Przedmiotem wynalazku jest stolik z mechaniz¬ mem pomiarowym dla jednej wspólrzednej, o du¬ zej czulosci i dokladnosci pomiaru, szczególnie do zastosowania w interferometrii.W dotychczas stosowanych stolikach podobnego przeznaczenia, naped ze sruby mikrometrycznej o skoku 0,5 mm lub 1 mm przenoszony jest bezpo¬ srednio na czesc przesuwna stolika.Takie rozwiazanie, przy okreslonych gabarytach stolika daje niewielka czulosc. Dobudowanie czuj¬ nika pomiarowego do takiego ukladu ne daje po¬ zytywnego rezultatu, gdyz kazdorazowa zmiana podzakresu pracy stolika z przekroczeniem zakre¬ su pomiarowego czujnika, zmusza do ponownego zerowania go.Modyfikacje tego podstawowego systemu stoli¬ ka pomiarowego obarczone sa równiez pewnymi wadami. I tak stosowanie przetworników obroto¬ wo-impulsowych w srubach napedowych powodu¬ je zwiekszenie gabarytów urzadzenia, natomiast zastosowanie do napedu pomiarowych srub róz¬ nicowych dla duzych zakresów przesuwu powodu¬ je okreslone trudnosci technologiczne i uciazliwa obsluge.Istota wynalazku polega na skonstruowaniu sto¬ lika w korpusie którego osadzona jest plyta sto¬ likowa i mechanizm pomiarowy. W korpusie na osi osadzona jest dwuramienna dzwignia w któ¬ rej na jednym ramieniu zamocowana jest sruba mikrometryczna dzialajaca na plyte stolikowa po- 2 przez kolek, a na drugim ramieniu zamocowana jest sruba róznicowa oparta koncówka o korpus.Stolik wyposazony jest w dodatkowy element po¬ miarowy, w korzystnym wykonaniu jest nim czuj- 5 nik indukcyjny, którego glowica pomiarowa osa¬ dzona jest w korpusie tak, ze koncówka pomiaro¬ wa styka sie z dwuramienna dzwignia.Rozwiazanie wedlug wynalazku zapewnia roz¬ dzielenie napedu przesuwu stolika na zgrubny i 10 precyzyjny w taki sposób, ze ruch precyzyjny, rea¬ lizowany z wysoka czuloscia, moze odbywac sie w kazdym podzakresie ruchu zgrubnego. Równiez po¬ miar przesuniec stolika jest rozdzielony na po¬ miar zgrubny i precyzyjny w sposób pozwalajacy 15 na dokonywanie pomiarów z duza dokladnoscia bez potrzeby zerowania dodatkowego elementu po¬ miarowego realizujacego pomiar w ruchu precy¬ zyjnym w kazdym podzakresie ruchu zgrubnego.Zastosowanie czujnika do pomiaru przesuniec w 20 ruchu precyzyjnym pozwala na zmniejszenie wy¬ magan wykonawczych dla sruby róznicowej beda¬ cej jedynie napedem ruchu precyzyjnego.Wynalazek zostanie blizej objasniony na przy¬ kladzie wykonania przedstawionym na rysunku 25 przedstawiajacym stolik w czesciowym przekroju.Stolik posiada korpus 1 w którym osadzona jest plyta stolikowa 5 i mechanizm pomiarowy.W korpusie 1 na osi 2 osadzona jest dwuramienna dzwignia 3. Na jednym ramieniu dzwigni 3 za- 30 mocowana jest sruba mikrometryczna 4 dzialaj a- 116 155116 155 3 ca na plyte stolikowa 5 poprzez kolek 7, a na drugim ramieniu dzwigni 3 zamocowana jest sru¬ ba róznicowa 6, oparta koncówka o korpus 1.Stolik wyposazony-jest w dodatkowy element pomiarowy, w korzystnym wykonaniu jest to czuj¬ nik indukcyjny. Glowica pomiarowa 8 czujnika osadzona jest w korpusie 1, tak ze koncówka po¬ miarowa 9 styka sie z dwuramienna dzwignia 3.Plyta stolikowa 5 ulozyskowana jest na kulkach 11 w prowadnicach pryzmatycznych korpusu 1, zapewniajacych duza dokladnosc przesuwu. Do przesuwu zgrubnego plyty stolikowej 5 sluzy sru¬ ba mikrometryczna 4 dajaca mozliwosc odczytu przesuwu do wartosci dzialki elementarnej. Dla przesuwu precyzyjnego plyty stolikowej 5, w do¬ wolnym jej polozeniu, wykorzystuje sie ruch drob¬ ny sruby róznicowej 6. Obrócenie pokretla sruby róznicowej 6 powoduje precyzyjna zmiane polo¬ zenia dzwigni 3. Jednoczesnie z obrotem dzwigni 3, nastepuje przemieszczenie sruby mikrometrycz- nej 4, która w czasie ruchu precyzyjnego, jest tylko elementem popychajacym plyte stolikowa 5.Luzy wszystkich mechanizmów ruchowych w sto¬ liku wykasowane sa przez ciagly nacisk plyty sto¬ likowej 5 na srube mikrometryczna 4, uzyskany dzieki zastosowaniu sprezyn naciagowych 12. Za¬ stosowanie sruby róznicowej 6 do napedu ruchu precyzyjnego zapewnia duza czulosc przesuwu ply¬ ty stolikowej 5. Czulosc ta moze byc zwiekszona przez zmiane stosunku dlugosci ramion dwura- 5 miennej dzwigni 3.Dokladny pomiar ruchu precyzyjnego zapewnia czujnik wbudowany w stolik. Jego dzialanie pole¬ ga na pomiarze • przesuniec plyty stolikowej 5 w zakresie ruchu precyzyjnego, w dowolnej pozycji 10 sruby mikrometrycznej 4, posrednio, przez pomiar przesuniecia liniowego kowadelka 10 umocowane¬ go w dzwigni 3.Zastrzezeinie patentowe 15 Stolik z mechanizmem pomiarowym dla jednej wspólrzednej, znamienny tym, ze w korpusie (1) na osi (2) osadzona jest dwuramienna dzwignia (3) w której na jednym ramieniu zamocowana jest sruba mikrometryczna (4) dzialajaca na plyte sto- 20 likowa (5) poprzez kolek (7), a na drugim ramie¬ niu zamocowana jest sruba róznicowa (6) oparta koncówka o korpus (1) oraz posiada dodatkowy element pomiarowy, korzystnie czujnik indukcyjny, którego glowica pomiarowa (8) osadzona jest w 25 korpusie (1) tak, ze koncówka pomiarowa styka sie z dwuramienna dzwignia (3).116 155 PL PL PL PL PL PL