NO335808B1 - Fremgangsmåte og anlegg for behandling av avgass som inneholder hydrokarboner - Google Patents

Abstract

Avgass som inneholder hydrokarboner underkastes før passering gjennom pumpeapparatur (60) for vasking ved at det i gassen innsprøytes en olje av aromatisk type i et olje- resirkuleringsvaskeapparat (30). Polysykliske aromatiske hydrokarboner inneholdt i avgassen innfanges ved å bli absorbert i oljen. Fremgangsmåten er egnet for behandling av avgass som kommer fra et anlegg for kjemisk dampavsetning eller infiltrasjon ved bruk av en reagensgass som inneholder en forløper for pyrolytisk karbon, eller som ellers kommer fra et oppkullingsanlegg.

Description

Bakgrunn for oppfinnelsen

Oppfinnelsen vedrører behandling av avgass som inneholder polysykliske aromatiske hydrokarboner.

Anvendelsesområdet for oppfinnelsen er mer spesielt området med behandling av avgass frembrakt av industrianlegg for kjemisk dampavsetning eller infiltrasjon for å danne en avsetning av pyrolytisk karbon på substrater eller å fortette porøse substrater med en matriks av pyrolytisk karbon.

Slike anlegg er meget vel kjent. Substrater for belegging eller fortetting med pyrolytisk karbon anbringes i en ovn hvor en reagensgass inneholdende en eller flere forløpere av det nevnte karbon innføres. Forløpergassen er et hydrokarbon, typisk metan, propan eller en blanding av begge. Trykket og temperaturen i ovnen reguleres slik at belegget eller matriksen av pyrolytisk karbon bringes til å frembringes av forløpergassen som spaltes ("cracking") ved å komme i kontakt med substratene. Avgassen inneholdende biproduktet fra reaksjonen trekkes kontinuerlig ut fra ovnen ved pumping.

Biproduktene fra reaksjonen omfatter organiske forbindelser med en meget høy størkningstemperatur, spesielt polysykliske aromatiske hydrokarboner (PAH), som f.eks. spesielt: naftalen, pyren, antrasen, asenaftylen .... Ved kondensering danner disse reaksjonsbiprodukter tjærer som gjerne vil avsettes i utløps-rørsystemet fra ovnen når avgassen avkjøles. Disse tjærer vil også bli funnet i pumpeapparatet, f.eks. i oljen i vakuumpumper eller i kondensater fra dampejektorer.

Lignende problemer kan opptre med andre industrianlegg enn ovner for kjemisk dampavsetning eller infiltrasjon men som også gjør bruk av hydrokarboner som reagensgass, f.eks. oppkullingsovner.

WO 98/01216 A og WO 98/03247 A omhandler fremgangsmåter for å rense avgasser.

Formål for oppfinnelsen og kort oppsummering av oppfinnelsen.

Et formål for oppfinnelsen er å tilveiebringe en fremgangsmåte for behandling av avgass som inneholder tjærer, spesielt polysykliske aromatiske hydrokarboner, for å unngå tilstopning av rørsystemer eller å forurense omgivelsene med disse tjærer.

Foreliggende oppfinnelse tilveiebringer en fremgangsmåte for behandling av avgass som inneholder hydrokarboner, hvori avgassen før den passerer gjennom pumpeapparatur underkastes vasking ved innsprøyting av olje av aromatisk type for det formål å innfange polysykliske aromatiske hydrokarboner idet oljen forblir i den flytende fase under vaskingen.

Sammenlignet med andre gassvaskemetoder tjener innsprøytingsvasking til å begrense statisk trykktap og å minimere dannelsen av tjæreavsetninger på vegger, noe som ellers kan skje ved bruk av vaskekolonner med plater.

Den anvendte innsprøytingsolje må forbli i den flytende fase under vaskeprosessen slik at det unngås frembringelse av damp som medrives i avgassen. Spesifikt med avgass fra en ovn for kjemisk dampavsetning eller infiltrasjon er trykket av avgassen ved utløpet fra ovnen forholdsvis lavt. Innsprøytingsoljen må derfor ha et lavt damptrykk, foretrukket mindre enn 100 Pascal (Pa) ved 0 °C.

I tillegg må sammensetningen av oljen muliggjøre at de tjærer som skal innfanges må absorberes grundig. Dette er grunnen til at det er foretrukket å anvende en mineralolje av aromatisk type med lavt PAH innhold og som er i stand til å absorbere og oppløse PAH.

Ifølge et trekk ved fremgangsmåten vaskes avgassen ved injeksjon av olje inn i en strøm av avgass som beveger seg langs et innsprøytingstårn, f.eks. en Venturikolonne.

Fordelaktig sirkulerer oljen kontinuerlig mellom en resirkulasjonstank som samler opp den PAH fylte olje og minst en dyse for innsprøyting av olje i en strøm av avgass. Oljen blir foretrukket avkjølt ved å passere gjennom en varmeveksler på sin bane mellom tanken og en eller flere innsprøytingsdyser.

Ifølge et ytterligere trekk ved fremgangsmåten pumpes avgassen ved at den vaskede gass føres gjennom i det minste en dampejektorkondensator. Fordelaktig blir i det minste en del av gassen fra ejektorkondensatoren anvendt som forbrenningsgass for apparatet som frembringer den damp som føres til ejektorkondensatoren.

Kondensatet som kommer fra ejektorkondensatoren blir også fordelaktig behandlet ved å føres over aktivert karbon for å gjenvinne lette hydrokarboner, spesielt benzener, og eventuelt resterende PAH inneholdt i kondensatet.

Et ytterligere formål for oppfinnelsen er å tilveiebringe et anlegg for å gjennomføre den ovenfor angitte fremgangsmåte.

Foreliggende oppfinnelse tilveiebringer følgelig et anlegg for behandling av avgass som inneholder hydrokarboner, idet anlegget omfatter gasspumpe apparatur og oljevaskeapparatur innsatt mellom et innløp for avgass som skal behandles og pumpeapparaturen, og hvori oljevaskeapparaturen omfatter et innsprøytingstårn som har sitt innløp forbundet til å motta avgass slik at denne kan bringes til å strømme langs tårnet, og som har anordninger for å injisere olje inn i innsprøytingstårnet.

Innsprøytingstårnet kan være en Venturikolonne.

Ifølge et trekk ved anlegget inkluderer vaskeapparaturen en oljeresirkulasjonstank som har: et innløp forbundet til innsprøytingstårnet; et oljeutløp forbundet til anordningene for å injisere olje inn i tårnet slik at oljen bringes til å sirkulere kontinuerlig mellom resirkulasjonstanken, oljeinjeksjonsanordningene, og innsprøytingstårnet; og et utløp for vasket gass forbundet til pumpeapparaturen.

Fordelaktig inkluderer vaskeapparatet en varmeveksler anbrakt i banen for avgassen nedstrøms fra innsprøytingstårnet, og anordninger for å forsyne varmeveksleren med et kjølefluid.

Vaskeapparaturen inkluderer også fordelaktig en varmeveksler anbrakt mellom oljeutløpet og oljeinjektoranordningene for å avkjøle oljen før den injiseres i tårnet.

Ifølge et ytterligere trekk ved anlegget omfatter pumpeapparaturen minst en dampejektorkondensator.

Fordelaktig frembringes dampen i en kjele med anordninger for tilførsel av brenngass forbundet til et gassutløp fra ejektorkondensatoren.

Ejektorkondensatoren kan være av den indirekte kondensatortype. Anordninger er foretrukket tilveiebrakt for å behandle kondensatet som kommer fra ejektorkondensatoren for å gjenvinne hydrokarboner inneholdt deri, f.eks. anordninger for absorpsjon på aktivert karbon.

I en variant kan ejektorkondensatoren være av den direkte kondensatortype. Kondensatet som kommer fra kondensatoren kan så behandles ved å føres gjennom en strippekolonne.

Foreliggende oppfinnelse tilveiebringer også et Industrielt anlegg for kjemisk dampinfiltrasjon eller avsetning for å danne en avsetning omfattende pyrolytisk karbon på substrater eller for å fortette porøse substrater med en matriks omfattende pyrolytisk karbon, der anlegget omfatter en ovn med et reagensgassinnløp og et avgassutløp, sammen med et anlegg for behandling av avgass ifølge hvilket som helst av kravene 12 til 21 forbundet til avgassutløpet fra ovnen.

Kort beskrivelse av tegningene

Oppfinnelsen vil bli bedre forstått ved å lese den etterfølgende beskrivelse gitt som en ikke begrensende indikasjon og med henvisning til de vedføyde tegninger, hvor: • Fig. 1 viser et industrielt anlegg for kjemisk dampinfiltrasjon forsynt med et anlegg for behandling av avgass og som utgjør en utførelsesform av

oppfinnelsen; og

• Fig. 2 viser en del av et anlegg for behandling av avgass og som utgjør en ytterligere utførelsesform av oppfinnelsen

Detaljert beskrivelse av utførelsesformer

Fig. 1 er en sterkt skjematisk representasjon av et anlegg for kjemisk dampinfiltrasjon som er bestemt mer spesielt for fortetting av porøse substrater med en pyrolytisk karbonmatriks.

En ovn 10 som er anbrakt i en mantel 12 rommer porøse substrater 14 som skal fortettes, f.eks. fiberemner for deler som skal fremstilles av karbonmatriks-komposittmateriale.

Ovnen 10 er avgrenset av en vegg 16 som danner en elektrisk suseptor, f.eks. fremstilt av grafitt, og av en bunn 18 og et deksel 20. Den elektriske suseptor 16 er koplet med en induksjonsspole 22, idet ovnen oppvarmes hovedsakelig ved stråling fra den elektriske suseptor som oppvarmes ved å være koplet induktivt med induksjonsspolen.

En reagensgass innføres via et rør 24 som f.eks. passerer gjennom bunnen 18 av ovnen. Reagensgassen omfatter en eller flere karbonforløpere i gassform, spesielt metan og/eller propan. Avgassen trekkes utfra ovnen gjennom dekselet 20 ved hjelp av et rør 26 forbundet til pumpeapparatur som sikrer at gassen strømmer gjennom ovnen og som opprettholder det ønskede lave trykk inne i ovnen.

Slikt anlegg er i og for seg vel kjent slik at det ikke har noen hensikt å gi en mer detaljert beskrivelse av dette.

En matriks av pyrolytisk karbon dannes inne i porene av substratene ved hjelp av den eller de gassformede forløpere som spaltes. Reaksjonsbiprodukter dannes også og disse samles i avgassen sammen med en fraksjon av reagensgassen som ikke har reagert og sammen med hydrogengass H2som kommer fra spaltingen av de gassformede karbonforløpere.

Reaksjonsbiprodukter omfatter spesielt de følgende organiske forbindelser: • resterende reagensgass og hydrogengass; • umettede hydrokarboner, hovedsakelig etylen og acetylen; disse frembyr ikke noen spesielle problemer og kan brennes ved utløpet;

• benzener som f.eks. benzen, toluen, xylen (BTX); og

• polysykliske aromatiske hydrokarboner, som f.eks. naftalen, pyren, antrasen, asenaftylen,....

PAH frembyr større vanskelighet på grunn av deres høye størkningstemperatur som letter deres kondensasjon og bevirker at tjærer blir avsatt i utløpsrørene fra ovnen så snart temperaturen av avgassen minsker.

Oppfinnelsen tilveiebringer således et anlegg for behandling av avgass, hvor anlegget omfatter apparatur 30 for vasking av avgassen ved hjelp av olje, idet apparaturen er satt inn mellom utløpet for avgass fra ovnen 10 og pumpeapparaturen 60.

Oljevaskeapparatet 30 omfatter et innsprøytingstårn 32 hvis toppende er forbundet til røret 26. Tårnet 32 er et tårn med en Venturi 34 dannet av en innsnevring i strømningstverrsnittet som den tilveiebringer for gassen. Ved sin bunnende kommuniserer tårnet 32 med et gassinnløp 42 dannet gjennom toppveggen av en oljeresirkulasjonstank 40 i nærheten av en ende derav. Et gassutløp 44 åpner seg også gjennom toppveggen av tanken 40 i nærheten av dens andre ende, og kommuniserer ved hjelp av et rør 62 med pumpeapparaturen 60.

Et oljeutløp er tildannet i bunndelen av tanken 40 og er forbundet til en pumpe 50 som trekker ut olje fra tanken 40 for å tilføre denne til dyser 36, 38 plassert hovedsakelig på aksen for tårnet 32, idet oljen bringes til å passere gjennom en varmeveksler 52. Ytterligere dyser 46a og 46b kan anbringes i tanken 40, idet dysene 46a og 46b mates med olje nedstrøms fra varmeveksleren 52, i parallell med dysene 36 og 38.

Varmeveksleren 52 gjennomstrømmes av et kjølefluid, f.eks. kaldt vann, for det formål å avkjøle den olje som kommer fra tanken 40. Oljen for avkjøling passerer også gjennom en varmeveksler 54, f.eks. anordnet i form av plater og som er forbundet i serie med varmeveksleren 52 og som er anbrakt inne i tanken 40.

Varmeveksleren 54 og dysene 46a og 46b rommes inne i tanken mellom dens gassinnløp 42 og dens gassutløp 44, over nivået for oljen i tanken.

En dråpefjerner 48 kan være montert ved gassutløpet 44 fra tanken 40. Oljevaskeapparatet 30 arbeider som følger.

Oljen tilført dysene 36 og 38 sprøytes inn i strømmen av avgass som

passerer gjennom tårnet 32 idet denne innsprøyting effektiviseres ved økningen i hastigheten av gassen og som skyldes nærværet av Venturien 34. En av dysene, 36, kan være plassert i toppdelen av tårnet 32 oppstrøms fra Venturien, mens den andre dyse 38 er plassert nær Venturi innsnevringen. Det ville også være mulig å anvende bare en dyse, 36 eller 38.

Den innsprøytede olje absorberer en stor fraksjon av tjærene som er medført av avgassen, spesielt de polysykliske aromatiske hydrokarboner (PAH) som medføres til badet av olje inneholdt i tanken 40.

Den anvendte olje må fremby et damptrykk som er lavt nok til å sikre at den ikke fordamper ved det trykk som hersker ved utløpet fra ovnen 10 for å unngå at avgassen fylles med oljedamp. Som en indikasjon kan trykket inne i ovnen 10 under de forskjellige trinn av infiltrasjonsprosessen være mindre enn omtrent 0,2 kilopascal (kPa). Viskositeten av oljen må også være tilstrekkelig lav slik at den blir i stand til å settes i sirkulasjon og å muliggjøre at en tåke dannes ved utløpet fra dysene.

Dette er grunnen til at oljen foretrukket er en mineralolje av aromatisk type med damptrykk på mindre enn 100 Pa ved 0 °C og som er i stand til å absorbere og oppløse PAH.

En olje basert på oksylener, som f.eks. den syntetiske olje som selges under betegnelsen "Jaritherm AX 320" av den franske leverandør Elf Atochem og som utgjøres av 85 vekt% monoxylylxylen og 15 vekt% dixylylxylen er blitt funnet å være effektiv. Denne olje har en viskositet på 60 centipoise ved 0 °C og et damptrykk ved 0 °C på mindre enn 100 Pa.

Som sammenligning har en olje basert på parafin blitt funnet å være ineffektiv på grunn av dens manglende evne til å oppløse PAH.

Varmevekslerne 52 og 54 tilføres kaldt vann ved en temperatur nær 0 °C for i så sterk grad som mulig å avkjøle oljen som injiseres av dysene 36 og 38, og også av dysene 46a og 46b på banen mellom innløpet og utløpet for gass som passerer gjennom tanken 40.

Varmeveksleren 54 fremmer kondensasjon av tjære som fremdeles er til stede i avgassen som forlater tårnet 32.

Dråpefjerneren 48, f.eks. av ledeplatetypen, bidrar til å bryte opp en tåke til stede ved utløpet fra tanken 40 slik at det separeres ut dråper og bringer dem til å flyte sammen slik at de blir i stand til å bli samlet i badet av olje.

Tanken kan tømmes i det minste delvis via utløpet fra pumpen 50 ved å lukke en ventil 51 montert i et rør som forbinder utløpet av pumpen 50 til varmeveksleren 52 mens en ventil 53 montert i et rør som forbinder utløpet fra pumpen 50 til et utløp 56 for avfallsolje åpnes. Den oppsamlede avfallsolje kan ødelegges ved å forbrennes og ren olje kan tilsettes i tanken 40.

Innfangningen som utføres ved hjelp av oljevaskeapparatet 30 tjener til å eliminere en maksimal mengde av tjære som f.eks. PAH. Bare de letteste aromatiske hydrokarboner (benzener, monosykliske hydrokarboner) kunne være tilbake i den vaskede avgass, men de frembyr ikke noen fare for tilstopning av rørene ettersom deres damptrykk er høyere.

Pumpeapparatet 60 omfatter en ejektorkondensator 64 eller et flertall av lignende ejektorkondensatorer forbundet i serie (bare en er vist i figuren).

Ejektorkondensatoren 64 omfatter en ejektordel 66 som tilføres damp fra en kjele 80, og en kondensatordel 68 plassert nedstrøms fra ejektoren. Kondensatoren 68 er en indirekte kondensator, idet gassen som kommer fra ejektoren bringes i kontakt med rør som transporterer et kjølefluid, f.eks. kaldt vann.

Etter å ha passert gjennom kondensatoren 68 bringes vannet til et kjøletårn 70 hvor det kan samles i en tank 72 hvori tilleggsvann tilsettes ved hjelp av et rør 73 slik at kontinuerlig sirkulasjon muliggjøres utført av en pumpe 74 innsatt i et rør som forbinder tanken 72 til kondensatoren 68.

Kondensatet oppsamlet i et utløpsrør 76 fra kondensatoren inneholder benzener som benzen, toluen, xylen (BTX) sammen med eventuelle resterende PAH oppløst i vannet som kommer fra kondensasjonen av dampen fra ejektoren 66. Kondensatet behandles ved absorpsjon på et stasjonært lag 77 av aktivert karbon inneholdt i en absorpsjonskolonne 78. Røret 76 er forbundet til toppen av kolonnen 78 og renset vann samles fra bunnen av kolonnen hvorfra det kan tas ut ved hjelp av et rør 79 til tanken 72. Et flertall absorpsjonskolonner med aktiverte karbonlag kan være forbundet i serie.

Ved utløpet fra kondensatoren passerer avgassen gjennom en pumpe 78. Det er mulig å anvende en vannringpumpe avkjølt ved hjelp av en varmeveksler slik at gassen som trekkes ut fra behandlingsanlegget er praktisk ved omgivelsenes temperatur.

Gassen som tas ut inneholder hovedsakelig umettede hydrokarboner i tillegg til resterende reagensgass og hydrogengass H2som kommer fra ovnen 10. Den kan sendes til forbrenning ved avfakling gjennom et rør 79 og i det minste en del av den kan anvendes som brenngass for kjelen 80. Hvis den anvendes som brenngass blandes den i en buffersylinder 82 med gassformet brennstoff som f.eks. naturgass tilført gjennom et rør 84. Buffersylinderen 82 sørger for tilførsel til brennerne 86 i kjelen 80.

I en variant, som vist i fig. 2, omfatter ejektorkondensatoren 64 (eller hver av dem når et flertall er forbundet i serie) en direkte kondensator 168 (i stedet for en indirekte kondensator) nedstrøms fra ejektoren 66. Elementer som er felles for begge utførelsesformer i figurene 1 og 2 er gitt de samme henvisningstall og er ikke beskrevet i detalj i det følgende.

Strømmen som kommer fra ejektoren 66 settes i direkte kontakt med kjølevann inne i kondensatoren 168.

Kondensatet og kjølevannet samles i en beholder 170 før det bringes til en strippekolonne 172. Gassen fra kondensatoren 168 bringes til buffersylinderen 82.

Strippekolonnen 172 tilføres damp og luft. Dampen kan tas fra kjelen 80, i hvilket tilfelle kjelen er dimensjonert slik at den er i stand til å mate både ejektoren 66 og strippekolonnen.

Gassen som kommer fra strippekolonnen omfattende luft, damp, benzen og eventuelt noe naftalen bringes til en forbrenningsavfakling.

Den flytende effluent fra strippekolonnen samles i en tank 174. Denne består hovedsakelig av vann som resirkuleres til kondensatoren 168 som kjølevann. Overskuddsvann samlet i tanken 174 inneholder bare en meget liten mengde benzener og kan slippes ut i kloakken.

Selv om den foregående beskrivelse vedrører at oppfinnelsen anvendes i en ovn for fortetting av porøse substrater med en matriks av pyrolytisk karbon oppnådd ved kjemisk gassinfiltrasjon, kan det lett ses at oppfinnelsen er anvendelig for en industriell ovn for belegging av substrater med pyrolytisk karbon ved kjemisk gassavsetning, og mer generelt for industrielle anlegg som bruker hydrokarboner og slipper ut avgass inneholdende tjære som f.eks. PAH, som det kan ses spesielt for oppkullingsovner.

De følgende tabeller gir resultatene av analyser gjennomført på olje og vann etter at et anlegg av typen vist i fig. 1 hadde vært i drift i forskjellige perioder.

Tabell I angir den opprinnelige sammensetning av innsprøytingsoljen (brukstid = 0), etter 1231 timer (h) og bruk i anlegget, og etter 2137 h bruk. Denne tabell angir også det initiale volum av olje og de deretter målte volumer, sammen med massen av absorberte PAH.

Det kan ses at innsprøytingsoljen har stor absorpsjonskapasitet, idet den nevnte olje er den ovennevnte "Jaritherm AX320".

Tabell II angir mengden av hydrokarboner målt i vannet ved innløpet og utløpet av tårnet 78 for filtrering ved absorpsjon på aktivert karbon, etter at anlegget hadde vært i drift i 3500 h. Denne tabell angir også fenolindeksen, pH, uklarheten, det totale organiske karboninnhold (TOC), og materialet i suspensjon.

Det kan ses at aktivert karbonfiltrering er effektiv til å eliminere PAH rester og benzener i kondensatene fra kondensatoren 68.

Claims (22)

1. Fremgangsmåte for behandling av avgass som inneholder hydrokarboner,karakterisert vedat avgassen før den passerer gjennom pumpeapparatur underkastes vasking ved innsprøyting av olje av aromatisk type for det formål å innfange polysykliske aromatiske hydrokarboner, idet oljen forblir i den flytende fase under vaskingen.

2. Fremgangsmåte ifølge krav 1, karakterisert vedat avgassen vaskes med en innsprøytingsolje i en strøm av avgass som beveger seg langs et innsprøytingstårn.

3. Fremgangsmåte ifølge krav 1 eller 2, karakterisert vedat oljen sirkulerer kontinuerlig mellom en resirkulasjonstank som oppsamler olje fylt med polysykliske aromatiske hydrokarboner og minst en dyse for innsprøyting av olje i avgasstrømmen.

4. Fremgangsmåte ifølge krav 3, karakterisert vedat oljen avkjøles på sin bane mellom resirkulasjonstanken og innsprøytingsdysen eller dysene.

5. Fremgangsmåte ifølge hvilket som helst av kravene 1 til 4,karakterisert vedat den aromatiske olje har et damptrykk lavere enn 100 Pa ved 0 °C.

6. Fremgangsmåte ifølge hvilket som helst av kravene 1 til 5,karakterisert vedat den valgte olje er basert på xylener.

7. Fremgangsmåte ifølge hvilket som helst av kravene 1 til 6,karakterisert vedat avgassen pumpes ved at gassen føres gjennom minst en dampejektorkondensator av den indirekte kondensatortype.

8. Fremgangsmåte ifølge krav 7, karakterisert vedat kondensatet fra ejektorkondensatoren behandles ved å føres over aktivert karbon for å gjenvinne lette hydrokarboner og eventuelle resterende polysykliske aromatiske hydrokarboner.

9. Fremgangsmåte ifølge hvilket som helst av kravene 1 til 6,karakterisert vedat avgassen pumpes ved å føres gjennom minst en dampejektorkondensator av den direkte kondensatortype.

10. Fremgangsmåte ifølge krav 9, karakterisert vedat kondensatet fra ejektorkondensatoren behandles ved å føres gjennom en strippekolonne.

11. Fremgangsmåte ifølge hvilket som helst av kravene 7 til 10,karakterisert vedat i det minste en del av den vaskede gass som kommer fra ejektorkondensatoren anvendes som en brenngass for en anordning for å frembringe damp som mates til ejektorkondensatoren.

12. Anlegg for behandling av avgass som inneholder hydrokarboner,karakterisert vedat det omfatter gasspumpeapparatur (60) og oljevaskapparatur (30) innsatt mellom et innløp for avgass som skal behandles og pumpeapparaturen, og at oljevaskeapparaturen omfatter et innsprøytingstårn (32) som har sitt innløp forbundet til å motta avgass slik at denne kan bringes til å strømme langs tårnet, og som har anordninger for å injisere olje inn i innsprøytingstårnet.

13. Anlegg ifølge krav 12, karakterisert vedat innsprøytingstårnet (32) er en Venturikolonne.

14. Anlegg ifølge krav 12 eller 13, karakterisert vedat vaskeapparaturen inkluderer en oljeresirkulasjonstank (40) som har: et innløp forbundet til innsprøytingstårnet; et oljeutløp forbundet til anordningene for å injisere olje inn i tårnet slik at oljen bringes til å sirkulere kontinuerlig mellom resirkulasjonstanken, oljeinjeksjonsanordningene og innsprøytingstårnet; og et utløp for vasket gass forbundet til pumpeapparaturen.

15. Anlegg ifølge krav 14, karakterisert vedat vaskeapparaturen inkluderer en varmeveksler (54) anbrakt i banen for avgassen nedstrøms fra innsprøytningstårnet, og anordninger for å mate varmeveksleren med et kjølefluid.

16. Anlegg ifølge krav 14 eller 15, karakterisert vedat det inkluderer en varmeveksler (52) innsatt i banen for oljen mellom resirkulasjonstanken (40) og innsprøytingstårnet (32), og anordninger for å tilføre et kjølefluid til varmeveksleren.

17. Anlegg ifølge hvilket som helst av kravene 12 til 16,karakterisert vedat pumpeapparatet omfatter minst en dampejektorkondensator (68) av den indirekte kondensatortype.

18. Anlegg ifølge krav 17, karakterisert vedat det inkluderer anordninger (78) for aktivert karbonbehandling forbundet til et utløp for kondensat fra ejektorkondensatoren.

19. Anlegg ifølge hvilket som helst av kravene 12 til 16,karakterisert vedat pumpeapparaturen omfatter minst en dampejektorkondensator (168) av den direkte kondensatortype.

20. Anlegg ifølge krav 19, karakterisert vedat det inkluderer en strippekolonne (172) forbundet til et utløp for kondensat fra ejektorkondensatoren.

21. Anlegg ifølge hvilket som helst av kravene 17 til 20,karakterisert vedat det inkluderer en kjele (80) for produksjon av damp for ejektorkondensatoren, idet kjelen har tilførselsanordninger for brenngass forbundet til et gassutløp fra ejektorkondensatoren.

22. Industrielt anlegg for kjemisk dampinfiltrasjon eller avsetning for å danne en avsetning omfattende pyrolytisk karbon på substrater eller for å fortette porøse substrater med en matriks omfattende pyrolytisk karbon,karakterisert vedat anlegget omfatter en ovn med et reagensgassinnløp og et avgassutløp, sammen med et anlegg for behandling av avgass ifølge hvilket som helst av kravene 12 til 21 forbundet til avgassutløpet fra ovnen.