NL152979B - Inrichting voor het meten van de dikte van dunne films. - Google Patents

Inrichting voor het meten van de dikte van dunne films.

Info

Publication number
NL152979B
NL152979B NL676706250A NL6706250A NL152979B NL 152979 B NL152979 B NL 152979B NL 676706250 A NL676706250 A NL 676706250A NL 6706250 A NL6706250 A NL 6706250A NL 152979 B NL152979 B NL 152979B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
measuring
thickness
thin films
films
thin
Prior art date
Application number
NL676706250A
Other languages
English (en)
Other versions
NL6706250A (nl
Original Assignee
Ici Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ici Ltd filed Critical Ici Ltd
Publication of NL6706250A publication Critical patent/NL6706250A/xx
Publication of NL152979B publication Critical patent/NL152979B/nl

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21—Polarisation-affecting properties
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0641—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of polarization

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
NL676706250A 1966-05-04 1967-05-03 Inrichting voor het meten van de dikte van dunne films. NL152979B (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB19754/66A GB1137144A (en) 1966-05-04 1966-05-04 Method and apparatus for measuring absorption of electro-magnetic radiation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL6706250A NL6706250A (nl) 1967-11-06
NL152979B true NL152979B (nl) 1977-04-15

Family

ID=10134653

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL676706250A NL152979B (nl) 1966-05-04 1967-05-03 Inrichting voor het meten van de dikte van dunne films.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US3437811A (nl)
DE (1) DE1623196C3 (nl)
GB (1) GB1137144A (nl)
NL (1) NL152979B (nl)
SE (1) SE333644B (nl)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4129781A (en) * 1976-05-17 1978-12-12 Doyle W Film thickness measuring apparatus and method
GB2016678B (en) * 1978-03-10 1982-09-15 Asahi Dow Ltd Infrared multilayer film thickness measuring method and apparatus
JPS589362B2 (ja) * 1978-03-10 1983-02-21 旭化成株式会社 赤外線多層フイルム膜厚測定方法及びその測定装置
DE3728704A1 (de) * 1987-08-28 1989-03-09 Agfa Gevaert Ag Vorrichtung zur bestimmung der dicke von schichttraegern
DE3728705A1 (de) * 1987-08-28 1989-03-09 Agfa Gevaert Ag Vorrichtung zur ueberpruefung von beschichteten und unbeschichteten folien
US5091647A (en) * 1990-12-24 1992-02-25 Ford Motor Company Method and apparatus for measuring the thickness of a layer on a substrate
US5392124A (en) * 1993-12-17 1995-02-21 International Business Machines Corporation Method and apparatus for real-time, in-situ endpoint detection and closed loop etch process control
US10607335B2 (en) * 2016-06-28 2020-03-31 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Systems and methods of using absorptive imaging metrology to measure the thickness of ophthalmic lenses
CN112466773B (zh) * 2021-02-01 2021-05-11 中电化合物半导体有限公司 一种半导体外延厚度的检测方法及装置
CN117288103B (zh) * 2023-09-20 2024-06-07 广州泽亨实业有限公司 一种涂层膜厚测量方法和系统

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2393631A (en) * 1940-11-27 1946-01-29 Ilford Ltd Testing of photographic films, plates, and papers
US2726173A (en) * 1953-04-03 1955-12-06 Itt Method and apparatus for measuring film thickness
US3017512A (en) * 1959-06-29 1962-01-16 American Can Co Coating thickness gauge

Also Published As

Publication number Publication date
DE1623196A1 (de) 1971-03-18
DE1623196B2 (de) 1975-02-13
DE1623196C3 (de) 1975-09-11
US3437811A (en) 1969-04-08
NL6706250A (nl) 1967-11-06
SE333644B (nl) 1971-03-22
GB1137144A (en) 1968-12-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL154329B (nl) Inrichting voor het detecteren en/of meten van straling.
NL182173C (nl) Inrichting voor het meten van lengten.
NL175549C (nl) Optische inrichting voor het meten van de afstand tussen twee meetpunten.
NL148706B (nl) Inrichting voor het meten van een kracht.
NL169642C (nl) Inrichting voor het meten van de dikte van een voorwerp.
NL151502B (nl) Elektromagnetisch compenserende inrichting voor het meten van krachten.
NL177336C (nl) Inrichting voor het meten van hoeken.
NL151003B (nl) Inrichting voor het meten van de slagaderlijke bloeddruk.
NL162476B (nl) Inrichting voor het meten van een fysische eigenschap van een vloeistof of van een gas.
NL152979B (nl) Inrichting voor het meten van de dikte van dunne films.
NL153666B (nl) Inrichting voor het meten van de dichtheid van een fluidum.
NL162208C (nl) Elektrode voor het meten van de ph.
NL6604682A (nl) Inrichting voor het doorlopend thermo-elektrisch meten van de temperatuur van aantastende stoffen
NL140623B (nl) Torsie-inrichting voor het meten van de eigenschappen van een materiaal.
NL160715C (nl) Inrichting voor het meten van de bloeddruk.
NL157722B (nl) Inrichting voor het meten van de weerstand van aardlagen.
NL150916B (nl) Werkwijze en inrichting voor het meten van ruis.
NL146116B (nl) Inrichting voor het geordend afgeven van dunne plaatjes.
NL146373B (nl) Inrichting voor het meten van de longcapaciteit.
NL159500B (nl) Inrichting voor het meten van de lineaire relatieve verplaatsing van op onderlinge afstand liggende vattingselementen.
NL148704B (nl) Temperatuur-compenserende inrichting voor het meten van vloeiende stoffen.
NL165551C (nl) Inrichting voor het meten van de diameter van vezels en draden met geringe dikte.
NL139610B (nl) Inrichting voor het digitaal aflezen van de stand van een voorwerp.
NL140058B (nl) Inrichting voor het meten van drukpieken.
NL163124C (nl) Inrichting voor het concentreren van dunne oplossingen.

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee
NL80 Abbreviated name of patent owner mentioned of already nullified patent

Owner name: I C I