PL126002B1 - Method of laser correction of laminar elements - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest sposób laserowej korekcji elementów warstwowych, zwlaszcza do zastosowa¬ nia do produkcji seryjnej. Sposób polega na usuwaniu czesci obszaru czynnego elementu.Znane sa sposoby korekcji, wedlug których powiekszanie obszaru eliminowanego w czasie korekcji odbywa sie przez sumowanie elementarnych pól usuwanych przez poszczególne impulsy swiatla laserowego. W czasie procesu korekcji nastepuje przemieszczanie wzgledne elementu korygowanego i ogniska wiazki laserowej wedlug zaprogramowanych krzywych w plaszczyznie ogniska. Proces korekcji zostaje zakonczony, gdy parametr elektry¬ czny elementu warstwowego osiaga zadana wartosc po kolejnym usunieciu elementarnego pola.Istota wynalazku polega na tym, ze element korygowany poddaje sie dzialaniu pojedynczego impulsu, przy czym odleglosc elementu korygowanego od plaszczyzny ogniska i/albo pochylenie powierzchni naswietlanej wzgledem kierunku wiazki dobiera sie tak, aby uzyskac oswietlenie calej powierzchni przeznaczonej do usunie¬ cia. Energie impulsu dobiera sie przy tym tak, aby uzyskac wymagana gestosc energii na powierzchni korygowa¬ nej.Zmiana obszaru pola usuwanego w czasie korekcji odbywa sie przez przemieszczanie elementu korygowane¬ go wzdluz drogi optycznej wiazki laserowej w poblizu jej przewezenia ogniskowego. Tak wstepnie przygotowany element zostaje poddany dzialaniu pojedynczego impulsu laserowego o gestosci energii odpowiedniej do usunie¬ cia warstwy czynnej bez naruszania materialu podloza.Sposób korekcji wedlug wynalazku skraca czas trwania procesu. Nie wymaga on zastosowania zlozonych ukladów elektromechanicznych przemieszczajacych z duza szybkoscia element korygowany lub wiazke laserowa oraz ukladów wymagajacych dodatkowego czlonu ciaglego pomiaru. Sposób umozliwia osiagniecie duzej do¬ kladnosci obróbki przy wysokiej wydajnosci procesu.Sposób wedlug wynalazku przedstawiony jest na przykladzie korekcji kondensatorów ceramicznych plytkowych w zwiazku z rysunkiem, na którym pokazano schemat urzadzenia do obróbki.Na drodze optycznej wiazki laserowej, emitowanej z lasera 1, umieszcza sie obiektyw skupiajacy 2, przewe¬ zenie ogniskowe wiazki którego znajduje sie w plaszczyznie ogniskowej „f'. Element korygowany 3 umieszcza sie w odleglosci „a" od plaszczyzny „f\2 126002 Punktem wyjscia dla ustalenia odleglosci a jest pomiar odchylki od pojemnosci nominalnej elementu 3.W opisywanym przykladzie stwierdzono, ze element 3 zamiast pojemnosci 50 pF ma pojemnosc 55 pF. Korzy¬ stajac z wczesniej ustalonej zaleznosci miedzy zmiana pojemnosci a zmiana pola powierzchni okladki kondensa¬ tora wiadomo, ze aby zmniejszyc pojemnosc o 5 pF -- nalezy usunac 3 mmi2 pola powierzchni warstwy metalicz¬ nej. Wiadomo dalej, ze wiazka laserowa w plaszczyznie ogniskowej „f" ma powierzchnie 0,5 mm2. Ze znanej charakterystyki rozbieznosci wiazki ustala sie, ze powierzchnia przekroju wiazki osiaga 3 mm2 w odleglosci a = 8 mm od plaszczyzny ogniskowej „f'. W tej wiec odleglosci umieszcza sie element 3 i za pomoca pojedyn¬ czego impulsu usuwa sie cala zbedna powierzchnie okladki. Przemieszczenie elementu 3 na wspomniana odle¬ glosc wymaga odpowiedniego zwiekszenia energii impulsu laserowego w celu zapewnienia stalej powierzchniowej gestosci energii. Zwiekszenie to uzyskuje sie przez sprzezenie mechanizmu przemieszczania elementu 3 z ukla¬ dem sterujacym lasera.Sposób wedlug wynalazku umozliwia uzyskanie podobnego efektu koncowego na drodze wprowadzenia, zamiast przesuwu poosiowego elementu 3, zmiany kata pochylenia tego elementu wzgledem osi optycznej ukladu. Mechanizm zmiany tego kata jest sprzezony z ukladem sterujacym lasera.Zastrzezenia patentowe 1. Sposób laserowej korekcji elementów warstwowych, zwlaszcza do zastosowania do produkcji seryjnej, przez usuwanie czesci obszaru czynnego elementu, znamie n ri y tym, ze element korygowany poddaje sie dzialaniu pojedynczego impulsu, przy czym odleglosc elementu korygowanego od plaszczyzny ogniska i/albo pochylenie powierzchni naswietlanej wzgledem kierunku wiazki dobiera sie tak, aby uzyskac oswietlenie calej powierzchni przeznaczonej do usuniecia. 2. Sposób wedlug zastrz. 1, znamienny tyrn, ze mechanizm osiowego przemieszczania elementu korygowanego i/albo mechanizm pochylania jego powierzchni sprzega sie z ukladem sterujacym lasera uzyskujac w kazdym polozeniu elementu korygowanego stala powierzchniowa gestosc energii. ¦^ f 1 ' la i Pracownia Poligraficzna UP PRL. Naklad 100 egz.Cena 100 zl PL

Claims (2)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Sposób laserowej korekcji elementów warstwowych, zwlaszcza do zastosowania do produkcji seryjnej, przez usuwanie czesci obszaru czynnego elementu, znamie n ri y tym, ze element korygowany poddaje sie dzialaniu pojedynczego impulsu, przy czym odleglosc elementu korygowanego od plaszczyzny ogniska i/albo pochylenie powierzchni naswietlanej wzgledem kierunku wiazki dobiera sie tak, aby uzyskac oswietlenie calej powierzchni przeznaczonej do usuniecia.
2. 2. Sposób wedlug zastrz. 1, znamienny tyrn, ze mechanizm osiowego przemieszczania elementu korygowanego i/albo mechanizm pochylania jego powierzchni sprzega sie z ukladem sterujacym lasera uzyskujac w kazdym polozeniu elementu korygowanego stala powierzchniowa gestosc energii. ¦^ f 1 ' la i Pracownia Poligraficzna UP PRL. Naklad 100 egz. Cena 100 zl PL