NL143433B - Inrichting voor het epitaxiaal laten aangroeien van een film op een onderlaag vanuit een oplossing. - Google Patents

Inrichting voor het epitaxiaal laten aangroeien van een film op een onderlaag vanuit een oplossing.

Info

Publication number
NL143433B
NL143433B NL6914653A NL6914653A NL143433B NL 143433 B NL143433 B NL 143433B NL 6914653 A NL6914653 A NL 6914653A NL 6914653 A NL6914653 A NL 6914653A NL 143433 B NL143433 B NL 143433B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
substrate
solution
epitaxial growth
film onto
onto
Prior art date
Application number
NL6914653A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Other versions
NL6914653A (enrdf_load_stackoverflow
Original Assignee
Matsushita Electric Ind Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP6674969A external-priority patent/JPS5021216B1/ja
Application filed by Matsushita Electric Ind Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Ind Co Ltd
Publication of NL6914653A publication Critical patent/NL6914653A/xx
Publication of NL143433B publication Critical patent/NL143433B/xx

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/10—Controlling or regulating
    • C30B19/106—Controlling or regulating adding crystallising material or reactants forming it in situ to the liquid
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/06—Reaction chambers; Boats for supporting the melt; Substrate holders
    • C30B19/061—Tipping system, e.g. by rotation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/06—Reaction chambers; Boats for supporting the melt; Substrate holders
    • C30B19/068—Substrate holders

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
NL6914653A 1968-09-27 1969-09-26 Inrichting voor het epitaxiaal laten aangroeien van een film op een onderlaag vanuit een oplossing. NL143433B (nl)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7090268 1968-09-27
JP6674969A JPS5021216B1 (enrdf_load_stackoverflow) 1969-08-20 1969-08-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL6914653A NL6914653A (enrdf_load_stackoverflow) 1970-04-01
NL143433B true NL143433B (nl) 1974-10-15

Family

ID=26407952

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL6914653A NL143433B (nl) 1968-09-27 1969-09-26 Inrichting voor het epitaxiaal laten aangroeien van een film op een onderlaag vanuit een oplossing.

Country Status (4)

Country Link
DE (1) DE1948551A1 (enrdf_load_stackoverflow)
FR (1) FR2019075A1 (enrdf_load_stackoverflow)
GB (1) GB1248999A (enrdf_load_stackoverflow)
NL (1) NL143433B (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53271B1 (enrdf_load_stackoverflow) * 1971-03-05 1978-01-06
BE795005A (fr) * 1972-02-09 1973-05-29 Rca Corp Procede et appareil de croissance epitaxiale d'une matiere semi-conductrice a partir de la phase liquide et produit ainsi obtenu
CN119465373A (zh) * 2024-11-21 2025-02-18 连城凯克斯科技有限公司 一种单晶炉拉晶装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE1948551A1 (de) 1970-04-23
NL6914653A (enrdf_load_stackoverflow) 1970-04-01
GB1248999A (en) 1971-10-06
FR2019075A1 (enrdf_load_stackoverflow) 1970-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL176768C (nl) Inrichting voor het etiketteren van houders.
NL7501145A (nl) Shuntinrichting voor het transport van rospinale vloeistof.
NL152832B (nl) Inrichting voor het gedurende het transport van gemakkelijk plastisch vervormbaar plaat- of bandvormig materiaal op een gaskussen ondersteunen van dit materiaal.
NL155458B (nl) Inrichting voor het laten groeien van kristallen uit een smelt.
NL7607759A (nl) Inrichting voor het ontstapelen van verpakkingen.
NL7415734A (nl) Inrichting voor het behandelen van eieren.
BE788526A (nl) Inrichting voor het verpakken van gevogelte.
NL153680B (nl) Drager met inrichting voor het automatisch begrenzen van de afmeting van een roentgenstraalbundel ten opzichte van de afmetingen van een cassette.
NL154980B (nl) Inrichting voor het opwinden, respectievelijk opwikkelen van buigzaam materiaal.
NL166074C (nl) Inrichting voor het epitaxiaal uit vloeibare toestand neerslaan van meerdere halfgeleiderlaagjes op een substraat.
NL143433B (nl) Inrichting voor het epitaxiaal laten aangroeien van een film op een onderlaag vanuit een oplossing.
NL7612137A (nl) Inrichting voor het transport van houders.
BE773306A (nl) Inrichting voor het snijden van filmbanden
NL7414512A (nl) Inrichting voor het transporteren van stortma- teriaal.
NL173066C (nl) Inrichting voor het kweken van micro-organismen.
NL146296B (nl) Inrichting voor het stuksgewijs afgeven van rechthoekige filmbladen.
NL7408917A (nl) Inrichting voor het lossen van stortgoed.
NL7314126A (nl) Inrichting voor het bundelen van vlakke buigzame voorwerpen.
NL7505785A (nl) Inrichting voor het verpakken van schijfjes- vormige hapjes.
NL144496B (nl) Werkwijze en inrichting voor het laten groeien van een epitaxiaal kristal op een onderlaag.
NL151940B (nl) Inrichting voor het vervoeren van vaartuigen.
NL7604507A (nl) Inrichting voor het transporteren van containers.
NL139774B (nl) Werkwijze voor het vormen van een siliciumdioxydefilm op een substraat.
NL161995C (nl) Inrichting voor het transporteren van buizen.
NL152728B (nl) Inrichting voor het opwekken van draaggolffrequenties.

Legal Events

Date Code Title Description
NL80 Information provided on patent owner name for an already discontinued patent

Owner name: MATSUSHITA

V4 Discontinued because of reaching the maximum lifetime of a patent