystals. Lithium iodate UJO3 has piezoelectric properties comparable to lithium niobate LiNb03, but due to its high hygroscopicity it is not used in practice. The proposed method of execution eliminates the influence of the environment on UJO3, and provides a very effective transfer of heat from the piezolectric. The essence of this method consists in applying copper plates covered with a layer of conductive glue to the upper and lower electrodes, and then pouring the LiJO 3 plate with aluminum oxide suspension in epoxy resin. Copper plates connected to the electrodes over a large surface allow for the maximum heat dissipation from the transducer. On the other hand, the epoxy resin protects the LiJO 3 plate against the harmful effects of the environment. The efficiency of heat dissipation from the transducer has been increased by changing the way it is powered.2 130356 Due to the connection of the upper electrode through a copper plate on the surface of the entire transducer with the housing of the modulator, preferably water cooled, the transducer can withstand a much greater power load than the transducers used so far. The figure shows a diagram of the acoustic modulator with LiJC3 transducer elements and the order of their application. On the surface of the quartz buffer 2 and the plate UJO3 1 with smoothness A14, a layer of indium 3 with a thickness of 0.1-0.2 "m is applied by means of a vacuum vapor deposition, and then pressed together with a force of 40-50 kg / cm2 in order to obtain a permanent connection. The UJO3 plate is ground to the desired thickness and the silver upper electrode 6 is vaporized on its cleaned surface in a vacuum through the mask. Copper plates 4 are glued onto the electrodes 3 and 6 with a silver paste 5. The upper electrode 6 through the copper plate 4 is connected with the modulator housing and the mass of the BNC type power socket, and the lower electrode directly with the internal wire of this socket. Patent claims 1. A method of making a piezoelectric transducer from UJO3 by applying the method of vacuum vaporization on the surfaces of a monocrystalline LUO3 plate, and a buffer, preferably a quartz layer, , which is also the lower supply electrode and the connection of these surfaces under vacuum under pressure, and then The grinding of the LiJCh plate connected with the buffer to the thickness ensuring the required frequency of the converter operation and putting the upper power electrode on the ground LiJO3 surface, characterized by the fact that copper plates (4) covered with a layer of electrically conductive are placed on the electrodes (3 and 6) the adhesive (5), and the LiJO3 plate (1) is flooded with a suspension of aluminum oxide in epoxy resin. 2. A method according to claim 1, characterized in that the upper electrode (6) is connected via a copper plate (4) to the device housing, which is preferably cooled by water, while the lower electrode (3) is connected to the internal conductor of the power socket. 1 = 1 y g ^ _ 3 2 Printing House of the Polish People's Republic. Mintage 100 copies Price PLN 100 PL

Claims (2)

Zastrzezenia patentowe 1. Sposób wykonania przetwornika piezoelektrycznego z UJO3 polegajacy na naniesieniu metody naparowania prózniowego na powierzchnie monokrystalicznej plytki LUO3, oraz buforu, korzystnie kwarcowego warstwy indu, która stanowi równoczesnie dolna elektrode zasilajaca i polaczeniu tych powierzchni w prózni pod cisnieniem, a nastepnie na zeszlifowaniu polaczonej z buforem plytki LiJChdo grubosci zapewniajacej uzyskanie wymaganej czestotliwosci pracy przet¬ wornika i naniesieniu na zeszlifowana powierzchnie LiJO3 górnej elektrody zasilajacej, znamienny tym, ze na elektrody (3 i 6) naklada sie plytki miedziane (4) pokryte warstwa przewodzacego prad elektryczny kleju (5), a plytke LiJO3 (1) zalewa sie zawiesina tlenku glinu w zywicy epoksydowej.Claims 1. A method of making a piezoelectric transducer from UJO3, consisting in applying a vacuum vaporization method to the surfaces of a monocrystalline LUO3 plate, and a buffer, preferably a quartz indium layer, which is also the lower supply electrode, and joining these surfaces under vacuum under pressure, and then grinding with a LiJCh plate buffer to the thickness ensuring the required frequency of the converter operation and applying the upper power electrode on the ground LiJO3 surface, characterized in that the electrodes (3 and 6) are covered with a copper layer (4) covered with electrically conductive glue (5) , and the LiJO3 plate (1) is flooded with a suspension of aluminum oxide in epoxy resin. 2. Sposób wedlug zastrzezenia 1, znamienny tym, ze elektrode górna (6) laczy sie poprzez plytke miedziana (4) z obudowa urzadzenia, która chlodzi sie korzystnie woda, zas elektrode dolna (3) laczy sie z przewodem wewnetrznym gniazda zasilajacego. 1=1 y g ^_ 3 2 Pracownia Poligraficzna UP PRL. Naklad 100 egz. Cena 100 zl PL2. A method according to claim 1, characterized in that the upper electrode (6) is connected via a copper plate (4) to the device housing, which is preferably cooled by water, while the lower electrode (3) is connected to the internal conductor of the power socket. 1 = 1 y g ^ _ 3 2 Printing House of the Polish People's Republic. Mintage 100 copies. Price PLN 100 PL
PL1983240328A 1983-01-27 1983-01-27 Method of manufacture of piezoelectric transducer from lijo 3 PL130356B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL1983240328A PL130356B2 (en) 1983-01-27 1983-01-27 Method of manufacture of piezoelectric transducer from lijo 3

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL1983240328A PL130356B2 (en) 1983-01-27 1983-01-27 Method of manufacture of piezoelectric transducer from lijo 3

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL240328A2 PL240328A2 (en) 1983-12-05
PL130356B2 true PL130356B2 (en) 1984-07-31

Family

ID=20015711

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL1983240328A PL130356B2 (en) 1983-01-27 1983-01-27 Method of manufacture of piezoelectric transducer from lijo 3

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL130356B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
PL240328A2 (en) 1983-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB578791A (en) Improvements in piezoelectric crystal devices
US4583019A (en) Piezoelectric resonator using 165° Y-cut LiNbO3
PL130356B2 (en) Method of manufacture of piezoelectric transducer from lijo 3
GB1428589A (en) Piezoelectric transducers
JP4400816B2 (en) Method for manufacturing periodically poled structure and optical device
CN106533250B (en) A kind of supersonic motor of multiple stators planar array structure
US4211950A (en) Arrangement for coupling RF energy into piezoelectric transducers
CN201060337Y (en) an electro-optic switch
KR100241966B1 (en) Assembly structure of surface acoustic wave device
JPS5944117A (en) Method of holding piezoelectric device
CN104597632B (en) Large-aperture acousto-optic devices
JPS5511270A (en) Ultrasonic light modulator
CN117791114A (en) Embedded low-frequency transmitting magnetoelectric antenna array
JPS5817660Y2 (en) ultrasonic cleaner
JPH0216331Y2 (en)
JPH024515Y2 (en)
JP3387323B2 (en) Piezoelectric transformer parts
JPH01180109A (en) Piezoelectric vibrator
JPS6022719Y2 (en) ultrasonic transducer
JPS5610987A (en) Manufacture of clad type piezoelectric element
CN208421476U (en) A kind of acousto-optical device using antivacuum crystal bonding technology
JPS6318173Y2 (en)
JPS6031832Y2 (en) ultrasonic cleaner
JPS6464382A (en) Surface acoustic wave convolver
JPS5996929U (en) surface acoustic wave device