PL121162B2 - Method of measurement of characteristics of relative efficiency of cathode sputtering of materialsitel'nosti ionnogo raspylenija materialov - Google Patents
Method of measurement of characteristics of relative efficiency of cathode sputtering of materialsitel'nosti ionnogo raspylenija materialov Download PDFInfo
- Publication number
- PL121162B2 PL121162B2 PL22238180A PL22238180A PL121162B2 PL 121162 B2 PL121162 B2 PL 121162B2 PL 22238180 A PL22238180 A PL 22238180A PL 22238180 A PL22238180 A PL 22238180A PL 121162 B2 PL121162 B2 PL 121162B2
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- measurement
- raspylenija
- materialsitel
- ionnogo
- materialov
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 238000007373 indentation Methods 0.000 claims description 9
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 claims description 5
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 6
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 2
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 2
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
Przedmiotem wynalazku jest sposób pomiaru charakterystyk wzglednej wydajnosci rozpylania jono¬ wego materialów, znajdujacy zastosowanie w technice jonowej, zwlaszcza do okreslania zmiany profilu powierzchni materialów, powodowanej trawieniem jonowym.Znany jest sposób pomiaru charakterystyk wzglednej wydajnosci rozpylania jonowego materialów w funkcji kata padania wiazki jonowej. Sposób ten polega na trawieniu jonowym badnych-prSBek materialu przy róznych wartosciach parametru, w funkcji którego wyznacza sie charakterystyke. Nastepnie, za pomoca mikroskopu interferencyjnego mierzy sie objetosc wglebienia, powstalego w materiale na skutek trawienia jonowego. W warunkach stabilnej pracy zródla jonowego w okreslonym odcinku czasu, zmierzona objetosc jest proporcjonalna do wydajnosci rozpylania jonowego.W znanym sposobie pomiaru, w przypadku wyznaczania charakterystyk wydajnosci rozpylania mate¬ rialów nieprzewodzacych, zachodzi koniecznosc pokrywania wytrawionego wglebienia cienka warstwa materialu przewodzacego, na przyklad zlota, gdyz wyznaczenie objetosci wglebienia w materiale nieprzewo- dzacym, przy uzyciu mikroskopu interferencyjnego nie jest mozliwe. Wplywa to na wydluzenie czasu pomiaru, a ponadto w przypadku materialów gruboziarnistych, praktycznie uniemozliwia pomiar.Wynalazek dotyczy sposobu pomiaru charakterystyk wzglednej wydajnosci rozpylaniajonowego mate¬ rialów, polegajacego na jonowym trawieniu próbek badanego materialu przy róznych wartosciach parame¬ tru, w funkcji którego jest wyznaczana charakterystyka. Istota wynalazku polega na tym, ze za pomoca profilografu wyznacza sie ksztalt poprzecznego przekroju wytrawionego w materiale wglebienia, w plaszczy¬ znie przechodzacej przez maksymalna glebokosc wzglebienia po czym mierzy sie te glebokosc.Sposób wedlug wynalazku umozliwia pomiar charakterystyk wydajnosci rozpylaniajonowego materia¬ lów przewodzacych i nieprzewodzacych, bez koniecznosci stosowania dodatkowych procesów technologicznych.Przedmiot wynalazku jest objasniony na przykladzie pomiaru charakterystyki wzglednej wydajnosci rozpylania jonowego szkla, w funkcji kata padania wiazkijonów, oraz na rysunku, który przedstawia wykres charakterystyki wzglednej wydajnosci rozpylania w funkcji kata padania wiazki jonów.Przy uzyciu jarzeniowego zródla jonów z anoda wnekowa, trawi sie jonowo osiem próbek, ze szkla stosowanego na podloza ukladów cienkowarstwowych, o wymiarach 20mmX30mm. Napiecie anodowe wynosi 7kV, natezenie pradu anodowego i maA, o natezenie pradu kolektora 70 pA. Kolejne próbki umieszcza sie w odleglosci 12,5 mm od zródla jonów i trawi sie przez 2,5 godziny, przy czym kat padania wiazki jonów na powierzchnie kolejnych próbek, definiowany jako kat miedzy kierunkiem wiazki jonowa2 121162 prostopadla do powierzchni trawionej, zmienia sie w granicach od zera do tt/2 radiana. Nastepnie, za pomoca profilografu, wyznacza sie ksztalt poprzecznego przekroju wglebien, w plaszczyznie przechodzacej przez makymalna glebokosc wglebien, wytrawionych w kolejnych próbkach, po czym mierzy sie maksy¬ malne glebokosci wglebien. W przykladowym sposobie wedlug wynalazku uzyskano nastepuje wyniki pomiarów: Nr próbki Kat padania wiazki jonów (rad) Maksymalna glebokosc wytrawienia (/xm) 1 0 46 2 tt/12 49 3 tt/6 65 4 tt/4 95,5 5 tt/3 113 6 7tt/18 101 7 4rr/9 28 8 tt/2 0 Wzgledna wydajnosc rozpylania jonowego 1 1,07 1,42 2,08 2,47 2,20 0,61 0 Miara wzglednej wydajnosci rozpylania jest stosunek maksymalnej glebokosci d wytrawienia przy danym kacie 6 padania wiazki jonów, do maksymalnej glebokosci wytrawienia przy kacie padania wiazki równym zero. Wartosc ta odpowiada iloczynowi bezwzglednej wydajnosci i cosinusa kata padania wiazki, podzielonemu przez bezwzgledna wydajnosc przy kacie padania wiazki równym zero.Zastrzezenie patentowe Sposób pomiaru charakterystyk wzglednej wydajnosci rozpylania jonowego materialów, polegajacy na trawieniu jonowym próbek badanego materialu przy róznych wartosciach parametru, w funkcji którego wyznacza sie charakterystyke, znamienny tym, ze za pomoca profilografu wyznacza sie ksztalt przekroju poprzecznego wytrawionego wglebienia, w plaszczyznie przechodzacej przez maksymalna glebokosc wgle¬ bienia, a nastepnie mierzy sie te glebokosc.- Btrad] Pracownia Poligraficzna UP PRL. Naklad 120 egz.Cena 100 zl PL
Claims (1)
1. Zastrzezenie patentowe Sposób pomiaru charakterystyk wzglednej wydajnosci rozpylania jonowego materialów, polegajacy na trawieniu jonowym próbek badanego materialu przy róznych wartosciach parametru, w funkcji którego wyznacza sie charakterystyke, znamienny tym, ze za pomoca profilografu wyznacza sie ksztalt przekroju poprzecznego wytrawionego wglebienia, w plaszczyznie przechodzacej przez maksymalna glebokosc wgle¬ bienia, a nastepnie mierzy sie te glebokosc. - Btrad] Pracownia Poligraficzna UP PRL. Naklad 120 egz. Cena 100 zl PL
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL22238180A PL121162B2 (en) | 1980-03-01 | 1980-03-01 | Method of measurement of characteristics of relative efficiency of cathode sputtering of materialsitel'nosti ionnogo raspylenija materialov |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL22238180A PL121162B2 (en) | 1980-03-01 | 1980-03-01 | Method of measurement of characteristics of relative efficiency of cathode sputtering of materialsitel'nosti ionnogo raspylenija materialov |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL222381A2 PL222381A2 (pl) | 1981-02-27 |
| PL121162B2 true PL121162B2 (en) | 1982-04-30 |
Family
ID=20001632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL22238180A PL121162B2 (en) | 1980-03-01 | 1980-03-01 | Method of measurement of characteristics of relative efficiency of cathode sputtering of materialsitel'nosti ionnogo raspylenija materialov |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL121162B2 (pl) |
-
1980
- 1980-03-01 PL PL22238180A patent/PL121162B2/pl unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL222381A2 (pl) | 1981-02-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4806849A (en) | Method and apparatus for diagnosing degradation of coating film on metal material | |
| EP0945721A3 (en) | Biosensitive element for surface plasmon resonance measurements, and its method of manufacture | |
| JPS63164220A (ja) | エツチング過程の制御調節方法 | |
| MX2023000695A (es) | Ensayo basado en sangre para la detección de tauopatía o enfermedad amiloidogénica. | |
| PL121162B2 (en) | Method of measurement of characteristics of relative efficiency of cathode sputtering of materialsitel'nosti ionnogo raspylenija materialov | |
| EP0871871B1 (en) | Improvements in ionic reservoir through application of an electrical potential | |
| Zhang et al. | Comparative studies of the interaction between ferulic acid and bovine serum albumin by ACE and surface plasmon resonance | |
| US4538352A (en) | Shrinkage compensated measuring device | |
| Kunz et al. | Integrated optical sensors based on reactive low-voltage ion-plated films | |
| Kontturi | Diffusion coefficients and effective charge numbers of lignosulphonate. Influence of temperature | |
| RU2167392C2 (ru) | Устройство для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия | |
| Porwal et al. | Detection of biotin-streptavidin interaction using RF interdigitated capacitive cavity | |
| Ebel | The significance of reduced thicknesses determined by XPS using the variable take‐off angle technique | |
| Catsimpoolas et al. | Transient state isoelectric focusing: Measurement of minimal focusing time | |
| SU1019232A1 (ru) | Способ измерени шероховатости и неровности поверхности | |
| RU2251073C2 (ru) | Свч способ измерения магнитодиэлектрических параметров и толщины спиновых покрытий на металле | |
| SU1132261A1 (ru) | Способ измерени объемных зар дов | |
| RU2240500C1 (ru) | Способ измерения шероховатости поверхности | |
| Nguyen et al. | The use of cyclic voltammetry and principal component analysis for the rapid evaluation of selectivity of conductive polymer sensors | |
| SU1191845A1 (ru) | Способ определени полного зар да и его центра распределени в диэлектриках | |
| SU800834A1 (ru) | Способ определени адгезии жид-КОСТи K пОдлОжКЕ пО СМАчиВАЕМОСТи | |
| JP3179278B2 (ja) | 光電気化学測定システム | |
| SU1723500A1 (ru) | Способ определени проницаемости полимерных покрытий | |
| Yamada et al. | Stress Analysis With a Magnetic Anisotropy Sensor and Its Application.(Retroactive Coverage) | |
| Denoth | Static dielectric constant as a textural index of snow |