NL2026552B1 - Laser forming non-square edges in transparent workpieces using modified airy beams - Google Patents
Laser forming non-square edges in transparent workpieces using modified airy beams Download PDFInfo
- Publication number
- NL2026552B1 NL2026552B1 NL2026552A NL2026552A NL2026552B1 NL 2026552 B1 NL2026552 B1 NL 2026552B1 NL 2026552 A NL2026552 A NL 2026552A NL 2026552 A NL2026552 A NL 2026552A NL 2026552 B1 NL2026552 B1 NL 2026552B1
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- modified
- airy
- phase
- main lobe
- lobe
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 89
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 95
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 41
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 23
- -1 alkali metal aluminum silicate Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 4
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 claims 4
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 claims 2
- FGUJWQZQKHUJMW-UHFFFAOYSA-N [AlH3].[B] Chemical compound [AlH3].[B] FGUJWQZQKHUJMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] Chemical compound [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 35
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 24
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 22
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 17
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 150000002500 ions Chemical group 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 241000282575 Gorilla Species 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 241000047703 Nonion Species 0.000 description 4
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 4
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 239000005359 alkaline earth aluminosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 2
- 230000005226 mechanical processes and functions Effects 0.000 description 2
- 230000009022 nonlinear effect Effects 0.000 description 2
- 230000037361 pathway Effects 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 2
- PFNQVRZLDWYSCW-UHFFFAOYSA-N (fluoren-9-ylideneamino) n-naphthalen-1-ylcarbamate Chemical compound C12=CC=CC=C2C2=CC=CC=C2C1=NOC(=O)NC1=CC=CC2=CC=CC=C12 PFNQVRZLDWYSCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001491 alkali aluminosilicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005358 alkali aluminosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007730 finishing process Methods 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910001414 potassium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
- B23K2103/54—Glass
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Claims (43)
1. Werkwijze omvattende het richten van een laserbundel op een fase-aanpassingsinrichting zodanig dat de laserbundel stroomafwaarts van de fase-aanpassingsinrichting een gemodificeerde Airy-bundel omvat met een gemodificeerd Airy-bundelfocusgebied dat een hoofdlob en een veelvoud aan zijlobben omvat, waarbij de hoofdlob een breedte-hoogteverhouding van de lob van 1,2 of groter omvat.
2. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij de breedte-hoogteverhouding van de lob van de hoofdlob 1,5 of groter is.
3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, waarbij de breedte-hoogteverhouding van de lob van de hoofdlob 2 of groter is.
4, Werkwijze volgens een van de conclusies 1-3, conclusie 1, waarbij de breedte-hoogteverhouding van de lob van de hoofdlob 3 of groter is.
5. Werkwijze volgens een van de conclusies 1-4, waarbij ten minste 60% van de laserenergie van het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied in de hoofdlob is aangebracht.
6. Werkwijze volgens een der conclusies 1-5, waarbij ten minste 65% van de laserenergie van het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied in de hoofdlob is aangebracht.
7. Werkwijze volgens een van de conclusies 1-6, waarbij ten minste 68% van de laserenergie van het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied in de hoofdlob is aangebracht.
8. Werkwijze volgens een van de conclusies 1-7, waarbij de fase-aanpassingsinrichting een faseplaat met een kubische fasemodulatie omvat.
9. Werkwijze volgens een van de conclusies 1-8, waarbij de fase-aanpassingsinrichting een fasemodulatiefunctie 9 = (ak)3(x? + (2,y)?) omvat, . Co 27 vn waarbij a een frequentie van fasemodulatie is, k = Eu waarbij A een golflengte van de laserbundel is, x en y ruimtelijke coördinaten van de fase-aanpassingsinrichting zijn en ayeen fasemodulatie- frequentieverhouding is; en ay 0,8 of minder is.
10. Werkwijze volgens conclusie 9, waarbij a, 0,6 of minder is.
11. Werkwijze volgens een van de conclusies 1-10, waarbij de laserbundel een gepulseerde laserbundel is die pulssalvo's omvat en elk pulssalvo van de gepulseerde laserbundel 2 subpulsen tot 20 subpulsen omvat.
12. Werkwijze volgens een van de conclusies 1-11, voorts omvattende het richten van de gemodificeerde Airy-bundel op een transparant werkstuk, zodanig dat de gemodificeerde Airy-bundel het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied in het transparante werkstuk vormt, waarbij het gemodificeerde Airy- bundelfocusgebied absorptie in het transparante werkstuk induceert, waarbij de geïnduceerde absorptie een gebogen defect in het transparante werkstuk veroorzaakt.
13. Werkwijze volgens conclusie 12, voorts omvattende het ten opzichte van elkaar langs een contourlijn transleren van ten minste één van het transparante werkstuk en de gemodificeerde Airy-bundel om een contour te vormen die een veelvoud aan gebogen defecten omvat.
14. Werkwijze volgens conclusie 13, waarbij een afstand tussen aangrenzende gebogen defecten van het veelvoud aan gebogen defecten 35 urn of minder is.
15. Werkwijze volgens conclusie 12 of 13, voorts omvattende het uitoefenen van een spanning op de contour om het transparante werkstuk langs de contour te scheiden, waardoor een niet-vierkante rand op het transparante werkstuk wordt gevormd.
16. Werkwijze volgens een van de conclusies 12-15, waarbij het transparante werkstuk borosilicaatglas, natronkalkglas, aluminiumsilicaatglas, alkalimetaal-aluminiumsilicaatglas, aardalkalimetaal- aluminiumsilicaatglas, aardalkalimetaal-boor-alumintumsilicaatglas, gesmolten silictumdioxide, saffier, silicium of galliumarsenide omvat.
17. Werkwijze, omvattende: het richten van een door een bundelbron uitgevoerde laserbundel op een bundelvormend element zodanig dat de laserbundel stroomafwaarts van het bundelvormende element een gemodificeerde laserbundel met een asymmetrische dwarsdoorsnedevorm omvat; en het richten van de gemodificeerde laserbundel op een fase-aanpassingsinrichting zodanig dat de gemodificeerde laserbundel een asymmetrische bundelspot projecteert op de fase-aanpassingsinrichting en de gemodificeerde laserbundel stroomafwaarts van de fase-aanpassingsinrichting een gemodificeerde Aity-bundel omvat, waarbij de asymmetrische bundelspot een breedte-hoogteverhouding van de bundelspot van 1,5 of groter omvat.
18. Werkwijze volgens conclusie 17, waarbij de gemodificeerde Airy-bundel een gemodificeerd Airy- bundelfocusgebied omvat dat een hoofdlob en een veelvoud aan zijlobben omvat en ten minste 59% van de laserenergie van het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied in de hoofdlob is aangebracht.
19. Werkwijze volgens conclusie 17 of 18, waarbij de gemodificeerde Airy-bundel een gemodificeerd Aity-bundelfocusgebied omvat, een hoofdlob en een veelvoud aan zijlobben omvat en ten minste 65% van de laserenergie van het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied in de hoofdlob is aangebracht.
20. Werkwijze volgens een van de conclusies 17-19, waarbij de breedte-hoogteverhouding van de bundelspot 3,0 of groter is.
21. Werkwijze volgens een van de conclusies 17-20, waarbij de breedte-hoogteverhouding van de bundelspot 4,0 of groter is.
22. Werkwijze volgens een van de conclusies 17-21, waarbij de fase-aanpassingsinrichting een faseplaat omvat met een kubische fasemodulatie.
23. Werkwijze volgens een van de conclusies 17-22, waarbij de fase-aanpassingsinrichting een fasemodulatiefunctie @ = (ak)3(x3 + (a,y)°)omvat. waarbij a cen frequentie van fasemodulatie is, k = 2 waarbij à een golflengte van de laserbundel is, xen y ruimtelijke coördinaten van de fase-aanpassingsinrichting zijn en ayeen fasemodulatie- frequentieverhouding is; en ay 0,8 of minder is.
24. Werkwijze volgens conclusie 23, waarbij a, 0,6 of minder is.
25. Werkwijze volgens een van de conclusies 17-24, waarbij het bundelvormende element een of meer refractieve optische elementen, diffractieve optische elementen of een combinatie daarvan omvat.
26. Werkwijze volgens een van de conclusies 17-25, waarbij het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied een hoofdlob en een veelvoud aan zijlobben omvat en de hoofdlob een breedte-hoogteverhouding van de lob omvat van 1,2 of groter, bij voor keur 1,5 of groter.
27. Werkwijze volgens een van de conclusies 17-25, waarbij het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied een hoofdlob en een veelvoud aan zijlobben omvat en de hoofdlob een breedte-hoogteverhouding van de lob van 2 of groter omvat.
28. Werkwijze volgens een van de conclusies 17-25, waarbij het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied een hoofdlob en een veelvoud aan zijlobben omvat en de hoofdlob cen breedte-hoogteverhouding van de lob van 3 of groter, of een breedte-hoogteverhouding van de lob van 4 of groter omvat.
29. Werkwijze volgens een van de conclusies 17-28, voorts omvattende het richten van de gemodificeerde Airy-bundel op een transparant werkstuk zodanig dat de gemodificeerde Airy-bundel het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied in het transparante werkstuk vormt, waarbij het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied absorptie in het transparante werkstuk induceert, waarbij de geïnduceerde absorptie een gebogen defect in het transparante werkstuk veroorzaakt.
30. Werkwijze volgens conclusie 29, voorts omvattende het ten opzichte van elkaar langs een contourlijn transleren van ten minste één van het transparante werkstuk en de gemodificeerde Airy-bundel om een contour te vormen die een veelvoud aan gebogen defecten omvat.
31. Werkwijze volgens conclusie 30, waarbij een afstand tussen aangrenzende gebogen defecten van het veelvoud aan gebogen defecten 35 um of minder is.
32. Werkwijze volgens conclusie 30 of 31, voorts omvattende het uitoefenen van cen spanning op de contour om het transparante werkstuk langs de contour te scheiden, waardoor een niet-vierkante rand op het transparante werkstuk wordt gevormd.
33. Werkwijze volgens een van de conclusies 30-32, waarbij het veelvoud aan gebogen defecten een centraal defectgebied en een of meer radiale armen omvat die zich vanaf het centrale defectgebied langs de contourlijn buitenwaarts uitstrekken.
34, Werkwijze volgens cen van de conclusies 29-33, waarbij: het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied een hoofdlob en een veelvoud aan zijlobben omvat, waarbij de hoofdlob asymmetrisch is en een horizontale lobas, een verticale lobas en een breedte- hoogteverhouding van de lob omvat van 1,2 of groter, 1,5 of groter, 2 of groter, 3 of groter, of 4 of groter; en wanneer het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied absorptie induceert in het transparante werkstuk om elk gebogen defect te vormen, de horizontale lobas van de hoofdlob van het gemodificeerde Aity-bundelfocusgebied met ten minste één radiale arm van het gebogen defect wordt uitgelijnd.
35. Werkwijze volgens een van de conclusies 17-34, waarbij de laserbundel een gepulseerde laserbundel is die pulssalvo's omvat en elk pulssalvo van de gepulseerde laserbundel 2 subpulsen tot 20 subpulsen omvat.
36. Gemodificeerde Airy-bundel, omvattende een gemodificeerd Airy-bundelfocusgebied met een hoofdlob en een veelvoud aan zijlobben, waarbij de hoofdlob een breedte-hoogteverhouding van de lob van 1,2 of groter omvat.
37. Gemodificeerde Airy-bundel volgens conclusie 36, waarbij de breedte-hoogteverhouding van de lob van de hoofdlob 1,5 of groter is.
38. Gemodificeerde Airy-bundel volgens conclusie 36 of 37, waarbij de breedte-hoogteverhouding van de lob van de hoofdlob 2 of groter is.
39. Gemodificeerde Airy-bundel volgens een van de conclusies 36-38, waarbij de breedte- hoogteverhouding van de lob van de hoofdlob 3 of groter is.
40. Gemodificeerde Airy-bundel volgens een van de conclusies 36-39, waarbij de breedte- hoogteverhouding van de lob van de hoofdlob 4 of groter is.
41. Gemodificeerde Airy-bundel volgens een van de conclusies 36-40, waarbij ten minste 60% van de laserenergie van het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied in de hoofdlob is aangebracht.
42. Gemodificeerde Airy-bundel volgens een van de conclusies 36-41, waarbij ten minste 65% van de laserenergie van het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied in de hoofdlob is aangebracht.
43. Gemodificeerde Airy-bundel volgens een van de conclusies 36-42, waarbij ten minste 68% van de laserenergie van het gemodificeerde Airy-bundelfocusgebied in de hoofdlob is aangebracht.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US17/403,998 US12434331B2 (en) | 2020-09-11 | 2021-08-17 | Laser forming non-square edges in transparent workpieces using modified airy beams |
| KR1020237012242A KR20230066087A (ko) | 2020-09-11 | 2021-08-26 | 변형 에어리 빔을 사용하여 투명 작업편에서 비-직각 에지를 형성하는 레이저 |
| PCT/US2021/047661 WO2022055713A1 (en) | 2020-09-11 | 2021-08-26 | Laser forming non-square edges in transparent workpieces using modified airy beams |
| EP21196151.1A EP3967439A1 (en) | 2020-09-11 | 2021-09-10 | Laser forming non-square edges in transparent workpieces using modified airy beams |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US202063077200P | 2020-09-11 | 2020-09-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL2026552B1 true NL2026552B1 (en) | 2022-05-16 |
Family
ID=81707821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL2026552A NL2026552B1 (en) | 2020-09-11 | 2020-09-28 | Laser forming non-square edges in transparent workpieces using modified airy beams |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116472139A (nl) |
| NL (1) | NL2026552B1 (nl) |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5521759A (en) * | 1993-06-07 | 1996-05-28 | National Research Council Of Canada | Optical filters for suppressing unwanted reflections |
| WO2013031524A1 (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-07 | 住友電気工業株式会社 | コリメータ装置及びレーザ光源 |
| FR2989294B1 (fr) * | 2012-04-13 | 2022-10-14 | Centre Nat Rech Scient | Dispositif et methode de nano-usinage par laser |
| US9757815B2 (en) * | 2014-07-21 | 2017-09-12 | Rofin-Sinar Technologies Inc. | Method and apparatus for performing laser curved filamentation within transparent materials |
| WO2017085618A1 (en) * | 2015-11-16 | 2017-05-26 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) | Superresolved synthetic aperture microscope |
| WO2017206929A1 (en) * | 2016-06-01 | 2017-12-07 | The University Of Hong Kong | Airy-beam optical swept source |
| LT3311947T (lt) * | 2016-09-30 | 2019-12-27 | Corning Incorporated | Skaidrių ruošinių lazerinio apdirbimo, naudojant spindulių pluošto dėmes be simetrijos ašių, būdas |
| CN206471491U (zh) * | 2016-10-31 | 2017-09-05 | 宁夏大学 | 一种双环结构多模态oam电磁涡旋波阵列天线 |
| WO2018119222A1 (en) * | 2016-12-21 | 2018-06-28 | The Curators Of The University Of Missouri | Systems and methods for airy beam optical coherence tomography |
| DE102017215976B4 (de) * | 2017-09-11 | 2025-02-20 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Vermessung eines Laserstrahls |
| CN112882133B (zh) * | 2021-02-25 | 2022-11-04 | 南京理工大学 | 一种产生艾里光束的几何相位型超透镜 |
-
2020
- 2020-09-28 NL NL2026552A patent/NL2026552B1/en not_active IP Right Cessation
-
2021
- 2021-08-26 CN CN202180076007.XA patent/CN116472139A/zh active Pending
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| MATHIS A ET AL: "Micromachining along a curve: Femtosecond laser micromachining of curved profiles in diamond and silicon using accelerating beams", APPLIED PHYSICS LETTERS, A I P PUBLISHING LLC, US, vol. 101, no. 7, 13 August 2012 (2012-08-13), pages 71110 - 71110, XP012164680, ISSN: 0003-6951, [retrieved on 20120814], DOI: 10.1063/1.4745925 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN116472139A (zh) | 2023-07-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11401195B2 (en) | Selective laser processing of transparent workpiece stacks | |
| WO2018148155A1 (en) | Apparatus and methods for laser processing transparent workpieces using phase shifted focal lines | |
| WO2023009331A1 (en) | Phase modified quasi-non-diffracting laser beams for simultaneous high angle laser processing of transparent workpieces | |
| US12290880B2 (en) | Curved quasi-non-diffracting laser beams for laser processing of transparent workpieces | |
| US12006245B2 (en) | Laser forming non-square edges in transparent workpieces using low intensity airy beams | |
| WO2007061018A1 (ja) | ガラス基材の加工方法およびガラス部品 | |
| US12186835B2 (en) | Methods for laser processing coated substrates using a top-hat energy distribution | |
| US12233474B2 (en) | Methods for laser processing transparent workpieces using modified pulse burst profiles | |
| US12434331B2 (en) | Laser forming non-square edges in transparent workpieces using modified airy beams | |
| US12421155B2 (en) | Methods for adjusting beam properties for laser processing coated substrates | |
| NL2026552B1 (en) | Laser forming non-square edges in transparent workpieces using modified airy beams | |
| TW202245950A (zh) | 可實現對紋理化基板作雷射切割的犧牲層 | |
| US20220073401A1 (en) | Methods and optical assemblies for high angle laser processing of transparent workpieces | |
| TW202233339A (zh) | 基板切割和分離系統及方法 | |
| WO2021262537A1 (en) | Methods for laser processing transparent workpieces using radially variable laser beam focal columns | |
| NL2029054B1 (en) | Phase modified quasi-non-diffracting laser beams for simultaneous high angle laser processing of transparent workpieces | |
| WO2025174496A1 (en) | Refractive optical elements for generating quasi-non-diffracting laser beams and associated methods |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM | Lapsed because of non-payment of the annual fee |
Effective date: 20231001 |