NL2024470B1

NL2024470B1 - A method and system for performing characterization measurements on an elongated substrate

Info

Publication number: NL2024470B1
Application number: NL2024470A
Authority: NL
Inventors: Zabbal Paul
Original assignee: Nearfield Instr B V
Priority date: 2019-12-16
Filing date: 2019-12-16
Publication date: 2021-09-02
Also published as: EP4078191A1; WO2021125944A1

Claims

Conclusies

1. Een werkwijze voor het uitvoeren van karakterisatiemetingen op een langwerpig substraat met behulp van een scanning probe microscopiesysteem, waarbij het systeem een meervoudig aantal dragerbalken omvat, waarbij elke dragerbalk een daarop ingerichte sondepunt heeft, waarbij de werkwijze de stappen omvat van: het bewegen van de dragerbalken naar een oppervlak van het substraat om contact mogelijk te maken tussen de sondepunten van de veelheid dragerbalken en het oppervlak van het substraat, het vibreren van ten minste een eerste dragerbalk van de veelheid dragerbalken voor het uitzenden van ultrasone golven in het substraat op een of meerdere eerste locaties op het oppervlak van het substraat, waarbij de ultrasone golven zijn aangepast om een of meerdere geleide golven in het substraat te laten propageren, het detecteren van de gegenereerde geleide golven op een veelheid tweede locaties op het oppervlak van het substraat door middel van ten minste een tweede dragerbalk van de veelheid dragerbalken, waarbij de veelheid tweede locaties op afstand liggen van de een of meerdere eerste locaties, en het uitvoeren van substraatkarakterisering op basis van de gedetecteerde geleide golven op de veelheid tweede locaties.

2. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij de gedetecteerde gegenereerde geleide golven worden gebruikt in dispersiebeeldvorming waarin dispersiecurves worden geïdentificeerd, waarbij mechanische eigenschappen van het substraat worden bepaald op basis van de geïdentificeerde dispersiecurves.

3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, waarbij de substraatkarakterisering wordt uitgevoerd op basis van een of meerdere geleide golfvariaties, waarbij de gedetecteerde gegenereerde geleide golven op de veelheid tweede locaties worden gebruikt voor het bepalen van de een of meerdere geleide golfvariaties.

4. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de veelheid dragerbalken zijn ingericht in een dragerbalk groep, waarbij de groep een eerste subset, en een tweede subset omvat, waarbij de eerste subset de ten minste ene eerste dragerbalk omvat, en de tweede subset de ten minste ene tweede dragerbalk omvat, waarbij de tweede subset meerdere dragerbalken omvat die regelmatig op afstand van elkaar staan, waardoor detectie van de gegenereerde geleide golven op de veelheid tweede locaties op het oppervlak van het substraat in staat wordt gesteld.

5. Werkwijze volgens conclusie 4, waarbij de eerste subset meerdere dragerbalken omvat die zijn ingericht voor het achtereenvolgens uitzenden van ultrasone golven in het substraat om opeenvolgende geleide golven te genereren die zich propageren in het substraat, en waarbij de dragerbalken van de tweede subset worden gebruikt voor het ontvangen van elke achtereenvolgens gegenereerde geleide golf in reactie op de uitgezonden ultrasone golven.

6. Werkwijze volgens conclusie 4 of 5, waarbij de groep en het substraat ten opzichte van elkaar beweegbaar zijn, waarbij de groep over een gebied van het oppervlak van het substraat wordt gescand voor het uitvoeren van meerdere metingen.

7. Werkwijze volgens een van de conclusies 4-6, waarbij twee of meer dragerbalken van de eerste subset worden gebruikt voor het gelijktijdig uitzenden van ultrasone golven in het substraat, waarbij de gelijktijdig uitgezonden ultrasone golven worden gecoördineerd om een geleide mode te selecteren.

8. Werkwijze volgens conclusie 7, waarbij de geselecteerde geleide mode een hogere gevoeligheid heeft voor ten minste een van: een sub-oppervlak element van het substraat, of een laag van het substraat omvattende meerdere lagen.

9. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij een veelheid geleide modi wordt geselecteerd, waarbij substraatkarakterisering wordt uitgevoerd door het uitzenden van de veelheid geselecteerde geleide modi in het substraat.

10. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de ten minste ene tweede dragerbalk over het oppervlak van het substraat wordt gescand voor het op meerdere plaatsen detecteren van de uitgezonden geleide golven.

11. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij een meerlagig substraat, bij voorkeur een meerlagig halfgeleidersubstraat, wordt gekarakteriseerd.

12. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de substraatkarakterisering ten minste één omvat van: karakterisering van sub-oppervlak elementen in het substraat, karakterisering van mechanische eigenschappen van het substraat, karakterisering van een of meerdere lagen of diktevariaties van een meerlagig substraat, karakterisering van heterogeniteiten of holtes in het substraat, of niet- destructief onderzoek van het substraat.

13. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij meer dan drie dragerbalken worden verschaft, met meer voorkeur meer dan vijf dragerbalken, met nog meer voorkeur meer dan tien dragerbalken.

14. Een scanning probe microscopiesysteem voor het uitvoeren van metingen onder een oppervlak op een substraat, waarbij het systeem een sensorkop omvat met een veelheid dragerbalken, waarbij elke dragerbalk een daarop ingerichte sondepunt heeft, waarbij het systeem verder een processor omvat die is geconfigureerd voor het toepassen van een werkwijze gedefinieerd in een van de voorgaande conclusies, in het bijzonder ingericht voor: het verplaatsen van de dragerbalken naar een oppervlak van het substraat om contact mogelijk te maken tussen de sondepunten van de veelheid dragerbalken en het oppervlak van het substraat, het vibreren van ten minste een eerste dragerbalk van de veelheid dragerbalken voor het uitzenden van ultrasone golven in het substraat op een of meerdere eerste locaties op het oppervlak van het substraat, waarbij de ultrasone golven zijn aangepast om een of meerdere geleide golven in het substraat te laten propageren, het detecteren van de gegenereerde geleide golven op een veelheid tweede locaties op het oppervlak van het substraat door middel van ten minste een tweede dragerbalk van de veelheid dragerbalken, waarbij de veelheid tweede locaties op afstand liggen van de een of meerdere eerste locaties, en het uitvoeren van substraatkarakterisering op basis van de gedetecteerde geleide golven op de veelheid tweede locaties.

15. Een computerprogrammaproduct dat kan worden gedownload van een communicatienetwerk en/of opgeslagen op een computerleesbaar en/of door een microprocessor uitvoerbaar medium, omvattende programmacode-instructies die, wanneer uitgevoerd door een scanning probe microscopiesysteem omvattende een processor, ervoor zorgt dat het systeem een werkwijze uitvoert volgens een van de voorgaande conclusies 1-13.