NL7605234A - Werkwijze voor het vervaardigen van een halfge- leiderinrichting en halfgeleiderinrichting ver- vaardigd met behulp van de werkwijze. - Google Patents

Werkwijze voor het vervaardigen van een halfge- leiderinrichting en halfgeleiderinrichting ver- vaardigd met behulp van de werkwijze.

Info

Publication number
NL7605234A
NL7605234A NL7605234A NL7605234A NL7605234A NL 7605234 A NL7605234 A NL 7605234A NL 7605234 A NL7605234 A NL 7605234A NL 7605234 A NL7605234 A NL 7605234A NL 7605234 A NL7605234 A NL 7605234A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
semi
conductor device
procedure
manufacturing
device manufactured
Prior art date
Application number
NL7605234A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Priority to NL7605234A priority Critical patent/NL7605234A/nl
Priority to US05/795,733 priority patent/US4137122A/en
Priority to CA278,299A priority patent/CA1090480A/en
Priority to DE19772721547 priority patent/DE2721547A1/de
Priority to GB20196/77A priority patent/GB1573960A/en
Priority to FR7715057A priority patent/FR2352399A1/fr
Priority to JP5701377A priority patent/JPS52140285A/ja
Publication of NL7605234A publication Critical patent/NL7605234A/nl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02367—Substrates
    • H01L21/0237—Materials
    • H01L21/02387—Group 13/15 materials
    • H01L21/02392—Phosphides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
    • H01L21/02439—Materials
    • H01L21/02455—Group 13/15 materials
    • H01L21/02461—Phosphides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
    • H01L21/02494—Structure
    • H01L21/02496—Layer structure
    • H01L21/0251—Graded layers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02518—Deposited layers
    • H01L21/02521—Materials
    • H01L21/02538—Group 13/15 materials
    • H01L21/02543—Phosphides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02518—Deposited layers
    • H01L21/02521—Materials
    • H01L21/02538—Group 13/15 materials
    • H01L21/02546—Arsenides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02612—Formation types
    • H01L21/02617—Deposition types
    • H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00—Metal treatment
    • Y10S148/102—Mask alignment
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00—Metal treatment
    • Y10S148/162—Testing steps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Recrystallisation Techniques (AREA)
  • Led Devices (AREA)
  • Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
NL7605234A 1976-05-17 1976-05-17 Werkwijze voor het vervaardigen van een halfge- leiderinrichting en halfgeleiderinrichting ver- vaardigd met behulp van de werkwijze. NL7605234A (nl)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7605234A NL7605234A (nl) 1976-05-17 1976-05-17 Werkwijze voor het vervaardigen van een halfge- leiderinrichting en halfgeleiderinrichting ver- vaardigd met behulp van de werkwijze.
US05/795,733 US4137122A (en) 1976-05-17 1977-05-11 Method of manufacturing a semiconductor device
CA278,299A CA1090480A (en) 1976-05-17 1977-05-11 Method of making a semiconductor device
DE19772721547 DE2721547A1 (de) 1976-05-17 1977-05-13 Verfahren zur herstellung einer halbleiteranordnung
GB20196/77A GB1573960A (en) 1976-05-17 1977-05-13 Method of manufacturing a semiconductor device
FR7715057A FR2352399A1 (fr) 1976-05-17 1977-05-17 Procede pour la realisation d'un dispositif semiconducteur et dispositif semiconducteur ainsi realise
JP5701377A JPS52140285A (en) 1976-05-17 1977-05-17 Semiconductor device and method of producing same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7605234A NL7605234A (nl) 1976-05-17 1976-05-17 Werkwijze voor het vervaardigen van een halfge- leiderinrichting en halfgeleiderinrichting ver- vaardigd met behulp van de werkwijze.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7605234A true NL7605234A (nl) 1977-11-21

Family

ID=19826204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7605234A NL7605234A (nl) 1976-05-17 1976-05-17 Werkwijze voor het vervaardigen van een halfge- leiderinrichting en halfgeleiderinrichting ver- vaardigd met behulp van de werkwijze.

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4137122A (nl)
JP (1) JPS52140285A (nl)
CA (1) CA1090480A (nl)
DE (1) DE2721547A1 (nl)
FR (1) FR2352399A1 (nl)
GB (1) GB1573960A (nl)
NL (1) NL7605234A (nl)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2130716A (en) * 1982-11-26 1984-06-06 Philips Electronic Associated Method of determining the composition of an alloy film grown by a layer-by layer process

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE618264A (nl) * 1959-06-18
BE607571A (nl) * 1960-09-09
US3436549A (en) * 1964-11-06 1969-04-01 Texas Instruments Inc P-n photocell epitaxially deposited on transparent substrate and method for making same
US3524776A (en) * 1967-01-30 1970-08-18 Corning Glass Works Process for coating silicon wafers
GB1186340A (en) * 1968-07-11 1970-04-02 Standard Telephones Cables Ltd Manufacture of Semiconductor Devices
US3620814A (en) * 1968-08-09 1971-11-16 Bell Telephone Labor Inc Continuous measurement of the thickness of hot thin films
US3696262A (en) * 1970-01-19 1972-10-03 Varian Associates Multilayered iii-v photocathode having a transition layer and a high quality active layer
US3664942A (en) * 1970-12-31 1972-05-23 Ibm End point detection method and apparatus for sputter etching
CA943368A (en) * 1971-02-05 1974-03-12 Stanislaw M. Veltze Device for measuring temperature of molten metal
DE2414856C2 (de) * 1974-03-27 1983-01-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zum Herstellen einer Halbleiterverbindung, insbesondere Galliumphosphid
JPS51140560A (en) * 1975-05-30 1976-12-03 Hitachi Ltd Method of monitoring homoepitaxy film thickness
US4024291A (en) * 1975-06-17 1977-05-17 Leybold-Heraeus Gmbh & Co. Kg Control of vapor deposition

Also Published As

Publication number Publication date
CA1090480A (en) 1980-11-25
JPS52140285A (en) 1977-11-22
GB1573960A (en) 1980-08-28
DE2721547A1 (de) 1977-12-08
FR2352399A1 (fr) 1977-12-16
FR2352399B1 (nl) 1982-03-26
US4137122A (en) 1979-01-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7609815A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting en halfgeleiderinrichting vervaardigd met behulp van de werkwijze.
NL7506594A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfge- leiderinrichting en halfgeleiderinrichting ver- vaardigd met behulp van de werkwijze.
NL7700521A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een con- servenblik en inrichting voor de uitvoering van deze werkwijze.
NL7810373A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleider- inrichting.
NL186984C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een transistorinrichting.
NL7510903A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgelei- derinrichting, en inrichting vervaardigd volgens de werkwijze.
NL176818C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting.
NL187508C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van halfgeleiderinrichtingen.
NL7604986A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleider- inrichting, en inrichting vervaardigd door toe- passing van de werkwijze.
NL7613893A (nl) Halfgeleiderinrichting met gepassiveerd opper- vlak, en werkwijze voor het vervaardigen van de inrichting.
NL7613440A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting.
NL186478C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting.
NL7812385A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleider- inrichting.
NL7713004A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van halfgelei- derinrichtingen.
NL188668C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderinrichting.
NL188774C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een samengestelde halfgeleiderinrichting.
NL7804793A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een ritssluiting.
NL7609607A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting en halfgeleiderinrichting vervaardigd met behulp van de werkwijze.
NL7607558A (nl) Inrichting voor het vervaardigen van soft-ice.
NL7607298A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een inrichting en inrichting vervaardigd volgens de werkwijze.
NL188124C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting van het ladinggekoppelde type.
NL7505134A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting.
NL7710635A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting.
NL7706802A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting en halfgeleiderinrichting vervaardigd met behulp van de werkwijze.
NL7703826A (nl) Inrichting voor het vervaardigen van een samengestelde houder.