NL2006688C2 - METHOD FOR MANUFACTURING A PRIMARY FORM FOR OPTICAL FIBERS. - Google Patents

METHOD FOR MANUFACTURING A PRIMARY FORM FOR OPTICAL FIBERS. Download PDF

Info

Publication number
NL2006688C2
NL2006688C2 NL2006688A NL2006688A NL2006688C2 NL 2006688 C2 NL2006688 C2 NL 2006688C2 NL 2006688 A NL2006688 A NL 2006688A NL 2006688 A NL2006688 A NL 2006688A NL 2006688 C2 NL2006688 C2 NL 2006688C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
preform
substrate tube
layers
glass substrate
hollow glass
Prior art date
Application number
NL2006688A
Other languages
Dutch (nl)
Inventor
Gertjan Krabshuis
Original Assignee
Draka Comteq Bv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Draka Comteq Bv filed Critical Draka Comteq Bv
Priority to NL2006688A priority Critical patent/NL2006688C2/en
Application granted granted Critical
Publication of NL2006688C2 publication Critical patent/NL2006688C2/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01807Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
    • C03B37/01815Reactant deposition burners or deposition heating means
    • C03B37/01823Plasma deposition burners or heating means
    • C03B37/0183Plasma deposition burners or heating means for plasma within a tube substrate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01807Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00Type of glass produced
    • C03B2201/06Doped silica-based glasses
    • C03B2201/30Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi
    • C03B2201/31Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi doped with germanium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2203/00Fibre product details, e.g. structure, shape
    • C03B2203/42Photonic crystal fibres, e.g. fibres using the photonic bandgap PBG effect, microstructured or holey optical fibres

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Description

Korte aanduiding: Werkwijze voor het vervaardigen van een primaire voorvorm voor optische vezels.Brief description: Method for manufacturing a primary optical fiber preform.

De onderhavige aanvrage heeft betrekking op een werkwijze voor 5 het vervaardigen van een primaire voorvorm voor optische vezels onder toepassing van een inwendig dampdepositieproces omvattende de volgende stappen: i) het verschaffen van een holle glazen substraatbuis voorzien van een toevoerzijde en een afvoerzijde, ii) het aan het inwendige van de holle glazen substraatbuis, via de 10 toevoerzijde daarvan, toevoeren van al dan niet van doteermiddelen voorziene glasvormende gassen, iii) het tot stand brengen van een reactiezone waarin zodanige omstandigheden worden gecreëerd dat depositie van glas aan de binnenzijde van de holle glazen substraatbuis plaatsvindt.The present application relates to a method for manufacturing a primary optical fiber preform using an internal vapor deposition process comprising the following steps: i) providing a hollow glass substrate tube provided with a supply side and a discharge side, ii) to the interior of the hollow glass substrate tube, via the supply side thereof, supplying glass-forming gases, whether or not provided with dopants, iii) establishing a reaction zone in which conditions are created such that deposition of glass on the inside of the hollow glass substrate tube.

15 Verder voorziet de onderhavige aanvrage in een holle glazen substraatbuis verkregen volgens de hiervoor beschreven werkwijze, alsmede in een primaire voorvorm voor een microgestructureerde optische vezel.Furthermore, the present application provides a hollow glass substrate tube obtained according to the method described above, as well as a primary preform for a microstructured optical fiber.

De onderhavige aanvrage heeft verder betrekking op een werkwijze voor de vervaardiging van een microgestructureerde optische vezel, alsmede de 20 bijzondere toepassing van een dergelijke vezel.The present application further relates to a method for the manufacture of a microstructured optical fiber, as well as the special application of such a fiber.

De in de aanhef vermelde werkwijze is op zich bekend uit bijvoorbeeld de Amerikaanse octrooiaanvrage US 2005/0000253. Meer in het bijzonder openbaart voornoemde octrooiaanvrage een inwendig dampdepositieproces volgens de PCVD-technologie, waarbij een glazen substraatbuis over de 25 cilindrische as daarvan gedeeltelijk wordt omgeven door een resonantieruimte en waarbij een gasmengsel, omvattende 02, SiCI4, GeCI4 en eventueel andere doteringen, aan het inwendige van de holle substraatbuis wordt toegevoerd. In voornoemde resonantieruimte wordt een lokaal plasma gecreëerd waardoor een reactiezone ontstaat, welke reactiezone ertoe leidt dat aan de binnenzijde van de 30 holle substraatbuis zodanige omstandigheden worden gecreëerd dat ten gevolge van een reactie tussen de bestanddelen van voornoemd gasmengsel al of niet van doteringen voorziene glaslagen worden afgezet. De resonantieruimte wordt gedurende het depositieproces over de cilindrische as van de holle substraatbuis heen en weer bewogen zodat voornoemde substraatbuis aan de binnenzijde hiervan 2 wordt bedekt met een of meer glaslagen.The method mentioned in the preamble is known per se from, for example, US patent application US 2005/0000253. More particularly, the aforementioned patent application discloses an internal vapor deposition process according to PCVD technology, wherein a glass substrate tube along its cylindrical axis is partially surrounded by a resonance space and wherein a gas mixture comprising O2, SiCl4, GeCl4 and optionally other dopants is added to the interior of the hollow substrate tube is supplied. In the above-mentioned resonance space, a local plasma is created, whereby a reaction zone is created, which reaction zone leads to conditions being created on the inside of the hollow substrate tube that, as a result of a reaction between the components of the aforementioned gas mixture, coated or non-doped glass layers are formed. dropped off. The resonance space is moved back and forth over the cylindrical axis of the hollow substrate tube during the deposition process so that said substrate tube 2 is covered on the inside thereof with one or more layers of glass.

Een optische vezel bestaat uit een kern en een om de kern liggende buitenlaag, welke in de Engelse taal ook wel wordt aangeduid met cladding.An optical fiber consists of a core and an outer layer surrounding the core, which is also referred to as cladding in the English language.

De kern van een optische vezel kan uit één of meer concentrische 5 lagen zijn opgebouwd, al naargelang de beoogde optische eigenschappen van de vezel. Ten minste een deel van de kern bezit doorgaans een hogere brekingsindex dan de cladding, zodat het aan de optische vezel toegevoerde licht hoofdzakelijk door de kern van de optische vezel kan worden getransporteerd.The core of an optical fiber can be made up of one or more concentric layers, depending on the intended optical properties of the fiber. At least a part of the core usually has a higher refractive index than the cladding, so that the light supplied to the optical fiber can be transported mainly through the core of the optical fiber.

Voor een uit glas vervaardigde optische vezel kan de beoogde, 10 hogere brekingsindex van de kern worden verkregen door het glas van de kern te doteren met een zogenaamd brekingsindex verhogend doteermiddel, bijvoorbeeld germanium. In het door middel van het depositieproces verkregen glas is germanium hoofdzakelijk aanwezig als Ge02. Daarnaast is het in bijzondere uitvoeringsvormen mogelijk de kern te doteren met zowel een brekingsindex verhogend als een 15 brekingsindex verlagend doteermiddel, waarbij de onderlinge verhouding tussen voornoemde doteermiddelen zodanig wordt ingesteld dat de beoogde brekingsindex wordt verkregen. Als geschikt brekingsindex verlagend doteermiddel wordt fluor genoemd.For an optical fiber made of glass, the intended, higher refractive index of the core can be obtained by doping the glass of the core with a so-called refractive index-increasing dopant, for example germanium. Germanium is mainly present as GeO2 in the glass obtained by the deposition process. In addition, in special embodiments, it is possible to dope the core with both a refractive index increasing and a refractive index reducing dopant, wherein the mutual ratio between said dopants is adjusted such that the intended refractive index is obtained. Fluoro is mentioned as a suitable refractive index reducing dopant.

Het is tevens bekend dat gedurende het transport van licht door de 20 optische vezel de signaalsterkte (optisch vermogen) van het licht vanwege verschillende oorzaken zal afnemen. Voornoemde afname wordt aangeduid met demping. Demping wordt hoofdzakelijk toegeschreven aan het gevolg van zogenaamde Rayleigh verstrooiing en de aanwezigheid van verontreinigingen in het glas, welke verontreinigingen licht absorberen bij een of meer specifieke golflengtes. 25 Uit de internationale aanvrage 2009/064381 is een methode bekend waarbij onder toepassing van de PCVD-technologie glaslagen op het inwendige van een substraatbuis worden afgezet, welke glaslagen zijn voorzien van zogenaamde “voids”, oftewel bellen. De in voornoemde internationale aanvrage toegepaste methode ziet toe op de vorming van “soot”, oftewel roet, welk roetmateriaal dient te 30 worden geconsolideerd ter vorming van glas, in welk glas gasbellen worden opgesloten ten gevolge van de aanwezigheid van de tijdens de consolidatiestap toegepaste gasvormige atmosfeer.It is also known that during the transport of light through the optical fiber the signal strength (optical power) of the light will decrease due to various causes. The aforementioned decrease is indicated by damping. Attenuation is mainly attributed to the effect of so-called Rayleigh scattering and the presence of impurities in the glass, which impurities absorb light at one or more specific wavelengths. From the international application 2009/064381 a method is known in which glass layers are deposited on the interior of a substrate tube using the PCVD technology, which glass layers are provided with so-called "voids", or bubbles. The method used in the aforementioned international application supervises the formation of "soot" or soot, which soot material must be consolidated to form glass, in which glass gas bubbles are trapped as a result of the presence of the gaseous substance used during the consolidation step atmosphere.

Het doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een werkwijze voor het vervaardigen van een primaire voorvorm voor optische vezels 3 waarbij optische vezels kunnen worden verkregen die van zogenaamde concentrische lagen zijn voorzien, welke concentrische lagen gasbellen bezitten welke vezels als zogenaamde microgestructureerde optische vezels kunnen worden aangeduid.The object of the present invention is to provide a method for manufacturing a primary preform for optical fibers 3 in which optical fibers can be obtained which are provided with so-called concentric layers, which concentric layers have gas bubbles which fibers can be used as so-called micro-structured optical fibers marked as.

5 Een ander doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een werkwijze voor het vervaardigen van een primaire voorvorm voor optische vezels, waarbij door het instellen van de gewenste procescondities tijdens het inwendig depositieproces van gasbellen voorziene glaslagen worden afgezet.Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a primary optical fiber preform, wherein glass layers provided with gas bubbles are deposited by adjusting the desired process conditions during the internal deposition process.

De werkwijze zoals vermeld in de aanhef wordt gekenmerkt doordat 10 gedurende tenminste een deel van stap iii) de druk in de holle glazen substraatbuis op een waarde gelegen in het bereik van 30-80 mbar wordt ingesteld ter vorming van tenminste een microstructuur precursorlaag.The method as stated in the preamble is characterized in that during at least a part of step iii) the pressure in the hollow glass substrate tube is adjusted to a value in the range of 30-80 mbar to form at least one microstructured precursor layer.

De onderhavige uitvinder heeft vastgesteld dat het door het gedurende ten minste een deel van de depositie in stap iii) instellen van de druk in 15 een bepaald bereik zal leiden tot het vormen van gasbellen in de aldus gevormde laag. Onder de term “een microstructuur precursorlaag” dient een uit een of meer afzonderlijke gaslagen opgebouwde, samengestelde glaslaag of lagenpakket, te worden verstaan, waarbij in het aldus gevormde lagenpakket tijdens de depositie gasbellen worden ingesloten. Om het insluiten van gasbellen in zo’n lagenpakket 20 mogelijk te maken, dient het aantal afzonderlijke glaslagen in zo een microstructuur precursorlaag ten minste 20, bij voorkeur ten minste 30 te bedragen. Meer in het bijzonder, indien tijdens depositie in stap ii) de druk in de holle glazen substraatbuis wordt ingesteld op een waarde lager dan 30 mbar, dan wordt in de aldus afgezette glaslaag geen vorming van gasbellen waargenomen. Indien daarentegen de druk in 25 de depositiestap in stap ii) hoger dan 80 mbar wordt ingesteld, dan is de vorming van glaslagen op het inwendige van de substraatbuis onder insluiting van gasbellen, niet mogelijk. Uit experimenten is gebleken dat de pompzijde van een depositie-opstelling dicht gaat zitten met Si02.The present inventor has determined that by adjusting the pressure in a certain range during at least part of the deposition in step iii), gas bubbles will be formed in the layer thus formed. The term "a microstructure precursor layer" is to be understood to mean a composite glass layer or layer package made up of one or more separate gas layers, gas bubbles being enclosed in the layer package thus formed during deposition. To allow gas bubbles to be included in such a layer package 20, the number of individual glass layers in such a microstructure precursor layer should be at least 20, preferably at least 30. More specifically, if during pressure in step ii) the pressure in the hollow glass substrate tube is set to a value lower than 30 mbar, then no formation of gas bubbles is observed in the thus deposited glass layer. On the other hand, if the pressure in the deposition step in step ii) is set higher than 80 mbar, then the formation of glass layers on the interior of the substrate tube with the inclusion of gas bubbles is not possible. Experiments have shown that the pump side of a deposition set-up closes with SiO2.

In een bijzondere uitvoeringsvorm is het wenselijk dat gedurende 30 tenminste een deel van de depositie in stap iii) de druk in de holle glazen substraatbuis op een waarde gelegen in het bereik van 30-50 mbar wordt ingesteld, hetgeen zal leiden tot het vormen van gasbellen in de aldus gevormde laag.In a special embodiment it is desirable that during at least a part of the deposition in step iii) the pressure in the hollow glass substrate tube is set to a value in the range of 30-50 mbar, which will lead to the formation of gas bubbles in the layer thus formed.

De onderhavige uitvinder heeft verder vastgesteld dat voor het vormen van ten minste een voorvormlaag, welke voorvormlaag bij voorkeur vrij van 4 germaniumdoteringen is, het wenselijk is dat gedurende ten minste een deel van de depositie in stap ii) de druk in de holle glazen substraatbuis op een waarde lager dan 30 mbar en bij voorkeur lager dan 20 mbar, in het bijzonder lager dan 15 mbar, wordt ingesteld. De in de onderhavige beschrijving toegepaste term “voorvormlaag” dient te 5 worden beschouwd als een uit een of meer afzonderlijke glaslagen opgebouwde, samengestelde glaslaag, in welke voorvormlaag geen sprake is van het insluiten van gasbellen. Tevens kan de term “voorvormlaag” worden gezien als een samenstel van glaslagen waarbinnen de brekingsindexwaarde nagenoeg constant is, in het bijzonder door het tijdens de depositie van een dergelijke voorvormlaag min of meer 10 constant houden van de procesomstandigheden, in het bijzonder de druk, dan wel de gassamenstelling. In de in de onderhavige aanvrage opgenomen voorbeelden is aangegeven dat een dergelijke voorvormlaag 50-1000 afzonderlijke glaslagen kan omvatten. Volgens de onderhavige werkwijze wordt bij voorkeur gebruikgemaakt van een over de lengte van de substraatbuis heen-en-weer bewegende reactiezone 15 waarbij per “slag” van de reactiezone een glaslaag wordt afgezet. De afwezigheid van germanium heeft als voordeel dat een lagere demping kan worden verkregen.The present inventor has further established that for forming at least one preform layer, which preform layer is preferably free of 4 germanium dopants, it is desirable that during at least part of the deposition in step ii) the pressure in the hollow glass substrate tube a value lower than 30 mbar and preferably lower than 20 mbar, in particular lower than 15 mbar, is set. The term "preform layer" used in the present description is to be considered as a composite glass layer composed of one or more separate glass layers, in which preform layer there is no question of enclosing gas bubbles. The term "preform layer" can also be seen as an assembly of glass layers within which the refractive index value is substantially constant, in particular by keeping the process conditions, in particular the pressure, more or less constant during the deposition of such a preform layer. the gas composition. The examples included in the present application indicate that such a preform layer may comprise 50-1000 individual glass layers. According to the present method, use is preferably made of a reaction zone moving back and forth along the length of the substrate tube, wherein a glass layer is deposited per "stroke" of the reaction zone. The absence of germanium has the advantage that a lower damping can be obtained.

In een bijzondere uitvoeringsvorm is het wenselijk dat een aldus, hiervoor genoemde voorvormlaag wordt opgevolgd door de zogenaamde microstructuur precursorlaag volgens de onderhavige uitvinding, welke 20 microstructuur precursorlaag wordt gekarakteriseerd door de aanwezigheid van een of meer gasbellen daarin. Indien een dergelijke afwisseling van vormlaag en microstructuur precursorlaag wenselijk is, dan verdient het de voorkeur dat gedurende tenminste een deel van de depositie in stap iii) de druk in de holle glazen substraatbuis afwisselend wordt ingesteld op een waarde gelegen in het bereik van 25 30-80 mbar en een waarde lager dan 30 mbar. Onder toepassing van een dergelijke uitvoeringsvorm zal tijdens de depositie, waarbij de druk wordt ingesteld op een waarde gelegen in het bereik van 30-80 mbar, een zogenaamde microstructuur precursorlaag wordt gevormd, terwijl daarentegen tijdens het uitvoeren van de depositie bij een druk lager dan 30 mbar een zogenaamde voorvormlaag, welke 30 voorvormlaag vrij van ingesloten gasbellen is, wordt gevormd.In a particular embodiment, it is desirable that a preform layer thus aforementioned is succeeded by the so-called microstructure precursor layer according to the present invention, which microstructure precursor layer is characterized by the presence of one or more gas bubbles therein. If such alternation of forming layer and microstructure precursor layer is desirable, then it is preferable that during at least a part of the deposition in step iii) the pressure in the hollow glass substrate tube is alternately adjusted to a value in the range of 30- 80 mbar and a value lower than 30 mbar. Using such an embodiment, a so-called microstructure precursor layer will be formed during deposition, whereby the pressure is set to a value in the range of 30-80 mbar, while, on the other hand, during the deposition at a pressure below 30 mbar a so-called preform layer, which preform layer is free of enclosed gas bubbles, is formed.

Het hiervoor genoemde afwisselend verhogen dan wel verlagen van de druk in de holle glazen substraatlaag tijdens een deel van stap iii) zal ertoe leiden dat aan de binnenzijde van de holle substraatbuis een eerste voorvormlaag wordt aangebracht, gevolgd door een microstructuur precursorlaag, eventueel gevolgd door 5 een of meer voorvormlagen en een of meer microstructuur precursorlagen.The aforementioned alternately increasing or decreasing the pressure in the hollow glass substrate layer during a part of step iii) will result in a first preform layer being applied to the inside of the hollow substrate tube, followed by a microstructure precursor layer, optionally followed by 5 one or more preform layers and one or more microstructure precursor layers.

Vanuit het oogpunt van mechanische eigenschappen van de afgezette glaslagen, in het bijzonder de uitzettingscoëfficiënt, is het wenselijk dat de eerste voorvormlaag, te weten de laag die direct tegen de binnenzijde van de holle 5 quartzsubstraatbuis aanligt, wordt gevormd door ongedoteerde glaslagen.From the point of view of the mechanical properties of the deposited glass layers, in particular the expansion coefficient, it is desirable that the first preform layer, namely the layer which directly abuts the inside of the hollow quartz substrate tube, is formed by undoped glass layers.

In een bijzondere uitvoeringsvorm is het wenselijk dat de drukomstandigheden tijdens een deel van de depositie van stap iii) zodanig worden ingesteld dat de microstructuur precursorlaag wordt ingebed tussen tenminste twee voorvormlagen.In a particular embodiment, it is desirable that the pressure conditions during part of the deposition of step iii) be adjusted such that the microstructure precursor layer is embedded between at least two preform layers.

10 Het is tevens in een bijzondere uitvoeringsvorm mogelijk dat de drukomstandigheden tijdens een deel van de depositie van stap iii) zodanig worden ingesteld dat tenminste twee afzonderlijke microstructuur precursorlagen worden gevormd, elk gescheiden door tenminste een voorvormlaag.It is also possible in a special embodiment for the pressure conditions during part of the deposition of step iii) to be set such that at least two separate microstructure precursor layers are formed, each separated by at least one preform layer.

De onderhavige uitvinding is in het bijzonder niet beperkt tot een 15 bijzonder aantal microstructuur precursorlagen, waarbij de een of meer microstructuur precursorlagen al of niet van doteringen zijn voorzien.The present invention is in particular not limited to a particular number of microstructure precursor layers, wherein the one or more microstructure precursor layers are doped or not.

De werkwijze zoals vermeld in de aanhef wordt in het bijzonder uitgevoerd onder toepassing van een plasma als de reactiezone. Het plasmaproces laat een nauwkeurige sturing van het depositieproces toe, waarbij de laagdikte en het 20 aantal glaslagen beheersbaar is.The process as stated in the preamble is in particular carried out using a plasma as the reaction zone. The plasma process allows precise control of the deposition process, whereby the layer thickness and the number of glass layers can be controlled.

Het verdient de voorkeur dat de reactiezone met een snelheid gelegen in het bereik 10-40 m/min en bij voorkeur 15-25 m/min over de lengte van de holle glazen substraatbuis tijdens ten minste een deel van stap iii) heen en weer wordt bewogen.It is preferable that the reaction zone is reciprocated at a speed in the range 10-40 m / min and preferably 15-25 m / min over the length of the hollow glass substrate tube during at least a part of step iii) moved.

25 Nadat de depositie volgens stap ii) is afgerond, verdient het in een bepaalde uitvoeringsvorm de voorkeur dat de aldus verkregen substraatbuis aan een consolidatiestap wordt onderworpen, waarbij onder toepassing van een hittebron de substraatbuis tot een massieve primaire voorvorm wordt omgezet.After the deposition according to step ii) has been completed, in a specific embodiment it is preferred that the substrate tube thus obtained is subjected to a consolidation step, wherein the substrate tube is converted into a solid primary preform using a heat source.

De holle glazen substraatbuis, verkregen volgens de onderhavige 30 werkwijze, wordt gekenmerkt doordat een of meer microstructuur precursorlagen, gescheiden door een of meer voorvormlagen, aanwezig zijn, welke precursorlagen en/ of voorvormlagen al of niet van doteringen zijn voorzien.The hollow glass substrate tube obtained according to the present method is characterized in that one or more microstructure precursor layers, separated by one or more preform layers, are present, which precursor layers and / or preform layers are doped or not.

De onderhavige uitvinding heeft verder betrekking op een werkwijze voor het vervaardigen van een microgestructureerde optische vezel, welke werkwijze 6 de volgende stappen omvat: a) het plaatsen van de holle glazen substraatbuis, verkregen na het uitvoeren van stap iii), of de primaire voorvorm, verkregen na de consolidatiestap in een vezeltrekoven, 5 b) het verhitten van een uiteinde van de holle glazen substraatbuis of de primaire voorvorm uit stap a) tot een temperatuur boven de verwekingstemperatuur daarvan, en c) het trekken van een optische vezel uit het verhitte uiteinde van stap b).The present invention further relates to a method for manufacturing a microstructured optical fiber, which method 6 comprises the following steps: a) placing the hollow glass substrate tube obtained after performing step iii), or the primary preform, obtained after the consolidation step in a fiber draw oven, b) heating an end of the hollow glass substrate tube or the primary preform from step a) to a temperature above the softening temperature thereof, and c) drawing an optical fiber from the heated end from step b).

10 In een bijzondere uitvoeringsvorm is het ook mogelijk dat op de buitenomtrek van de holle glazen substraatbuis, dan wel de primaire voorvorm, een aanvullende hoeveelheid glas wordt aangebracht, in het bijzonder door middel van het toevoeren van natuurlijke silicadeeltjes onder plasma-omstandigheden.In a special embodiment, it is also possible for an additional amount of glass to be applied to the outer circumference of the hollow glass substrate tube, or the primary preform, in particular by supplying natural silica particles under plasma conditions.

De met de onderhavige werkwijze verkregen optische vezel is met 15 name geschikt om in een laser te worden toegepast.The optical fiber obtained with the present method is particularly suitable for use in a laser.

De onderhavige uitvinding zal hierna aan de hand van een aantal voorbeelden en ter vergelijking dienende voorbeelden worden toegelicht, waarbij echter dient te worden opgemerkt dat de onderhavige uitvinding in geen geval tot dergelijke experimentele gegevens is beperkt.The present invention will be explained below on the basis of a number of examples and comparative examples, however, it should be noted that the present invention is by no means limited to such experimental data.

20 Ter vergelijking dienend voorbeeld 1Example 1 for comparison

Volgens een gebruikelijke PCVD-methode werd een plasma-depositieproces uitgevoerd, waarbij de in de hierna weergegeven Tabel A vermelde procesomstandigheden van toepassing waren. Opgemerkt dient te worden dat clad 1 als eerste lagenpakket op de binnenzijde van de glazen substraatbuis wordt afgezet, 25 gevolgd door clad 2, clad 3 en tenslotte de kern. Een dergelijke volgorde geldt ook voor de hierna weergegeven experimentele resultaten. Uit Tabel A is duidelijk waarneembaar dat de procesomstandigheden, in het bijzonder de druk van 10 mbar, voor clad 1, clad 2, clad 3, enz. en de kern identiek waren, zodat in feite geen onderscheid in de voorvorm waarneembaar is tussen de afzonderlijke 30 lagenpakketten. De in ter vergelijking dienend voorbeeld 1 verkregen voorvorm vertoonde geen bellenstructuur.A plasma deposition process was conducted according to a conventional PCVD method, the process conditions listed in Table A below being applicable. It should be noted that clad 1 is deposited as the first layer package on the inside of the glass substrate tube, followed by clad 2, clad 3 and finally the core. Such an order also applies to the experimental results presented below. It is clearly visible from Table A that the process conditions, in particular the pressure of 10 mbar, were identical for clad 1, clad 2, clad 3, etc. and the core, so that in fact no distinction in the preform can be observed between the individual 30 layer packages. The preform obtained in comparative example 1 did not show a bubble structure.

Tabel ATable A.

7 clad 1 clad 2 clad 3 kern7 clad 1 clad 2 clad 3 core

Aantal lagen 200 100 50 500Number of layers 200 100 50 500

Compensatie 02 631 631 631 631 5 Reactie 02 133 133 133 133Compensation 02 631 631 631 631 5 Response 02 133 133 133 133

SiCI4 601__601__601 601SiCl 4 601 601 601 601

GeCI4 0 0 0 0GeCl4 0 0 0 0

Freon 0 0 0 0Freon 0 0 0 0

Vermogen 3600 3600 2000 3600 10 02 overmaat 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar__10__10__10__10Power 3600 3600 2000 3600 10 02 excess 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar__10__10__10__10

Ter vergelijking dienende voorbeelden 2-4Examples 2-4 for comparison

Volgens een gebruikelijke PCVD-methode werd een plasma-15 depositieproces uitgevoerd, waarbij de in de hierna weergegeven Tabel B vermelde procesomstandigheden van toepassing waren. Uit Tabel B volgt dat experimenten met een druk hoger dan 80 mbar niet hebben geleid tot een gunstige depositie op het inwendige van de holle quartzsubstraatbuis. Dergelijke proeven werden voortijdig beëindigd vanwege ongewenst hoge druktoename waarbij de onderhavige uitvinders 20 constateerden dat de pompzijde ging dichtzitten met Si02. Derhalve werden geen voorvormen vervaardigd.According to a conventional PCVD method, a plasma deposition process was performed, the process conditions listed in Table B below being applicable. It follows from Table B that experiments with a pressure higher than 80 mbar did not lead to a favorable deposition on the interior of the hollow quartz substrate tube. Such tests were terminated prematurely due to undesirably high pressure increase in which the present inventors found that the pump side was clogged with SiO 2. Therefore, no preforms were made.

Tabel BTable B

Ter vergelijking Druk (mbar) Depositie 25 dienend voorbeeld clad (aantal lagen) kern (aantal lagen) 2 85 1000 20*> 3 90 800 10*> _4__100__500__~2_For comparison Pressure (mbar) Deposition 25 serving example clad (number of layers) core (number of layers) 2 85 1000 20 *> 3 90 800 10 *> _4__100__500__ ~ 2_

Opmerking: *> = depositieproces vroegtijdig beëindigd wegens verstopping aan 30 pompzijde.Note: *> = deposition process terminated prematurely due to blockage on the pump side.

88

Voorbeeld 1Example 1

In Voorbeeld 1 werd het depositieproces uitgevoerd onder toepassing van een afzetsnelheid van 2 g/min, welke waarde gold voor zowel clad 1, clad 2, clad 3 als de kern. Tijdens het depositieproces, zoals weergegeven in Tabel 1, 5 werd voor clad 3 de in de holle substraatbuis heersende druk verhoogd naar 35 mbar, welke toename in druk ertoe leidde dat in clad 3 een duidelijke bellenstructuur waarneembaar was.In Example 1, the deposition process was performed using a deposition rate of 2 g / min, which value applied to both clad 1, clad 2, clad 3 and the core. During the deposition process, as shown in Table 1, for clad 3, the pressure prevailing in the hollow substrate tube was increased to 35 mbar, which increase in pressure led to a clear bubble structure visible in clad 3.

Tabel 1 10 clad 1 clad 2 clad 3 kernTable 1 10 clad 1 clad 2 clad 3 core

Aantal lagen 200 100 50 500Number of layers 200 100 50 500

Compensatie 02 631 631 631 631Compensation 02 631 631 631 631

Reactie 02 133 133 133 133Reaction 02 133 133 133 133

SiCI4 601 601 601 601 15 GeCI4__0__0 0 0SiCl 4 601 601 601 601 15 GeCl 4 0 0 0 0

Freon 0 0 0 0Freon 0 0 0 0

Vermogen 3600 3600 3600 3600 02 overmaat 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar 10 10 35 10 20Power 3600 3600 3600 3600 02 Excess 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar 10 10 35 10 20

Voorbeeld 2Example 2

Dezelfde handelingen als in Voorbeeld 1 werden herhaald, behalve dat clad 2 werd voorzien van een germaan- en fluordotering. Voornoemde dotering werd in wisselende hoeveelheid ook toegepast voor de kern. Tijdens het afzetten van 25 clad 3 werd de druk van de holle substraatbuis verhoogd naar een waarde van 35 mbar (zie Tabel 2). Bovendien werd aan clad 3 geen enkel doteermiddel toegevoerd. Voornoemde procesomstandigheden voor de depositie van clad 3 leidden ertoe dat in clad 3 een duidelijke bellenstructuur aanwezig was.The same operations as in Example 1 were repeated, except that clad 2 was provided with a germane and fluorine doping. The aforementioned doping was also used for the core in varying amounts. During the deposition of 25 clad 3, the pressure of the hollow substrate tube was increased to a value of 35 mbar (see Table 2). Moreover, no dopant was added to clad 3. The aforementioned process conditions for the deposition of clad 3 led to a clear bubble structure in clad 3.

3030

Tabel 2 9 clad 1 clad 2 clad 3 kernTable 2 9 clad 1 clad 2 clad 3 core

Aantal lagen 200 1430 50 195Number of layers 200 1430 50 195

Compensatie 02 631 574 631 327 5 Reactie 02 133 75 133 175Compensation 02 631 574 631 327 5 Response 02 133 75 133 175

SiCI4__601__525 601 525SiCl 4, 601, 525, 601, 525

GeCI4 0 318 0 710GeCl4 0 318 0 710

Freon 0 405 0 180Freon 0 405 0 180

Vermogen 3600 3600 3600 3600 10 02 overmaat 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar 10 10 10 10Power 3600 3600 3600 3600 10 02 excess 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar 10 10 10 10

Voorbeeld 3Example 3

Dezelfde handelingen als in Voorbeeld 1 werden herhaald, behalve 15 dat voor de depositie van clad 4 de druk in de holle substraatbuis werd verhoogd naar 35 mbar (zie Tabel 3). In Voorbeeld 3 was zowel de kern als clad 2 voorzien van een dotering van fluor en germaan. De ongedoteerde clad 4 was ingebed tussen een ongedoteerde clad 3 en een ongedoteerde clad 5, waarbij de depositie-omstandigheden voor zowel clad 3 als clad 5 zodanig waren ingesteld dat in clad 3 20 en clad 5 geen bellen werden ingesloten. Aldus is in Voorbeeld 3 clad 4 ingebed tussen twee claddinglagen van pure silica.The same operations as in Example 1 were repeated, except that for the deposition of clad 4, the pressure in the hollow substrate tube was increased to 35 mbar (see Table 3). In Example 3, both the core and clad 2 were doped with fluorine and germane. The undoped clad 4 was embedded between an undoped clad 3 and an undoped clad 5, the deposition conditions for both clad 3 and clad 5 being set such that no bubbles were enclosed in clad 3 and clad 5. Thus, in Example 3, clad 4 is embedded between two pure silica cladding layers.

25 30 clad 1 clad 2 clad 3 clad 4 clad 5 kern25 30 clad 1 clad 2 clad 3 clad 4 clad 5 core

Aantal lagen 200 1230 100 50 100 195Number of layers 200 1230 100 50 100 195

Tabel 3 10Table 3 10

Compensatie 02 631 574 631 631 631 327 5 Reactie 02 133 133 133 133 133 175Compensation 02 631 574 631 631 631 327 5 Response 02 133 133 133 133 133 175

SiCI4 601 601 601 601 601 525SiCl4 601 601 601 601 601 525

GeCI4 0 318 0 0 0 710GeCl4 0 318 0 0 0 710

Freon 0 405 0 0 0 180Freon 0 405 0 0 0 180

Vermogen 3600 3600 3600 3600 3600 3600 10 02 overmaat 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar__10__10__10__35__10__10Power 3600 3600 3600 3600 3600 3600 10 02 Excess 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar__10__10__10__35__10__10

Voorbeeld 4Example 4

In Voorbeeld 4 werden dezelfde handelingen als in Voorbeeld 1 15 herhaald, behalve dat voor verschillende claddinglagen doteermiddelen werden toegevoegd, waarbij de exacte gegevens in de hierna weergegeven Tabel 4 zijn opgenomen. In Voorbeeld 4 werd voor de depositie van clad 3 een drukverhoging naar 35 mbar toegepast, hetgeen ertoe leidde dat in clad 3 een bellenstructuur ontstond. De aldus gevormde clad 3 is ingebed tussen clad 2 en clad 4, waarbij zowel 20 in clad 2 als in clad 4 een dotering met freon plaatsvond. Uit aanvullend onderzoek is gebleken dat in clad 2 en clad 4 geen bellenstructuur aanwezig is.In Example 4, the same operations as in Example 1 were repeated, except that dopants were added for different cladding layers, the exact data being included in Table 4 below. In Example 4, a pressure increase to 35 mbar was applied for the deposition of clad 3, which led to the formation of a bubble structure in clad 3. The clad 3 thus formed is embedded between clad 2 and clad 4, wherein both clad 2 and clad 4 were doped with freon. Additional research has shown that clad 2 and clad 4 have no bubble structure.

25 30 clad 1 clad 2 clad 3 clad 4 clad 5 kern25 30 clad 1 clad 2 clad 3 clad 4 clad 5 core

Aantal lagen 800 100 50 100 800 195Number of layers 800 100 50 100 800 195

Tabel 4 11Table 4 11

Compensatie 02 631 597 631 597 631 327 5 Reactie 02 133 133 133 133 133 175Compensation 02 631 597 631 597 631 327 5 Response 02 133 133 133 133 133 175

SiCI4 601 601 601 601 601 525SiCl4 601 601 601 601 601 525

GeCI4 0 0 0 0 0 710GeCl4 0 0 0 0 0 710

Freon 0 500 0 500 0 180Freon 0 500 0 500 0 180

Vermogen 3600 3600 3600 3600 3600 3600 10 02 overmaat 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar__10__10__35__10__10__10Power 3600 3600 3600 3600 3600 3600 10 02 oversize 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar__10__10__35__10__10__10

Voorbeeld 5Example 5

De handelingen toegepast in Voorbeeld 5 waren identiek aan de 15 handelingen zoals vermeld in Voorbeeld 1, behalve dat de kern in Voorbeeld 5 met fluor en germaan was gedoteerd. Voor de depositie van clad 3 werd een druk van 35 mbar toegepast hetgeen ertoe leidde dat in clad 3 een bellenstructuur werd gevormd. In Voorbeeld 5 is tevens sprake van een clad 4, opgebouwd uit een lagenpakket van 400 lagen, hetgeen betekent dat clad 3, samengesteld uit een 20 lagenpakket van 50 lagen, redelijk dicht in de buurt van de kern is gepositioneerd. Een dergelijke positionering heeft ertoe geleid dat de bellen enigszins groter lijken dan in bijvoorbeeld Voorbeeld 4, waarbij tevens de ordening van de bellen minder uniform lijkt te zijn.The operations used in Example 5 were identical to the operations listed in Example 1, except that the core in Example 5 was doped with fluorine and germane. For the deposition of clad 3, a pressure of 35 mbar was applied, which led to the formation of a bubble structure in clad 3. In Example 5 there is also talk of a clad 4, composed of a layer package of 400 layers, which means that clad 3, composed of a 20 layer package of 50 layers, is positioned reasonably close to the core. Such a positioning has led to the bubbles appearing somewhat larger than in Example 4, for example, whereby the arrangement of the bubbles also appears to be less uniform.

25 30 clad 1 clad 2 clad 3 clad 4 kern25 30 clad 1 clad 2 clad 3 clad 4 core

Aantal lagen 200 1140 50 400 55 12Number of layers 200 1140 50 400 55 12

Tabel 5Table 5

Compensatie 02 631 631 631 631 427 5 Reactie 02 133 133 133 133 133Compensation 02 631 631 631 631 427 5 Response 02 133 133 133 133 133

SiCI4 601 601 601 601 525SiCl4 601 601 601 601 525

GeCI4 0 0 0 0 650GeCl4 0 0 0 0 650

Freon 0 0 0 0 150Freon 0 0 0 0 150

Vermogen 3600 3600 3600 3600 3600 10 02 overmaat 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar 10 10 35 10 10Power 3600 3600 3600 3600 3600 10 02 excess 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar 10 10 35 10 10

Voorbeeld 6Example 6

In Voorbeeld 6 werd een depositieproces zodanig uitgevoerd dat er 15 sprake is van een viertal concentrische lagen voorzien van bellen, in het bijzonder clad 2, clad 4, clad 6 en kern 2 (zie Tabel 6). Voor de bijzondere procesinstellingen wordt verwezen naar hieronder weergegeven Tabel 6, waarbij slechts kern 3 een fluor- en germaandotering kende.In Example 6, a deposition process was carried out such that there are four concentric layers provided with bubbles, in particular clad 2, clad 4, clad 6 and core 2 (see Table 6). For the special process settings, reference is made to Table 6 below, where only core 3 had a fluorine and germane doping.

20 Tabel 6 clad 1 clad 2 clad 3 clad 4 clad 5 clad 6 kern 1 kern 2 kern 3 Aantal lagen 200 35 200 35 200 35 200 35 90020 Table 6 clad 1 clad 2 clad 3 clad 4 clad 5 clad 6 core 1 core 2 core 3 Number of layers 200 35 200 35 200 35 200 35 900

Compensatie 631 631 631 631 631 631 631 631 560 O*__________ 25 Reactie 02 133 133 133 133 133 133 133 133 133Compensation 631 631 631 631 631 631 631 631 560 O * __________ 25 Response 02 133 133 133 133 133 133 133 133 133

SiCI4 601 601 601 601 601 601 601 601 601SiCl4 601 601 601 601 601 601 601 601 601

GeCI4 00000000 390GeCl4 00000000 390

Freon 00000000 509Freon 00000000 509

Vermogen 3600 3600 3600 3600 3600 3600 3600 3600 3600 30 02 overmaat 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar 10 35 10 35 10 35 10 35 10 13Power 3600 3600 3600 3600 3600 3600 3600 3600 3600 30 02 excess 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 2.65 mbar 10 35 10 35 10 35 10 35 10 13

Samenvattend kan worden gesteld dat het verhogen van de inwendige druk heersend in de holle substraatbuis tijdens het depositieproces naar een waarde van 30-80 mbar leidt tot de vorming van ten minste een microstructuur precursorlaag. Indien tijdens het depositieproces de druk wordt verlaagd naar een 5 waarde lager dan 30 mbar, bij voorkeur lager dan 20 mbar, dan wordt een voorvormlaag gevormd, waarin geen sprake is van het insluiten van gasbellen. De aldus gevormde microstructuur precursorlaag is te beschouwen als een concentrisch lagenpakket in de voorvorm, waarbij tijdens het trekproces ter vorming van de optische vezel de in een voorvorm aanwezige gasbellen worden omgezet tot met gas 10 gevulde kanalen. Indien een voorvormlaag volgens de onderhavige uitvinding is ingebed tussen twee afzonderlijke microstructuur precursorlagen, dan zal het in voornoemde voorvormlaag intredende licht niet uit de voorvormlaag kunnen treden, waarbij de microstructuur precursorlaag als een soort reflectielaag voor het invallende licht fungeert. Aldus is het mogelijk een optische vezel te vervaardigen 15 waarbij licht afkomstig van verschillende laserbronnen in de optische vezel kan worden ingekoppeld. De onderhavige aanvrage is derhalve met name geschikt om te worden toegepast in een laserconstructie.In summary, it can be stated that increasing the internal pressure prevailing in the hollow substrate tube during the deposition process to a value of 30-80 mbar leads to the formation of at least one microstructure precursor layer. If during the deposition process the pressure is lowered to a value lower than 30 mbar, preferably lower than 20 mbar, a preform layer is formed in which there is no question of the enclosure of gas bubbles. The microstructure precursor layer thus formed can be regarded as a concentric layer package in the preform, wherein during the drawing process to form the optical fiber the gas bubbles present in a preform are converted into channels filled with gas. If a preform layer according to the present invention is embedded between two separate microstructure precursor layers, the light entering into said preform layer will not be able to exit the preform layer, the microstructure precursor layer acting as a kind of reflection layer for the incident light. It is thus possible to manufacture an optical fiber in which light from different laser sources can be coupled into the optical fiber. The present application is therefore particularly suitable for use in a laser construction.

2020

Claims (17)

1. Werkwijze voor het vervaardigen van een primaire voorvorm voor optische vezels onder toepassing van een inwendig dampdepositieproces 5 omvattende de volgende stappen: i) het verschaffen van een holle glazen substraatbuis voorzien van een toevoerzijde en een afvoerzijde, ii) het aan het inwendige van de holle glazen substraatbuis, via de toevoerzijde daarvan, toevoeren van al dan niet van doteermiddelen voorziene 10 glasvormende gassen, iii) het tot stand brengen van een reactiezone waarin zodanige omstandigheden worden gecreëerd dat depositie van glas aan de binnenzijde van de holle glazen substraatbuis plaatsvindt, met het kenmerk, 15 dat gedurende ten minste een deel van stap iii) de druk in de holle glazen substraatbuis op een waarde gelegen in het bereik van 30-80 mbar wordt ingesteld ter vorming van ten minste een microstructuur precursorlaag.A method for manufacturing a primary optical fiber preform using an internal vapor deposition process comprising the following steps: i) providing a hollow glass substrate tube provided with a supply side and a discharge side, ii) attaching it to the interior of the hollow glass substrate tube, via the supply side thereof, supplying glass-forming gases, whether or not provided with dopants, iii) establishing a reaction zone in which conditions are created such that deposition of glass takes place on the inside of the hollow glass substrate tube, with characterized in that during at least part of step iii) the pressure in the hollow glass substrate tube is adjusted to a value in the range of 30-80 mbar to form at least one microstructure precursor layer. 2. Werkwijze volgens conclusies 1, met het kenmerk, dat gedurende ten minste een deel van de depositie in stap iii) de druk in de holle glazen 20 substraatbuis op een waarde gelegen in het bereik van 30-50 mbar wordt ingesteld.2. Method according to claim 1, characterized in that during at least a part of the deposition in step iii) the pressure in the hollow glass substrate tube is set to a value in the range of 30-50 mbar. 3. Werkwijze volgens een of meer van de voorgaande conclusies 1-2, met het kenmerk, dat gedurende ten minste een deel van de depositie in stap iii) de druk in de holle glazen substraatbuis op een waarde lager dan 30 mbar, bij voorkeur lager dan 20 mbar, in het bijzonder lager dan 15 mbar, wordt ingesteld ter vorming 25 van ten minste een voorvormlaag.Method according to one or more of the preceding claims 1-2, characterized in that during at least a part of the deposition in step iii) the pressure in the hollow glass substrate tube is at a value lower than 30 mbar, preferably lower than 20 mbar, in particular lower than 15 mbar, is set to form at least one preform layer. 4. Werkwijze volgens een of meer van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat gedurende ten minste een deel van de depositie in stap iii) de druk in de holle glazen substraatbuis afwisselend wordt ingesteld op een waarde gelegen in het bereik van 30-80 mbar en een waarde lager dan 30 mbar.Method according to one or more of the preceding claims, characterized in that during at least a part of the deposition in step iii) the pressure in the hollow glass substrate tube is alternately adjusted to a value in the range of 30-80 mbar and a value lower than 30 mbar. 5. Werkwijze volgens een of meer van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat aan de binnenzijde van de holle substraatbuis een eerste voorvormlaag wordt aangebracht, gevolgd door een microstructuur precursorlaag, eventueel gevolgd door een of meer voorvormlagen en een of meer microstructuur precursorlagen.Method according to one or more of the preceding claims, characterized in that a first preform layer is applied to the inside of the hollow substrate tube, followed by a microstructure precursor layer, optionally followed by one or more preform layers and one or more microstructure precursor layers. 6. Werkwijze volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat de eerste voorvormlaag wordt gevormd door ongedoteerde glaslagen.Method according to claim 5, characterized in that the first preform layer is formed by undoped glass layers. 7. Werkwijze volgens een of meer van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de drukomstandigheden tijdens een deel van de depositie van stap 5 iii) zodanig worden ingesteld dat de microstructuur precursorlaag wordt ingebed tussen ten minste twee voorvormlagen.Method according to one or more of the preceding claims, characterized in that the pressure conditions during a part of the deposition of step 5 iii) are set such that the microstructure precursor layer is embedded between at least two preform layers. 8. Werkwijze volgens een of meer van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de drukomstandigheden tijdens een deel van de depositie van stap iii) zodanig worden ingesteld dat ten minste twee afzonderlijke microstructuur 10 precursorlagen worden gevormd, elk gescheiden door ten minste een voorvormlaag.Method according to one or more of the preceding claims, characterized in that the pressure conditions during part of the deposition of step iii) are set such that at least two separate microstructure precursor layers are formed, each separated by at least one preform layer . 9. Werkwijze volgens een of meer van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de een of meer microstructuur precursorlagen al of niet van doteringen zijn voorzien, in het bijzonder dat de een of meer voorvormlagen vrij van germanium zijn.Method according to one or more of the preceding claims, characterized in that the one or more microstructure precursor layers are doped or not, in particular that the one or more preform layers are free from germanium. 10. Werkwijze volgens een of meer van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de reactiezone in stap iii) een plasma is.Method according to one or more of the preceding claims, characterized in that the reaction zone in step iii) is a plasma. 11. Werkwijze volgens conclusie 10, met het kenmerk, dat de reactiezone met een snelheid gelegen in het bereik 10-40 m/min en bij voorkeur 15-25 m/min over de lengte van de holle glazen substraatbuis tijdens ten minste een 20 deel van stap iii) heen en weer wordt bewogen.11. A method according to claim 10, characterized in that the reaction zone at a speed in the range of 10-40 m / min and preferably 15-25 m / min over the length of the hollow glass substrate tube during at least a part from step iii) is moved back and forth. 12. Werkwijze volgens een of meer van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat na het beëindigen van stap iii) een consolidatiestap van de na stap iii) verkregen substraatbuis wordt uitgevoerd, welke consolidatiestap het onder toepassing van een hittebron verkrijgen van een massieve primaire voorvorm omvat.Method according to one or more of the preceding claims, characterized in that after the completion of step iii) a consolidation step of the substrate tube obtained after step iii) is carried out, which consolidation step is obtained using a heat source of a solid primary preform. 13. Holle glazen substraatbuis verkrijgbaar middels de werkwijze volgens een of meer van de voorgaande conclusies 1-12, met het kenmerk, dat een of meer microstructuur precursorlagen, gescheiden door een of meer voorvormlagen, aanwezig zijn, welke precursorlagen en/ of voorvormlagen al of niet van doteringen zijn voorzien.A hollow glass substrate tube obtainable by the method according to one or more of the preceding claims 1-12, characterized in that one or more microstructure precursor layers, separated by one or more preform layers, are present, which precursor layers and / or preform layers are not provided with dopants. 14. Primaire voorvorm voor een microgestructureerde optische vezel verkrijgbaar middels de werkwijze volgens conclusie 12Primary preform for a microstructured optical fiber obtainable by the method according to claim 12 15. Werkwijze voor de vervaardiging van een micro-gestructureerde optische vezel omvattende de stappen: a) het plaatsen van de holle glazen substraatbuis, verkregen na het uitvoeren van stap iii), of de primaire voorvorm, verkregen na de consolidatiestap volgens conclusie 12, in een vezeltrekoven, b) het verhitten van een uiteinde van de holle glazen substraatbuis of de primaire voorvorm uit stap a) tot een temperatuur boven de 5 verwekingstemperatuur daarvan, en c) het trekken van een optische vezel uit het verhitte uiteinde van stap b).A method for manufacturing a micro-structured optical fiber comprising the steps of: a) placing the hollow glass substrate tube obtained after performing step iii), or the primary preform obtained after the consolidation step of claim 12 in a fiber drawing furnace, b) heating one end of the hollow glass substrate tube or the primary preform from step a) to a temperature above its softening temperature, and c) pulling an optical fiber from the heated end of step b). 16. Werkwijze volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de werkwijze verder omvat het voorafgaand aan stap a) aanbrengen van een additionele laag glas 10 op de buitenomtrek van de holle glazen substraatbuis, verkregen na het uitvoeren van stap iii), of de primaire voorvorm, verkregen na de consolidatiestap volgens conclusie 12.16. A method according to claim 15, characterized in that the method further comprises applying an additional layer of glass 10 to the outer circumference of the hollow glass substrate tube obtained after performing step iii) prior to step a), or the primary preform obtained after the consolidation step of claim 12. 17. Toepassing van een optische vezel verkrijgbaar middels de werkwijze volgens een of meer van de voorgaande conclusies 15-16 in een laser. 15Use of an optical fiber obtainable by means of the method according to one or more of the preceding claims 15-16 in a laser. 15
NL2006688A 2011-04-29 2011-04-29 METHOD FOR MANUFACTURING A PRIMARY FORM FOR OPTICAL FIBERS. NL2006688C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL2006688A NL2006688C2 (en) 2011-04-29 2011-04-29 METHOD FOR MANUFACTURING A PRIMARY FORM FOR OPTICAL FIBERS.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL2006688A NL2006688C2 (en) 2011-04-29 2011-04-29 METHOD FOR MANUFACTURING A PRIMARY FORM FOR OPTICAL FIBERS.
NL2006688 2011-04-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL2006688C2 true NL2006688C2 (en) 2012-10-30

Family

ID=44640730

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL2006688A NL2006688C2 (en) 2011-04-29 2011-04-29 METHOD FOR MANUFACTURING A PRIMARY FORM FOR OPTICAL FIBERS.

Country Status (1)

Country Link
NL (1) NL2006688C2 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4314833A (en) * 1979-07-19 1982-02-09 U.S. Philips Corporation Method of producing optical fibers
US20040163417A1 (en) * 2002-12-05 2004-08-26 Draka Fibre Technology B.V. Method of manufacturing an optical fibre
US20090126407A1 (en) * 2007-11-15 2009-05-21 Dana Craig Bookbinder Methods for making optical fiber preforms and microstructured optical fibers

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4314833A (en) * 1979-07-19 1982-02-09 U.S. Philips Corporation Method of producing optical fibers
US20040163417A1 (en) * 2002-12-05 2004-08-26 Draka Fibre Technology B.V. Method of manufacturing an optical fibre
US20090126407A1 (en) * 2007-11-15 2009-05-21 Dana Craig Bookbinder Methods for making optical fiber preforms and microstructured optical fibers

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6917740B2 (en) Optical fiber having reduced viscosity mismatch
US4486212A (en) Devitrification resistant flame hydrolysis process
KR830002158B1 (en) Method for forming optical waveguide preform having continuously removable starting member
JP3240356B2 (en) Method for manufacturing polarization-maintaining single-mode optical fiber
EP0139348B1 (en) Optical fiber and method for its production
US8635889B2 (en) Refraction-sensitive optical fiber, quartz glass tube as a semi-finished product for the manufacture-thereof and method for the manufacture of the fiber
EP1612192B1 (en) Methods for optical fiber manufacture
US20080260339A1 (en) Manufacture of depressed index optical fibers
US20030140659A1 (en) Method for producing an optical fibre and blank for an optical fibre
NL1034058C2 (en) Method for manufacturing a preform and method for manufacturing optical fibers from such a preform.
EP0100174B1 (en) Method of making glass optical fiber
US6418757B1 (en) Method of making a glass preform
US20070137256A1 (en) Methods for optical fiber manufacture
US8904827B2 (en) Method of manufacturing an optical fibre, preform and optical fibre
NL2006688C2 (en) METHOD FOR MANUFACTURING A PRIMARY FORM FOR OPTICAL FIBERS.
NL2011077C2 (en) A method for manufacturing a precursor for a primary preform for optical fibres by means of an internal plasma chemical vapour deposition (pcvd) process.
CN113461322A (en) Optical fiber and method for manufacturing optical fiber preform
NL2004544C2 (en) INTERNAL VAPOR DEPOSITION PROCESS.
US20030209516A1 (en) Optical fiber preform manufacture using improved VAD
AU742224C (en) Method of making a glass preform
NL1021992C2 (en) Rod in tube process for preparing optical fibre preform, by heating rod and mantle separated by cavity containing deuterium
KR100762611B1 (en) Method for fabricating optical fiber preform and method for fabricating optical fiber using the same
EP1544173A1 (en) Glass preform for an optical fibre and method and apparatus for its manufacture
MXPA00011756A (en) Method of making a glass preform

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 20141101