PL118300B2 - Method for fabrication of multi-layer structures using epitaxial process from a liquid phasepitaksii iz zhidkojj fazy - Google Patents

Description

Opis patentowy opublikowano: 30.12.1982 o Int. Cl.3 H01L 21/208 CZYTELNIA Urzeda Potentowsgo hltilij laczrmnnu) irtmj Twórcywynalazku: Krzysztof Kazmierski, Maciej Pilch Uprawniony zpatentu tymczasowego: Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa (Polska) Sposób wytwarzania struktur wielowarstwowych metoda epitaksji z fazy cieklej Wynalazek dotyczy sposobu wytwarzania struktur wielowarstwowych metoda epitaksji z fazy cieklej.Znany jest sposób otrzymania struktur wielowarstwowych w procesie epitaksji z fazy cieklej, w którym epitaksje wielokrotna realizuje sie przez przesuwanie zbiornika z roztworem epitaksjalnym wzgledem powierzchni plytek podlozowych.Zapoczatkowanie procesu, czyli doprowadzenie plytki podlozowej do kontaktu z roztworem epitaksjal¬ nym, odbywa sie przez przesuniecie zbiornika wzgledem plytki tak, ze roztwór znajduje sie nad plytka, przerwanie zas procesu odbywa sie przez kolejny przesuw zbiornika wzgledem plytki tak, ze nastepuje zgarniecie roztworu znad plytki przez przesuwajacy sie zbiornik.Znany jest takze sposób wytwarzania pojedynczych warstw metoda epitaksji z fazy cieklej, w którym do kontaktu roztworu z plytka podlozowa doprowadza sie przez obrót zbiornika i plytek. W trakcie obrotu nastepuje wlanie roztworu do pojemnika z plytkami. Przerwanie procesu odbywa sie takze przez obrót zbiornika i plytek w trakcie którego nastepuje wylanie roztworu z pojemnika z plytkami.Cecha charakterystyczna znanego sposobu wytwarzania struktur wielowarstwowych metoda epitaksji z fazy cieklej jest zgarnianie roztworu znad plytki podlozowej przez przesuwajacy sie zbiornik poza plytke.Powoduje to, ze praktyczna realizacja epitaksji wielokrotnej zwiazanajest z wieloma problemami,jak: mieszanie sie roztworów w trakcie przesuwania zbiorników, skutkiem czego jest nieprawidlowy wzrost warstw epitaksjalnych; niepelne usuwanie roztworu znad plytek, skutkiem czego jest brak kontroli grubosci warstw, nieprawidlowosc wzrostu i nierównosc warstw; rysowanie plytek w trakcie przesuwania, wskutek porywania i przesuwania krystalitów powstajacych w roztworze i na krawedziach plytki; rysowanie i wycieranie sie materialu, z którego wykonane sa zbiorniki i pojemniki, najczesciej z grafitu.Istota wynalazku polega na tym, ze miedzy kolejnymi przesuwami zbiorników z roztworami epitaksjal¬ nymi wzgledem pojemnika z plytkami obraca sie ustawione w trakcie przesuwu pojemnik i zbiorniki.Zbiorniki i pojemnik ustawia sie tak, ze ich otwory przed obracaniem pokrywaja sie albo sa zamkniete.Sposób wedlug wynalazku pozwala uzyskac wielowarstwowa strukture o dobrej jakosci, gdyz po wykonaniu kolejnej warstwy roztwór jest calkowicie usuwany do zbiornika i ani roztwór, ani plytki nie dotykaja powierzchni przesuwnych. Ponadto sposób umozliwia przeprowadzenie epitaksji wielokrotnej wiekszej liczby warstw na wiekszej powierzchni plytek w piecu o danej dlugosci i srednicy strefystalotempera- turowej, gdyz plytki podlozowe nie musza znajdowac sie w plaszczyznie równoleglej do plaszczyzny prze¬ suwu zbiorników.2 118300 Przyklad wykonania. Plytki podlozowe umieszcza sie w pojemniku na plytki, a roztwory epitaksjalne wlewa sie do kolejnych zbiorników na roztwory.Przy zlozeniu zbiornik jest ustawiony pod pojemnikiem na plytki tak, ze ich otwory sa zamkniete. Polaczone pojemnik i zbiorniki umieszcza sie w odpowiedniej strefie temperaturowej pieca.Proces zapoczatkowuje przesuniecie zbiornika, w wyniku czego otwory zbiornika i pojemnika pokry¬ waja sie i rpztwór wlewa sie do pojemnika z plytkami.Zakonczenie procesu powoduje sie przez obrót o 180°, w wyniku czego roztwór wylewa sie zpojemnika.Wykonujac sekwencje przesuniec i obrotów otrzymuje sie wielowarstwowe struktury epitaksjalne.Przesuniecie powoduje otwieranie i zamykanie otworów zbiorników powierzchnia pojemnika znajdujacasie w plaszczyznie jego otworu oraz otwieranie i zamykanie otworu pojemnika powierzchnia miedzy otworami zbiorników.Korzystnym jest, jesli przesuniecie wykonuje sie wtedy, gdy zbiornik z roztworem znajduje sie na dole, poniewaz wtedy zamykajace powierzchnie,znajdujace sie w plaszczyznie otworówzbiornika i pojemnika, nie dotykaja roztworu. PL

Claims (3)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Sposób wykonania struktur wielowarstwowych wprocesie epitakcji z fazy cieklej, w którym przesuwa sie zbiorniki z roztworami epitaksjalnymi wzgledem pojemników z plytkami, znamienny tym, ze miedzy kolejnymi przesuwami obraca sie ustawione wzgledem siebie zbiorniki i pojemniki.
2. 2. Sposób wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze przed obracaniem zbiorniki i pojemniki ustawionesa tak, ze plaszczyzny otworów pokrywaja sie.
3. 3. Sposób wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze przed obracaniem zbiorniki i pojemniki ustawia sietak, ze ich otwory sa zamkniete. Pracownia Poligraficzna UP PRL. Naklad 120 cgz. Cena 100 zl PL