NL7700461A - Parallelesatiemal voor een hoekfoutcorrectie- kop. - Google Patents

Parallelesatiemal voor een hoekfoutcorrectie- kop.

Info

Publication number
NL7700461A
NL7700461A NL7700461A NL7700461A NL7700461A NL 7700461 A NL7700461 A NL 7700461A NL 7700461 A NL7700461 A NL 7700461A NL 7700461 A NL7700461 A NL 7700461A NL 7700461 A NL7700461 A NL 7700461A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
error correction
correction head
corner error
parallel mold
mold
Prior art date
Application number
NL7700461A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Karl Suess Kg Fa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Karl Suess Kg Fa filed Critical Karl Suess Kg Fa
Publication of NL7700461A publication Critical patent/NL7700461A/nl

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/707—Chucks, e.g. chucking or un-chucking operations or structural details

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
NL7700461A 1976-02-25 1977-01-18 Parallelesatiemal voor een hoekfoutcorrectie- kop. NL7700461A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19762607607 DE2607607C2 (de) 1976-02-25 1976-02-25 Parallelisierlehre in einem Keilfehlerkorrekturkopf

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7700461A true NL7700461A (nl) 1977-08-29

Family

ID=5970809

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7700461A NL7700461A (nl) 1976-02-25 1977-01-18 Parallelesatiemal voor een hoekfoutcorrectie- kop.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4136459A (nl)
JP (1) JPS52102684A (nl)
DE (1) DE2607607C2 (nl)
GB (1) GB1540621A (nl)
NL (1) NL7700461A (nl)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4868992A (en) * 1988-04-22 1989-09-26 Intel Corporation Anode cathode parallelism gap gauge
DE19741487C2 (de) * 1997-09-19 2000-08-31 Univ Eberhard Karls Vorrichtung für einen Zugang in den Subretinalraum eines Auges
DE102010007970A1 (de) 2010-02-15 2011-08-18 Suss MicroTec Lithography GmbH, 85748 Verfahren und Vorrichtung zum aktiven Keilfehlerausgleich zwischen zwei im wesentlichen zueinander parallel positionierbaren Gegenständen
NL2015170B1 (en) * 2015-07-15 2017-02-01 Suss Microtec Lithography Gmbh Spacer displacement device for a wafer illumination unit and wafer illumination unit.
CN114815521B (zh) * 2022-05-07 2022-11-04 魅杰光电科技(上海)有限公司 一种楔形误差补偿装置及其相应的补偿楔形误差的方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1411351A (en) * 1918-11-19 1922-04-04 United Shoe Machinery Corp Device for forming heel lifts
US1818167A (en) * 1930-01-20 1931-08-11 Sears Edward Chuck for machine tools
US2906205A (en) * 1955-08-02 1959-09-29 American Viscose Corp Humidifier and control system
JPS555693B2 (nl) * 1971-12-17 1980-02-08
US3988865A (en) * 1973-03-02 1976-11-02 Charles Weisman Clamp and jig for use therewith
US3858978A (en) * 1973-08-10 1975-01-07 Kasper Instruments Chuck for use in out-of-contact optical alignment and exposure apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
DE2607607C2 (de) 1977-12-08
JPS52102684A (en) 1977-08-29
DE2607607B1 (de) 1977-02-24
GB1540621A (en) 1979-02-14
US4136459A (en) 1979-01-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7713410A (nl) Opneemorgaan voor een electro-cardiogram.
NL7708176A (nl) Plaat voor microproeven.
NL7606355A (nl) Draaggestel voor leggers.
NL7602222A (nl) Foutcompensatie in positioneersystemen.
NL7611511A (nl) Vulstof voor harspreparaat.
NL7614473A (nl) Schuitje voor een strookweefgetouw.
NL170830C (nl) Verpakkingsconstructie voor sigaretten.
NL7506284A (nl) Kogelschaal voor kogelscharnieren.
AT371964B (de) Nachlauffehler-korrekturvorrichtung
NL168549C (nl) Kunstblok voor haardvuur.
NL7704342A (nl) Draaggestel voor een maaidorser.
NL174719C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een dihydroxybenzeen.
NL7701874A (nl) Correctiestelsel voor een videoregistratie- apparatuur.
NL7711085A (nl) Stabilisator voor een aanhangwagen.
NL7711027A (nl) Ijkstelsel voor gammateller.
NL7513587A (nl) Freem voor een motorrijwiel.
NL7508526A (nl) Vervaardigingswerkwijze voor electro-akoesti- sche overdragers.
NL7613036A (nl) Standaard voor schrijfgereedschap.
NL7505176A (nl) Aandrijving voor extra lange roltrappen.
NL7701350A (nl) Activators voor per-verbindingen.
NL7700664A (nl) Onderstel voor een rolstoel.
NL7705194A (nl) Verbindingsuitvoering voor rekken.
NL7513763A (nl) Werkwijze voor fluidiseren.
NL7714014A (nl) Loopkussen voor een rupsband.
NL7700461A (nl) Parallelesatiemal voor een hoekfoutcorrectie- kop.

Legal Events

Date Code Title Description
BV The patent application has lapsed