NL8200299A - Inrichting voor het werken met fluorescerende x-straling. - Google Patents
Inrichting voor het werken met fluorescerende x-straling. Download PDFInfo
- Publication number
- NL8200299A NL8200299A NL8200299A NL8200299A NL8200299A NL 8200299 A NL8200299 A NL 8200299A NL 8200299 A NL8200299 A NL 8200299A NL 8200299 A NL8200299 A NL 8200299A NL 8200299 A NL8200299 A NL 8200299A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- radiation
- sample
- fluorescent
- collimator
- reflective plate
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
t * *
V
VO 3035
Titel: Inrichting voor het werken met fluorescerende X-straling.
De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het werken met een fluorescerende X-straling en meer in het bijzonder heeft de uitvinding betrekking op een verbeterde inrichting waarmee het mogelijk is om een plaats waar X-straling wordt toegevoerd 5 vanaf een zich boven een monster bevindende positie, te observeren en de meetnauwkeurigheid te vergroten.
Bij bekende inrichtingen die in dit verband zijn toegepast, is gebruik gemaakt van een beweegbare uit glas bestaande reflecterende plaat. Wanneer hierbij X-straling vanaf een X-stralingsbuis feitelijk 10 wordt toegevoerd aan een monster, wordt de reflecterende plaat door middel van een verplaatsingsinrichting naar een dusdanige positie verplaatst dat de X-straling het monster kan bereiken.
Bij een dergelijke conventionele inrichting die in het voorafgaande is beschreven is het echter voor het bestralen met X-straling 15 van een monster vereist om de reflecterende plaat door middel van de verplaatsingseenheid uit de weg te verplaatsen en de collimator in de baan van de X-straling te plaatsen voordat deze X-straling op het monster wordt geprojecteerd. Wegens de noodzaak van een dergelijke verplaatsingsinrichting worden de kosten van de inrichting in zijn 20 totaliteit genomen verhoogd; bovendien brengt langdurig gebruik mede dat de plaats van de collimator moet kunnen worden veranderd, zodat een instelinrichting voor het teweegbrengen van de verplaatsing van de collimator nodig is.
Met de uitvinding is nu beoogd een inrichting beschikbaar te 25 stellen waarbij dergelijke bezwaren zijn opgeheven. In wezen is een inrichting volgens de uitvinding daardoor gekenmerkt dat tussen een collimator en een monster een reflecterende plaat is aangebracht, welke reflecterende plaat is gemaakt van een materiaal dat lichtstraling reflecteert en X-straling doorlaat.
30 De uitvinding zal in het onderstaande nader worden toegelicht met verwijzing naar de tekening waarin: figuren 1 en 2 vooraanzichten zijn van conventionele inrichtingen die werken met fluorescerende X-straling; en figuur 3 een schema is ter illustratie van een uitvoeringsvorm 35 van de uitvinding van een met fluorescerende X-straling werkende 8200299
f V
-2- inrichting.
Bij de in de figuren 1 en 2 weergegeven configuraties is gebruik gemaakt van een reflecterende plaat 1, welke reflecterende plaat is vervaardigd uit glas. Wanneer X-straling vanaf een X-stra-5 lingsbuis 2 moet worden toegevoerd aan een monster 5 wordt de reflecterende plaat verplaatst door middel van een draaispoel 3 en wel naar een in fig. 2 weergegeven positie, zodat de X-straling naar.het monster kan doorgaan.
Bij een dergelijke bekende inrichting moet voordat de X-stra-10 ling aan het monster 5 wordt toegevoerd de reflecterende plaat 1 eerst door middel van de draaispoel 3 worden wegbewogen en de collimator 4 moet worden bewogen naar een positie waarin de X-straling wordt doorgelaten.
Fig. 3 geeft een schema ter illustratie van een uitvoerings-15 vorm van een met X-straling werkende inrichting volgens de uitvinding.
Zoals in fig. 3 is weergegeven is onder een door 10 aangeduide X-stralingsbuis een collimator 11 aangebracht. Tussen de collimator 11 en een monster 12 bevindt zich een reflecterende plaat 13 die speciaal voor een dergelijke inrichting is ontwikkeld. Deze reflecterende 20 plaat 13 is bevestigd aan een (niet weergegeven) frame. De -reflecterende plaat 13 is vervaardigd uit een materiaal dat lichtstraling reflecteert, echter X-straling doorlaat; de reflecterende plaat 13 kan bijvoorbeeld zijn voorzien van een platering van SiO^, of een organische film met aluminium; ook is het mogelijk door opdampen een 25 reflecterend oppervlak hierop te vormen. De X-straling die afkomstig is van de buis 10 wordt via de reflecterende plaat 13 toegevoerd aan het monster 12 en de vanaf het monster 12 afkomstige fluorescerende _ X-straling-wordt gedectecteerd door een detectiegedeelte 14. Aange-. . . < zien bij deze inrichting door de reflecterende plaat 13 lichtstraling 30 vanaf het monster wordt gereflecteerd, kan de toestand van het monster 12 bijvoorbeeld door middel van een microscoop (niet weergegeven), worden waargenomen.
Bij een inrichting volgens de uitvinding zijn de bij de bekende techniek -sereiste verpLaatsingsmiddelen aldus niet nodig aangezien de 35 reflecterende plaat zich op een vaste plaats bevindt; aldus kunnen de fabricagekosten in aanzienlijke mate worden teruggebracht. Bovendien “ ' '8 2 0 0 2 9 ..........'.........'.....'...... -7“ - ......... ' ' * -3- geldt dat zelfs indien de inrichting langdurig wordt gebruikt, de inrichting kan werken onder stabiele omstandigheden en met een hoge graad van nauwkeurigheid- . -* i- · t- - · . . · .... . ... \ ' · · · · ' v . ' ’ . . " '·. · · '·· · .·; -·-'·· -·: · ~ • · ; · ' . . - --; ----- -- . -. ·· · - ·· · ' · -..-.7.--., i ·.·.·. .·· - "··- i · - - -' - · - ' · . -. · · -- .· · · · - "V..·.. - . 'ir';·.* ' ' —^wm'TW ^ ; - ' * - t
Claims (1)
- «« -f -4- CONCLÜSIE Inrichting werkend met fluorescerende X-straling, gekenmerkt door een X-stralingsbuis voor het uitzenden van X-straling, een bij de onderzijde van de X-stralingsbuis aangebrachte collimator dienende om de X-straling te geleiden en een reflecterende plaat die vast is 5 gemonteerd tussen een monster en de collimator, welke reflecterende plaat is vervaardigd uit een materiaal dat lichtstraling reflecteert en X-straling doorlaat. » . —grroTH--------------------------------------: --------- -
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981014677U JPS57129156U (nl) | 1981-02-04 | 1981-02-04 | |
| JP1467781 | 1981-02-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL8200299A true NL8200299A (nl) | 1982-09-01 |
Family
ID=11867841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL8200299A NL8200299A (nl) | 1981-02-04 | 1982-01-27 | Inrichting voor het werken met fluorescerende x-straling. |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4461017A (nl) |
| JP (1) | JPS57129156U (nl) |
| CA (1) | CA1194619A (nl) |
| DE (1) | DE3203747C2 (nl) |
| FR (1) | FR2499245B1 (nl) |
| GB (1) | GB2095960B (nl) |
| NL (1) | NL8200299A (nl) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3239379A1 (de) * | 1982-10-23 | 1984-04-26 | Helmut Fischer GmbH & Co Institut für Elektronik und Meßtechnik, 7032 Sindelfingen | Vorrichtung zum messen der dicke duenner schichten |
| US4599741A (en) * | 1983-11-04 | 1986-07-08 | USC--Dept. of Materials Science | System for local X-ray excitation by monochromatic X-rays |
| US4979199A (en) * | 1989-10-31 | 1990-12-18 | General Electric Company | Microfocus X-ray tube with optical spot size sensing means |
| US5115457A (en) * | 1990-10-01 | 1992-05-19 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method of determining titanium dioxide content in paint |
| JP3996821B2 (ja) * | 2002-03-27 | 2007-10-24 | 株式会社堀場製作所 | Ｘ線分析装置 |
| US7593509B2 (en) * | 2007-09-27 | 2009-09-22 | Varian Medical Systems, Inc. | Analytical x-ray tube for close coupled sample analysis |
| DE102013102270A1 (de) * | 2013-03-07 | 2014-09-11 | Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik | Optischer Spiegel, Röntgenfluoreszenzanalysegerät und Verfahren zur Röntgenfluoreszenzanalyse |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1976179A (en) * | 1930-04-28 | 1934-10-09 | Mannl Rudolf | Adjusting device for x-ray tubes |
| US2474421A (en) * | 1948-02-19 | 1949-06-28 | F R Machine Works | X-ray equipment |
| US2991362A (en) * | 1959-03-27 | 1961-07-04 | Ontario Research Foundation | Means and method for X-ray spectrometry |
| NL297262A (nl) * | 1962-09-04 | |||
| US3921001A (en) * | 1972-08-21 | 1975-11-18 | Medinova Ab Of Sweden | Screening or aperture device for an x-ray apparatus |
| US3767931A (en) * | 1972-11-14 | 1973-10-23 | Varian Associates | Adjustable x-ray beam collimator with shutter for illumination of the radiation pattern |
| US4178513A (en) * | 1978-01-17 | 1979-12-11 | Nuclear Semiconductor | Art object analyzer |
-
1981
- 1981-02-04 JP JP1981014677U patent/JPS57129156U/ja active Pending
-
1982
- 1982-01-22 GB GB8201847A patent/GB2095960B/en not_active Expired
- 1982-01-27 US US06/343,199 patent/US4461017A/en not_active Expired - Lifetime
- 1982-01-27 NL NL8200299A patent/NL8200299A/nl not_active Application Discontinuation
- 1982-02-01 FR FR8201552A patent/FR2499245B1/fr not_active Expired
- 1982-02-04 CA CA000395561A patent/CA1194619A/en not_active Expired
- 1982-02-04 DE DE3203747A patent/DE3203747C2/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2499245B1 (fr) | 1985-12-13 |
| GB2095960A (en) | 1982-10-06 |
| GB2095960B (en) | 1985-07-03 |
| DE3203747A1 (de) | 1982-09-02 |
| US4461017A (en) | 1984-07-17 |
| JPS57129156U (nl) | 1982-08-12 |
| DE3203747C2 (de) | 1986-06-05 |
| CA1194619A (en) | 1985-10-01 |
| FR2499245A1 (fr) | 1982-08-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4186431A (en) | Linear light source | |
| US4182259A (en) | Apparatus for measuring coating thickness on an applicator roll | |
| US5917640A (en) | Rotatable polygonal mirror unit having adjustable mirrors | |
| NL8200299A (nl) | Inrichting voor het werken met fluorescerende x-straling. | |
| CA2028003A1 (en) | Total reflection x-ray fluorescence apparatus | |
| JPS63252211A (ja) | 表面との間隔を無接触式に測定するための装置 | |
| JPS62101165A (ja) | オプトエレクトロニクス式の走査ヘツド | |
| KR850004150A (ko) | 광(光)헤드 | |
| US4117601A (en) | Longitudinal measuring instrument | |
| KR960035741A (ko) | 주사형 전자현미경 | |
| JP2705712B2 (ja) | 測長または測角装置 | |
| US4442535A (en) | Fluorescent X-ray film thickness gauge for very small areas | |
| JPS6042341Y2 (ja) | 遠紫外線用の分光分析器 | |
| KR20070015267A (ko) | 변위 측정 장치 | |
| SU1089539A1 (ru) | Сканирующее устройство | |
| KR900015116A (ko) | 자기 광학 정보 캐리어 서입 및 독출 장치 | |
| CN113639960B (zh) | 一种多光谱像倾斜检测装置 | |
| JPS631221Y2 (nl) | ||
| SU526769A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещени светового луча по одной координате на объекте | |
| Norby et al. | Soft-x-ray imaging from an ultrashort-pulse laser-produced plasma using a multilayer coated optic | |
| EP0484310A3 (en) | Device for measuring the roughness of a moving metal product | |
| SU1150525A1 (ru) | Устройство дл регистрации зависимости интенсивности отраженного излучени от угла падени на исследуемый объект | |
| SE9100253L (sv) | Foerfarande och anordning foer beroeringsfri bestaemning av en kropps translations- eller vridningslaege | |
| JPS5756189A (en) | Detector for heating point of light beam working device | |
| SU1594393A1 (ru) | Рентгенодифрактометрическое устройство |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| BA | A request for search or an international-type search has been filed | ||
| A85 | Still pending on 85-01-01 | ||
| BB | A search report has been drawn up | ||
| BV | The patent application has lapsed |